Применение тонких слоев MoOx для пассивации наноструктурированной поверхности кремния
Максимова А.А.1,2, Уваров А.В.1, Вячеславова Е.А.1, Баранов А.И.1, Михайлов О.П.1,3, Поздеев В.А.1,2, Ярчук Э.Я.2, Гудовских А.С.1,2
1Санкт-Петербургский национальный исследовательский Академический университет имени Ж.И. Алфёрова Российской академии наук, Санкт-Петербург, Россия
2Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет " ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина), Санкт-Петербург, Росси
3Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия

Email: maksimova_alina@spbau.ru
Поступила в редакцию: 5 мая 2026 г.
В окончательной редакции: 13 июня 2026 г.
Принята к печати: 25 июня 2026 г.
Выставление онлайн: 14 октября 2026 г.
Исследована возможность использования тонких слоев MoOx для пассивации и формирования селективного дырочного контакта на наноструктурированной поверхности черного кремния (black silicon, b-Si). Нановолокна b-Si высотой ~ 0.7 мкм и диаметром 0.1-0.2 мкм получены методом плазмохимического травления. Слои MoOx осаждены вакуумным термическим испарением и, согласно растровой электронной микроскопии, формируют дендритные структуры на всей поверхности нановолокон. С помощью измерения кинетики спада фотолюминесценции показано, что пассивирующий слой MoOx увеличивает время жизни неосновных носителей заряда с 9 до 59 мкс, что свидетельствует об успешной пассивации поверхности. Изготовлен лабораторный солнечный элемент Ag/ITO/MoOx/b-Si/Ag с эффективностью преобразования 4.25 %. Результаты подтверждают перспективность MoOx для создания солнечных элементов на основе черного кремния. Ключевые слова: черный кремний, оксид молибдена, селективные контакты, время жизни носителей заряда, солнечные элементы.
- C. Battaglia, S.M. De Nicolas, S. De Wolf, X. Yin, M. Zheng, Ch. Ballif, A. Javey. Appl. Phys. Lett., 104, 113902 (2014)
- C. Zhao, Z. Liang, M. Su, P. Liu, W. Mai, W. Xie. ACS Appl. Mater. Interfaces, 7, 25981 (2015)
- A.S. Gudovskikh, A.I. Baranov, A.V. Uvarov, E.A. Vyacheslavova, A.A. Maksimova, A. Salimi, D.A. Kirilenko, O. Aydin, R. Turan, H. Nasser. J. Phys. D: Appl. Phys., 58, 045101 (2024)
- P. Badica. Cryst. Growth Des., 7, 794 (2007)
- R. Senthilkumar, G. Anandhababu, T. Mahalingam, G. Ravi. J. Energy Chem., 25, 798 (2016)
- D.A. Kudriashov, A.A. Maksimova, E.A. Vyacheslavova, A.V. Uvarov, I.A. Morozov, A.I. Baranov, A.O. Monastyrenko, A.S. Gudovskikh. Semiconductors, 55, 475 (2021)
- D. Kudryashov, A. Gudovskikh, A. Baranov, I. Morozov, A. Monastyrenko. Phys. Status Solidi A, 217, 1900534 (2020)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.