"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Особенности слоев аморфного кремния, полученных методом стимулированного плазмой осаждения из газовой фазы, содержащей четырехфтористый кремний
Вайнштейн Ю.С.1, Коньков О.И.1, Кукин А.В.1, Ельцина О.С.1, Беляков Л.В.1, Теруков Е.И.1, Сресели О.М.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 24 июня 2010 г.
Выставление онлайн: 17 февраля 2011 г.

Слои гидрогенизированного аморфного кремния с кристаллическими наночастицами получены методом плазмохимического осаждения из газовой фазы с добавлением тетрафторсилана в газовую смесь. Исследована кинетика фотолюминесценции слоев и фотоэлектрические свойства структур на их основе. Структуры характеризуются значительной эффективностью фотоответа в видимой области спектра, причем положение максимума спектра фотоответа зависит от приложенного смещения.
  • A.G. Gullis, L.T. Canham, P.D.J. Calcott. J. Appl. Phys., 82 (3), 909 (1997)
  • S.V. Chernyshov, E.I. Terukov, V.A. Vassilyev, A.S. Volkov. J. Non-Cryst. Sol., 134, 218 (1991)
  • A. Hadded-Adel, T. Inokuma, Y. Kurata, S. Hasegava. Surf. Sci., 601, 1429 (2007)
  • T. Nagahara, K. Fujimoto, N. Kohno, K. Kashiwagi, H. Kakinoki. Jpn. J. Appl. Phys., 31, 4555 (1992)
  • M. Lozurdo, M.M. Giangregorio, A. Sacchetti, P. Capezzuto, G. Bruno, J. C\`arabe, J.J. Gand\`i a, L. Urbina. J. Non-Cryst. Sol., 352, 906 (2006)
  • П.Г. Сенников, С.В. Голубев, В.И. Шашкин, Д.А. Пряхин, М.Н. Дроздов, Б.А. Андреев, Ю.Н. Дроздов, А.С. Кузнецов, Х.-Й. Поль. Письма ЖЭТФ, 89 (2), 86 (2009)
  • C. Delerue, G. Allan, M. Lannoo. J. Luminesc. 80, 65 (1999)
  • V. Osinniy, S. Lesgaard, V. Kolkovsky, V. Pankratov, A. Nylandsted Larsen. Nanotechnology, 20 (19), 195 201 (2009)
  • D. Timmerman, I. Izeddin, P. Stallinga, I.N. Yassievich, T. Gregorkiewicz. Nature Photonics, 2, 105 (2008)
  • O.M. Sreeseli, O.S. El'tsina, L.V. Belyakov, D.N. Gorychev. Appl. Phys. Lett., 95, 031 914 (2009)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.