"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Моделирование концентрационной зависимости диффузии бора в кремнии
Александров О.В.1
1Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина), Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 27 мая 2003 г.
Выставление онлайн: 18 февраля 2004 г.

На основе дуального парного механизма промоделирована диффузия бора в кремнии при высокой поверхностной концентрации. Проведено сравнение расчетов с экспериментальными данными и с расчетами по модели SUPREM-3. Показано, что модель позволяет описать концентрационные профили и концентрационную зависимость коэффициента диффузии бора в широком интервале температур 800-1100oC.
  • R.B. Fair, P.N. Pappas. J. Electrochem. Soc., 122, 1241 (1975)
  • R.B. Fair. In: Impurity doping processes in silicon, ed. by F.F.Y. Wang (North--Holland, N.Y., 1981) p. 315
  • A.F.W. Willoughby, A.G.R. Evans, P. Champ, K.J. Yallup, D.J. Godfrey, M.G. Dowsett. J. Appl. Phys., 63, 116 (1988)
  • C.P. Ho, J.D. Plummer, S.E. Hansen, R.W. Dutton. IEEE Trans. Electron. Dev., ED-30, 1438 (1983)
  • S. Matsumoto, Y. Ishikawa, Y. Shirai, T. Niimi. J. Appl. Phys., 19, 217 (1980)
  • В.А. Пантелеев, В.И. Окулич, А.С. Васин, В.А. Гусаров. Изв. АН СССР. Неорг. матер., 21, 1253 (1985)
  • B. Garben, W.A. Orr Arienzo, R.F. Lever. J. Electrochem. Soc., 133, 2152 (1986)
  • J.R. Anderson, J.F. Gibbons. Appl. Phys. Lett., 28, 184 (1976)
  • W.A. Orr Arienzo, R. Glang, R.F. Lever, R.K. Lewis. J. Appl. Phys., 63, 116 (1988)
  • J. Mulvaney, W.B. Richardson. Appl. Phys. Lett., 51, 1439 (1987)
  • D. Mathiot, S. Martin. J. Appl. Phys., 70, 3071 (1991)
  • B. Baccus, T. Wada, N. Shiguo, M. Horishima, H. Nakajima, K. Inou, T. Iinuma, H. Iwai. IEEE Trans. Electron. Dev., ED-39, 648 (1992)
  • K. Ghaderi, G. Hobler. J. Electrochem. Soc., 142, 1654 (1995)
  • О.В. Александров. ФТП, 35, 1289 (1995)
  • Y.M. Haddara, B.T. Folmer, M.E. Law, T. Buyuklimanli. Appl. Phys. Lett., 77, 1976 (2000)
  • P.M. Fahey, P.B. Griffin, J.D. Plummer. Rev. Mod. Phys., 61, 289 (1989)
  • P.A. Packan, J.D. Plummer. J. Appl. Phys., 68, 4327 (1990)
  • A. Ural, P.B. Griffin, J.D. Plummer. J. Appl. Phys., 85, 6440 (1999)
  • W. Frank. Inst. Phys. Conf. Ser., 23, 23 (1975)
  • В.В. Лукьяница. ФТП, 37, 422 (2003)
  • А.А. Самарский. Теория разностных схем (М., Наука, 1977)
  • О.В. Александров. ФТП, 36, 392 (2002)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.