"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Получение текстурированных пленок нитрида алюминия методом термохимической нитридизации сапфира
Калтаев Х.Ш-о.1, Сидельникова Н.С.1, Нижанковский С.В.1, Данько А.Я.1, Ром М.А.1, Матейченко П.В.1, Добротворская М.В.1, Будников А.Т.1
1Институт монокристаллов Национальной академии наук Украины, Харьков, Украина
Поступила в редакцию: 7 апреля 2009 г.
Выставление онлайн: 20 ноября 2009 г.

Показана возможность получения текстурированных пленок нитрида алюминия методом термохимической нитридизации сапфира в диапазоне температур 1200-1500oC в атмосфере азота с содержанием CO от 0.1 до 5 об%. Установлен диффузионный механизм формирования пленки нитрида алюминия на поверхности сапфира под воздействием восстановительной среды. PACS: 68.55.Ag, 81.05.Ea, 81.15.Np.
  • Hiroyuki Fukuyama, Shin-ya Kusunoki, Akira Hakomori, Kenji Hiraga. J. Appl. Phys., 100, 024 905 (2006)
  • Wataru Nakao, Hiroyuki Fukuyama. J. Cryst. Growth, 259, 302 (2003)
  • A.Ya. Danko, M.A. Rom, N.S. Sidelnikova, Kh.Sh. Kaltaev, S.V. Nizhankovsky, A.I. Fedorov. Functional Mater., 14, 460 (2007)
  • Xidong Wang, Wenchao Li, Seshadri Seetharaman. Scandinavian J. Metallurgy, 31, 1 (2002)
  • Wataru Nakao, Hiroyuki Fukuyama, Kazuhiro Nagata. J. Amer. Ceram. Soc., 85, 889 (2002)
  • Термодинамические свойства индивидуальных веществ. Справочное издание (М., Наука, 1978) т. 1, кн. 1
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.