"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Взаимосвязь спиновых структурных дефектов и проводимости в пленках гидрированного нанокристаллического кремния с добавками углерода
Шевалеевский О.И.1, Цветков А.А.1, Ларина Л.Л.1, Myong S.Y.2, Lim K.S.2
1Институт биохимической физики Российской академии наук, Москва, Россия
2Korea Advanced Institute of Science and Technology, Daejeon 305-701, South Korea
Поступила в редакцию: 30 октября 2003 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 2004 г.

Исследовано поведение парамагнитных дефектов и темновой проводимости в гетерогенных образцах гидрированного нанокристаллического кремния с добавками углерода (nc-SiC : H), полученных методом фотостимулированной газовой эпитаксии (photo-CVD). Показано, что при увеличении содержания углерода в nc-SiC : H происходит фазовый переход структуры от нанокристаллической к аморфной, что приводит к уменьшению концентрации спиновых дефектов и значительному понижению величины темновой проводимости.
  1. B. Goldstein, C.R. Dickson, Appl. Phys. Leet., 53, 2672 (1988)
  2. S.Y. Myong, S.S. Kim, O. Shevaleevskii, K.H. Jun, M. Konogai, K.S. Lim. Proc. 29th IEEE Photovoltaic Specialists Conference (New Orleans, USA, 2002) p. 1226
  3. А.Г. Казанский, П.А. Форш, К.Ю. Хабаров, М.В. Чукиев. ФТП, 37, 1100 (2003)
  4. S. Ghosh, A. Dasgupta, S. Ray. J. Appl. Phys., 78, 3200 (1995)
  5. J.K. Rath. Sol. Energy Mater. Sol. Cells, 76, 431 (2003)
  6. R. Schropp. Thin Sol. Films, 403--404, 17 (2002)
  7. A.L. Baia Neto, A. Lambertz, R. Carius, F. Finger. Phys. St. Sol., 186, R4 (2001)
  8. J.W. Lee, K.S. Lim. J. Appl. Phys., 81, 2432 (1997)
  9. S.Y. Myong, H.K. Lee, E. Yoon, K.S. Lim. J. Non-Cryst. Sol., 298, 131 (2002)
  10. S.Y. Myong, H.K. Lee, E. Yoon, K.S. Lim. Mater. Res. Soc. Symp. Proc., 557, 603 (1999)
  11. D. Kuhmann, S. Grammatica, F. Jansen. Thin Sol. Films, 177, 253 (1989)
  12. U.K. Das, T. Yasuda, S. Yamasaki. Phys. Rev. B, 63, 245 204 (2001)
  13. А.Г. Казанский, Х. Мелл, Е.И. Теруков, П.А. Форш. ФТП, 34, 373 (2000)
  14. F. Giorgis, C.F. Pirri, E. Tresso, V. Rigato, S. Zandolin, P. Rava. Physica B, 229, 233 (1997)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.