Алгоритм обработки данных резистивного полупроводникового газового сенсора при его работе в режиме термомодуляции
Казаков С.А.1, Гревцев М.А.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия

Email: kazakov59@mail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 5 мая 2026 г.
В окончательной редакции: 24 июня 2026 г.
Принята к печати: 25 июня 2026 г.
Выставление онлайн: 1 октября 2026 г.
Показано, что температурный отклик полупроводникового сенсора резистивного принципа действия в газовой смеси можно аппроксимировать суммой концентрационных откликов на отдельные компоненты исследуемой смеси с учетом их перекрестной чувствительности. Это позволяет построить модель температурной зависимости электропроводности сенсора в сложной многокомпонентной газовой смеси на основе отдельных " чистых" сигналов, получаемых в ходе предварительной калибровки сенсора по каждому индивидуальному компоненту газовой смеси с учетом перекрестной чувствительности к другим измеряемым компонентам газовой смеси. Ключевые слова: электропроводность, адсорбция, газовый сенсор, полупроводник, селективность, регрессионная функция аппроксимации.
- S.A. Kazakov, A.A. Dugin, T.S. Gagiev, M.A. Grevtsev, A.V. Sokolov, O.A. Arefieva, A.Yu. Shishkin, V.N. Khvorov. Semiconductors, 59 (5), 237 (2025). https: doi.org/10.61011/SC.2025.05.61986.7885
- A. Hyvarinen, E. Oja. Neural Netw., 13, 411 (2000). doi: 10.1016/s0893-6080(00)00026-5
- И.А. Мясников, В.Я. Сухарев, Л.Ю. Куприянов, С.А. Завьялов. Полупроводниковые сенсоры в физико-химических исследованиях (М., Наука, 1991) с. 113
- S.A. Kazakov, M.A. Grevtsev, G.D. Havrov. IOP Conf. Ser.: J. Phys.: Conf. Ser., 1135, 012107 (2018). DOI: 10.1088/1742-6596/1135/1/012107
- V.V. Chistyakov, S.A. Kazakov, M.A. Grevtsev, S.M. Soloviev. Techn. Phys. Lett., 47 (3), 266 (2021). http://dx.doi.org/10.1134/S1063785021030184
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.