"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
К вопросу однородности свойств CVD-пленок 4H-SiC
Иванов А.М.1, Строкан Н.Б.1, Щербов Н.А.1, Лебедев А.А.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 24 декабря 2009 г.
Выставление онлайн: 19 июня 2010 г.

Для выявления неоднородности электрофизических свойств CVD-пленок 4H-SiC использованы физико-химические реакции, возникающие при введении радиационных дефектов структуры. Первично выбитые из узлов решетки атомы и вакансии активно взаимодействуют с примесями и дефектами исходного материала, формируя конечную систему радиационных центров. Облучение велось электронами с энергией 900 кэВ, протонами с энергией 8 МэВ в области доз, не приводящих к компенсации проводимости (менее 7.5·1012 см-2), а также дозой 6·1014 см-2, вызывающей глубокую компенсацию. Использование емкостных методов, несмотря на усреднение характеристик по площади, выявило неидентичность характеристик образцов размерами ~3 мм. С применением техники ядерной спектрометрии, позволяющей осуществить микрозондирование образца, обнаружено индивидуальное поведение отдельных участков пленки масштабом до десятков мкм2.
  1. В.В. Козловский, В.В. Емцев, К.В. Емцев, Н.Б. Строкан, А.М. Иванов, В.Н. Ломасов, Г.А. Оганесян, А.А. Лебедев. ФТП, 42 (2), 243 (2008)
  2. В.В. Емцев, А.М. Иванов, В.В. Козловский, А.А. Лебедев, Г.А. Оганесян, Н.Б. Строкан. ФТП, 44 (5), 706 (2010)
  3. А.М. Иванов, Н.Б. Строкан, А.А. Лебедев. ФТП, 42 (12), 1466 (2008)
  4. А.М. Иванов, Н.Б. Строкан, В.В. Козловский, А.А. Лебедев. ФТП, 42 (3), 370 (2008)
  5. Н.Б. Строкан, А.М. Иванов, А.А. Лебедев. ФТП, 38 (2), 129 (2004)
  6. L. Storasta, H. Tsuchida. Appl. Phys. Lett., 90, 062 116 (2007)
  7. K. Danno, D. Nakamura, T. Kimoto. Appl. Phys. Lett., 90, 202 109 (2007)
  8. A. Castaldini, A. Cavallini, L. Rigutti, F. Nava, S. Ferrero, F. Giorgis. J. Appl. Phys., 98, 053 706 (2005)
  9. A. Castaldini, A. Cavallini, F. Fabbri, F. Nava, P. Errani, V. Cindro. Proc. 8th RD50 Workshop (Prague, 25--28 June, 2006). http://rd50.web.cern.ch/rd50/

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.