Вышедшие номера
Применение тонких слоев MoOx для пассивации наноструктурированной поверхности кремния
Максимова А.А.1,2, Уваров А.В.1, Вячеславова Е.А.1, Баранов А.И.1, Михайлов О.П.1,3, Поздеев В.А.1,2, Ярчук Э.Я.2, Гудовских А.С.1,2
1Санкт-Петербургский национальный исследовательский Академический университет имени Ж.И. Алфёрова Российской академии наук, Санкт-Петербург, Россия
2Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет " ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина), Санкт-Петербург, Росси
3Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Email: maksimova_alina@spbau.ru
Поступила в редакцию: 5 мая 2026 г.
В окончательной редакции: 13 июня 2026 г.
Принята к печати: 25 июня 2026 г.
Выставление онлайн: 14 октября 2026 г.

Исследована возможность использования тонких слоев MoOx для пассивации и формирования селективного дырочного контакта на наноструктурированной поверхности черного кремния (black silicon, b-Si). Нановолокна b-Si высотой ~ 0.7 мкм и диаметром 0.1-0.2 мкм получены методом плазмохимического травления. Слои MoOx осаждены вакуумным термическим испарением и, согласно растровой электронной микроскопии, формируют дендритные структуры на всей поверхности нановолокон. С помощью измерения кинетики спада фотолюминесценции показано, что пассивирующий слой MoOx увеличивает время жизни неосновных носителей заряда с 9 до 59 мкс, что свидетельствует об успешной пассивации поверхности. Изготовлен лабораторный солнечный элемент Ag/ITO/MoOx/b-Si/Ag с эффективностью преобразования 4.25 %. Результаты подтверждают перспективность MoOx для создания солнечных элементов на основе черного кремния. Ключевые слова: черный кремний, оксид молибдена, селективные контакты, время жизни носителей заряда, солнечные элементы.
  1. C. Battaglia, S.M. De Nicolas, S. De Wolf, X. Yin, M. Zheng, Ch. Ballif, A. Javey. Appl. Phys. Lett., 104, 113902 (2014)
  2. C. Zhao, Z. Liang, M. Su, P. Liu, W. Mai, W. Xie. ACS Appl. Mater. Interfaces, 7, 25981 (2015)
  3. A.S. Gudovskikh, A.I. Baranov, A.V. Uvarov, E.A. Vyacheslavova, A.A. Maksimova, A. Salimi, D.A. Kirilenko, O. Aydin, R. Turan, H. Nasser. J. Phys. D: Appl. Phys., 58, 045101 (2024)
  4. P. Badica. Cryst. Growth Des., 7, 794 (2007)
  5. R. Senthilkumar, G. Anandhababu, T. Mahalingam, G. Ravi. J. Energy Chem., 25, 798 (2016)
  6. D.A. Kudriashov, A.A. Maksimova, E.A. Vyacheslavova, A.V. Uvarov, I.A. Morozov, A.I. Baranov, A.O. Monastyrenko, A.S. Gudovskikh. Semiconductors, 55, 475 (2021)
  7. D. Kudryashov, A. Gudovskikh, A. Baranov, I. Morozov, A. Monastyrenko. Phys. Status Solidi A, 217, 1900534 (2020)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.