Физика и техника полупроводников

Авторам

Правила оформления публикаций

Вышедшие номера

2024
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11
2023
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9
2022
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2021
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2020
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2019
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2018
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13
2017
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2016
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2015
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2014
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2013
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2012
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2011
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2010
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2009
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2008
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2007
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2006
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2005
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2004
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2003
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2002
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2001
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2000
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1999
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1998
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1997
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1996
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1995
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1994
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1993
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1992
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1991
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1990
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1989
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1988
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12

Особенности лазерной абляции пористого кремния в воздухе

Министерство науки и высшего образования РФ , 075-15-2021-1347

Маврешко Е.И.^1,2, Фроня А.А.^1,2, Тихоновский Г.В.¹, Григорьева М.С.^1,2, Завестовская И.Н.^3,1,2

¹Национальный исследовательский ядерный университет "МИФИ", Москва, Россия National Research Nuclear University “MEPhI”, Moscow, Russia

²Физический институт им. П.Н. Лебедева Российской академии наук, Москва, Россия Lebedev Physical Institute, Russian Academy of Sciences, Moscow, Russia

Lebedev Physical Institute, Russian Academy of Sciences, Moscow, Russia

³Национальный исследовательский центр "Курчатовский институт", Москва, Россия National Research Center “Kurchatov Institute”, Moscow, Russia

Email: EGOR.MAV@yandex.ru

Поступила в редакцию: 3 мая 2024 г.

В окончательной редакции: 23 августа 2024 г.

Принята к печати: 30 октября 2024 г.

Выставление онлайн: 23 декабря 2024 г.

PDF версия

Абстракт
Литература
Статистика просмотров

Представлены результаты экспериментального изучения порогов абляции монокристаллического и пористого 77 и 96% кремния. Изучена морфология образцов после воздействия фемтосекундного лазерного излучения с энергией в импульсе 1-10 мкДж. Получены зависимости размера следа воздействия от вложенной лазерной энергии, определены пороги лазерной абляции. Установлено, что при высокой пористости размер области абляции растет быстрее с увеличением энергии, чем для монокристаллического кремния и кремния более низкой пористости. Ключевые слова: лазерная абляция, пористый кремний, порог абляции.

R.K. Kankala, Y.H. Han, H.Y. Xia, S.B. Wang, A.Z. Chen. J. Nanobiotechnology, 20, 126 (2022). https://doi.org/10.1186/s12951-022-01315-x
O.I. Ksenofontova, A.V. Vasina, V.V. Egorov, A.V. Bobyl, F.Yu. Soldatenkov, E.I. Terukov, V.P. Ulin, N.V. Ulin, O.I. Kiselev. Techn. Phys., 59 (1), 66 (2014). DOI: 10.1134/S1063784214010083
L. Vaccari, D. Canton, N. Zaffaroni, R. Villa, M. Tormen, E. di Fabrizio. Microelectron. Eng., 83 (4-9), 1598 (2006). https://doi.org/10.1016/j.mee.2006.01.113
I. Roy, S. Krishnan, A.V. Kabashin, I.N. Zavestovskaya, P.N. Prasad. ACS Nano, 16 (4), 5036 (2022). DOI: 10.1021/acsnano.1c10550
V.K. Tishchenko, V.M. Petriev, A.A. Mikhailovskaya, O.A. Smoryzanova, A.V. Kabashin, I.N. Zavestovskaya. J. Phys.: Conf. Ser., 1439, 012035 (2020). DOI: 10.1088/1742-6596/1439/1/012035
A.A. Ischenko, G.V. Fetisov, L.A. Aslanov. Nanosilicon: properties, synthesis, applications, methods of analysis and control (in Russian). (Fizmatlit, Moscow, 2011). ISBN: 978-5-9221-1369-4
T. Baati, A. Al-Kattan, M.A. Esteve, L. Njim, Yu. Ryabchikov, F. Chaspoul, M. Hammami, M. Sentis, A.V. Kabashin, D. Braguer. Sci. Rep., 6, 25400 (2016). https://doi.org/10.1038/srep25400
A.Y. Kharin, M.S. Grigoryeva, I.N. Zavestovskaya, V.Y. Timoshenko. Laser Phys. Lett., 18, 076001 (2021). https://doi.org/10.1088/1612-202X/ac0914
S.A. Uspenskii, P.A. Khaptakhanova, A.A. Zaboronok, T.S. Kurkin, O.Y. Volkova, L.V. Mechetina, A.V. Taranin, V.V. Kanygin, M. Akira, S.Y. Taskaev. Dokl. Chem., 491, 45 (2020). https://doi.org/10.1134/S0012500820030027
K.O. Aiyyzhy, E.V. Barmina, N.N. Melnik, O.V. Uvarov, G.A. Shafeev. Bull. Lebedev Physics Institute, 50:suppl., S60 (2023). https://doi.org/10.3103/S106833562313002X
N.P. Bezhenar, A.A. Shulzhenko, S.A. Bozhko, G.S. Oleynik. Phys. Technol. High Press., 17 (1), 21 (2007). (in Russian)
A.V. Skobelkina, F.V. Kashaev, A.V. Kolchin, D.V. Shuleiko, T.P. Kaminskaya, D.E. Presnov, L.V. Golovan, P.K. Kashkarov. Techn. Phys. Lett., 46, 687 (2020). https://doi.org/10.1134/S1063785020070263
Y. Wang, M. Zhang, Y. Huang, X. Cao, Y. Dong, J. Zhao, Y. Li, Y. Wang. Optics Commun., 523, 128608 (2022). https://DOI.org/10.1016/j.optcom.2022.128608
J.M. Liu. Optics Lett., 7, 196 (1982). http://dx.doi.org/10.1364/ol.7.000196

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель