"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Свойства нановискеров GaAs на поверхности GaAs (111)B, полученных комбинированным методом
Тонких А.А.1,2, Цырлин Г.Э.1,2, Самсоненко Ю.Б.1,2, Сошников И.П.2, Устинов В.М.2
1Институт аналитического приборостроения Российской академии наук, Санкт-Петербург, Россия
2Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 2 марта 2004 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 2004 г.

Комбинированным методом вакуумного напыления и молекулярно-пучковой эпитаксии на подложках GaAs (111)B синтезированы массивы нитевидных кристаллов (вискеров) GaAs. Структурные свойства поверхности полученных образцов исследованы с помощью сканирующего электронного микроскопа. Обнаружено, что поверхностная плотность вискеров составляет величину (1-2)· 109 см-2. Характерные размеры вискеров: 30--150 нм (диаметр) и 300--800 нм (длина). Показана возможность управлять размерами вискеров путем изменения условий роста и толщины напыленной пленки золота.
  • R.S. Wagner, W.C. Ellis. Appl. Phys. Lett., 4, 89 (1964)
  • Е.И. Гиваргизов. Рост нитевидных и пластинчатых кристаллов из пара (М., Наука, 1977)
  • B.J. Ohlsson, M.T. Bjork, M.H. Magnusson, K. Deppert, L. Samuelson, L.R. Wallenberg. Appl. Phys. Lett., 79 (20), 3335 (2001)
  • Е.И. Гиваргизов. Природа, 11, 20 (2003)
  • Y. Cui, C.M. Lieber. Science, 291, 851 (2000)
  • K. Haraguchi, T. Katsuyama, K. Hiruma, K. Ogawa. Appl. Phys. Lett., 60, 745 (1992)
  • Ж.И. Алферов, А.Ю. Егоров, А.Е. Жуков, С.В. Иванов, П.С. Копьев, Н.Н. Леденцов, Б.Я. Мельцер, В.М. Устинов. ФТП, 26 (10), 1715 (1992)
  • K. Hiruma, M. Yazawa, T. Kaatsuyama, K. Ogawa, K. Haraguchi, M. Koguchi, H. Kakibayashi. J. Appl. Phys., 77 (2), 447 (1995)
  • Г.М. Гурьянов, В.Н. Демидов, Н.П. Корнеева, В.Н. Петров, Ю.Б. Самсоненко, Г.Э. Цырлин. ЖТФ, 67 (8), 111 (1997)
  • F. Bechstedt, R. Enderlein. Semiconductor surfaces and interfaces (Akademie-Verlag, Berlin, 1988)
  • J.M. Cowley. Diffraction Physics (Elsevier, N.Y., 1975)
  • Е.И. Гиваргизов, А.А. Чернов. Кристаллография, 18 (1), 147 (1973)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.