"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Фотолюминесценция в кремнии, имплантированном ионами эрбия при повышенной температуре
Соболев Н.А.1, Калядин А.Е.1, Шек И.Е.1, Сахаров В.И.1, Серенков И.Т.1, Вдовин В.И.2, Паршин Е.О.3, Маковийчук М.И.3
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Научно-исследовательский институт физики им. В.А. Фока Санкт-Петербургского государственного университета, Санкт-Петербург, Петергоф, Россия
3Ярославский филиал Физико-технологического института Российской академии наук, Ярославль, Россия
Поступила в редакцию: 30 декабря 2010 г.
Выставление онлайн: 20 июля 2011 г.

Исследованы спектры фотолюминесценции в кремнии n-типа проводимости после имплантации ионов эрбия при 600oC и ионов кислорода при комнатной температуре и последующих отжигов при 1100oC в хлорсодержащей атмосфере. В зависимости от длительности отжигов в спектрах фотолюминесценции при 80 K доминируют линии люминесценции ионов Er3+ или дислокационной люминесценции. Обнаруженный при этой температуре коротковолновый сдвиг линии дислокационной люминесценции обусловлен проведением имплантации ионов эрбия при повышенной температуре. При комнатной температуре в спектрах наблюдаются линии эрбиевой и дислокационной люминесценции, но доминируют линии краевой люминесценции.
  • A.J. Kenyon. Semicond. Sci. Technol., 20, R65 (2005)
  • Н.А. Соболев. ФТП, 44, 3 (2010)
  • S. Coffa, G. Franzo, F. Priolo. MRS Bulletin, 23, 25 (1998)
  • Н.А. Соболев, А.М. Емельянов, В.В. Забродский, Н.В. Забродская, В.Л. Суханов, Е.И. Шек. ФТП, 41, 635 (2007)
  • N.A. Sobolev, O.B. Gusev, E.I. Shek, V.I. Vdovin, T.G. Yugova, A.M. Emel'yanov. Appl. Phys. Lett., 72, 3326 (1998)
  • E. Rimini. Ion Implantation: Basics to Device Fabrication (Kluwer Academic Publishers, Boston, 1995)
  • S. Takeda. Jpn. J. Appl. Phys., 30, L639 (1991)
  • F. Priolo, S. Coffa, G. Franzo, C. Spinella, A. Camera, B. Bellany. J. Appl. Phys., 74, 4936 (1993)
  • J. Michel, J.L. Benton, R.F. Ferrante, D.C. Jacobson, D.J. Eaglesham, E.A. Fitzgerald, Y.-H. Xie, J.M. Poate, L.C. Kimerling. J. Appl. Phys., 70, 2672 (1991)
  • Н.А. Соболев, М.С. Бреслер, О.Б. Гусев, М.И. Миковийчук, Е.О. Паршин, Е.И. Шек. ФТП, 28, 1995 (1994)
  • Э.А. Штейнман. ФТТ, 47, 9 (2005)
  • V. Kveder, M. Badylevich, W. Schroter, M. Seibt, E. Steinman, A. Izotov. Phys. Status Solidi A, 202, 901 (2005)
  • E.O. Sveinbjornsson, J. Weber. Appl. Phys. Lett., 69, 2686 (1996)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.