Физика и техника полупроводников

Авторам

Правила оформления публикаций

Вышедшие номера

2024
- 1
2023
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9
2022
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2021
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2020
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2019
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2018
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13
2017
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2016
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2015
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2014
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2013
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2012
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2011
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2010
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2009
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2008
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2007
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2006
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2005
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2004
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2003
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2002
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2001
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2000
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1999
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1998
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1997
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1996
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1995
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1994
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1993
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1992
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1991
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1990
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1989
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1988
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12

Уменьшение поглощения в структурах кварц/Si, кварц/Si/SiO₂ и SiC/Si/SiO₂ под влиянием лазерной обработки

Лисоченко В.Н.¹, Конакова Р.В.¹, Коноплев Б.Г.², Кушнир В.В.², Охрименко О.Б.³, Светличный А.М.²

¹LIMO --- Lissotchenko--Mikrooptik GmbH, Dortmund, Germany
²Таганрогский технологический институт Южного федерального университета, Таганрог, Россия
³Институт физики полупроводников им. В.Е. Лашкарева Национальной академии наук Украины, Киев, Украина Lashkaryov Institute of Semiconductor Physics, National Academy of Sciences of Ukraine, Kyiv, Ukraine

Lashkaryov Institute of Semiconductor Physics, National Academy of Sciences of Ukraine, Kyiv, Ukraine

Поступила в редакцию: 10 июня 2009 г.

Выставление онлайн: 17 февраля 2010 г.

PDF версия

Абстракт
Литература
Статистика просмотров

Исследовано влияние лазерного излучения на спектры оптического поглощения систем кварц/Si, кварц/Si/SiO₂ и SiC/Si/SiO₂. Выявлены эффекты управления прозрачностью данной структуры.

В.А. Карачинов. ФТП, 31, 53 (1997)
Г.К. Сафаралиев, Ю.Н. Эмиров, М.К. Курбатов, Б.А. Биланов. ФТП, 34, 929 (2000)
C. Boutopoulos, P. Terzis, I. Zergioti, A.G. Kontos, K. Zekentes, K. Giannakopoulos, Y.S. Raptis. Appl. Surf. Sci., 253, 7912 (2007)
N.I. Cho, Y.M. Kim, J.S. Lim, C. Hong, Y. Sul, C.K. Lim. Thin Sol. Films, 409, 1 (2002)
L.A. Marques, L. Pelaz, M. Aboy, J. Barbolla. Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B, 216, 57 (2004)
О.М. Жигалина, Д.Н. Хмеленин, К.А. Воротилов, А.С. Сигов, И.Г. Лебо. ФТТ, 51, 1398 (2009)
T. Arguirov, T. Mchedlidze, V.D. Akhmetov, S. Kouteva-Arguirova, M. Kitter, R. Rolver, B. Berghoff, M. Forst, D.L. Batzner, B. Spangenberg. Appl. Surf. Sci., 254, 1083 (2007)
Zhijun Yuan, Qihong Lou, Jun Zhou, Jingxing Dong, Yunrong Wei, Zhijiang Wang, Hongming Zhao, Guohua Wu. Opt. Laser Technol., 41, 380 (2009)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель