Анализ частотных зависимостей проводимости МДП структур с учетом флуктуационной и туннельной теоретических моделей
Авдеев Н.А.1, Гуртов В.А.1, Климов И.В.1, Яковлев Р.А.1
1Петрозаводский государственный университет, Петрозаводск, Россия
Поступила в редакцию: 29 августа 2005 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2006 г.
Предложена методика анализа частотных зависимостей нормированной проводимости МДП структур с учетом влияния флуктуаций поверхностного потенциала и заглубления электрически активных состояний в диэлектрик. Произведен выбор параметров для оценки уширения зависимостей. Получены аналитические выражения для этих параметров. Предложен метод разделения влияния туннельного и флуктуационного механизмов уширения на форму частотной зависимости проводимости. PACS: 85.30.De, 85.30.Hi, 73.40.Qv, 72.30.+q
- E.H. Nicollian, A. Goetzberger. Appl. Phys. Lett., 7, 216 (1965)
- K.F. Schuegraf, C. Hu. Semicond. Sci. Technol., 9, 989 (1994)
- В.А. Гуртов. Электронные процессы в структурных металл--диэлектрик--полупроводник (Петрозаводск, Изд-во ПетрГУ, 1984)
- K. Lehovec. Appl. Phys. Lett., 8, 48 (1966)
- Ю.С. Жарких. Электрофизические характеристики неоднородных МДП структур (Киев, Наук. думка, 1980)
- E. Bano, T. Ouisse, L.Di Ciocco, S. Karmann. Appl. Phys. Lett., 65 (21), 55 (1994)
- В.Б. Бондаренко, В.В. Кораблев, Ю.И. Равич. ФТП, 38 (3), 331 (2004)
- Г.Л. Курышев, А.П. Ковчавцев, Н.А. Валишева. ФТП, 35 (9), 1111 (2001)
- E.H. Nicollian, A. Goetzberger. Bell Syst. Tech. J., 46, 1055 (1967)
- J.R. Brews. Sol. St. Electron., 26, 711 (1983)
- Е.Н. Бормонтов, С.В. Лукин. ЖТФ, 67 (10), 55 (1997)
- J.J. Simonne. Sol. St. Electron., 16, 121 (1973)
- А.Ф. Верлань, В.С. Сизиков. Методика решения интегральных уравнений с программами для ЭВМ (Киев, Наук. думка, 1978)
- K.K. Hung, Y.C. Cheng. J. Appl. Phys., 62 (10), 923 (1987)
- А.П. Барабан, В.В. Булавинов, П.П. Коноров. Электроника слоев Si--SiO2 на кремнии (Л., Изд-во ЛГУ, 1988)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.