"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Дислокационная люминесценция, возникающая в монокристаллическом кремнии после имплантации ионов кремния и последующего отжига
Соболев Н.А.1, Емельянов А.М.1, Сахаров В.И.1, Серенков И.Т.1, Шек Е.И.1, Тетельбаум Д.И.2
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Научно-исследовательский физико-технический институт Нижегородского государственного университета им. Н.И. Лобачевского, Нижний Новгород, Россия
Поступила в редакцию: 11 сентября 2006 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 2007 г.

Установлено, что имплантация ионов кремния с энергией 100 кэВ и дозой 1·1017 см-2 в выращенный методом бестигельной зонной плавки Si n-типа проводимости не приводит к формированию аморфного слоя. Последующий отжиг в хлорсодержащей атмосфере при температуре 1100oC сопровождается появлением дислокационной люминесценции. Интенсивность доминирующей линии D1 с максимумом на длине волны ~ 1.54 мкм возрастает с увеличением времени отжига от 15 до 60 мин. PACS: 61.72.Tt, 78.55.Ap, 78.55.Qr
  1. V. Kveder, V. Badylevich, E. Steinman, A. Izotov, M. Zeibt, W. Schreter. Appl. Phys. Lett., 84, 2106 (2004)
  2. E.O. Sveinbjornsson, J. Weber. Appl. Phys. Lett., 69, 2686 (1996)
  3. S. Binetti, M. Donghi, S. Pizzini, A. Castaldini, A. Cavallini, B. Fraboni, N.A. Sobolev. Sol. St. Phenomena, 57--58, 197 (1997)
  4. N.A. Sobolev, A.M. Emel'yanov, E.I. Shek, O.V. Feklisova, E.B. Yakimov, T.V. Kotereva. Phys. Status Solidi C, 2, 1842 (2005)
  5. S. Pizzini, E. Leonti, S. Binetti, M. Acciarri, A. Le Donne, B. Pichaud. Sol. St. Phenomena, 95--96, 273 (2004)
  6. R. Sauer, J. Weber, J. Stolz, E.R. Weber, K.-H. Kusters, H. Alexander. Appl. Phys. A, 36, 1 (1985)
  7. N.A. Sobolev, O.B. Gusev, E.I. Shek, V.I. Vdovin, T.G. Yugova, A.M. Emel'yanov. Appl. Phys. Lett., 72, 3326 (1998)
  8. N.A. Sobolev, A.M. Emel'yanov, E.I. Shek, V.I. Sakharov, I.T. Serenkov, Yu.A. Nikolaev, V.I. Vdovin, T.G. Yugova, M.I. Makovijchuk, E.O. Parshin, S. Pizzini. Mater. Sci. Eng. B, 91--92, 167 (2002)
  9. Н.А. Соболев, Б.Я. Бер, А.М. Емельянов, А.П. Коварский, Е.И. Шек. ФТП, 41 (3), 295 (2007)
  10. А.А. Ежевский, М.Ю. Лебедев, С.В. Морозов. ФТТ, 47, 22 (2005)
  11. Е.И. Зорин, П.В. Павлов, Д.И. Тетельбаум. Ионное легирование полупроводников (М., Энергия, 1975)
  12. Н.Н. Герасименко, А.В. Двуреченский, С.И. Романов, Л.С. Смирнов. ФТП, 7, 2195 (1973)
  13. Д.И. Тетельбаум, А.И. Герасимов. ФТП, 38, 1301 (2004)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.