Вышедшие номера
Влияние дислокаций на процесс порообразования в монокристаллах n-InP(111)
Сычикова Я.А.1, Кидалов В.В.1, Сукач Г.А.2
1Бердянский государственный педагогический университет, Бердянск, Украина
2Национальный университет биоресурсов и природопользования, Киев, Украина
Поступила в редакцию: 22 апреля 2010 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 2010 г.

При помощи растровой электронной микроскопии показано влияние дислокаций на механизм порообразования при электролитическом травлении монокристаллического InP. При изучении наноструктуры пористых слоев установлены особенности механизмов порообразования в образцах n-InP. Показано, что они обусловлены выходом дислокаций на поверхность (111) и ростом пор как вдоль поверхности, так и перпендикулярно ей. Произведен расчет плотности дислокаций в местах повышенной концентрации примеси.