"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Моделирование концентрационной зависимости диффузии бора в кремнии
Александров О.В.1
1Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина), Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 27 мая 2003 г.
Выставление онлайн: 18 февраля 2004 г.

На основе дуального парного механизма промоделирована диффузия бора в кремнии при высокой поверхностной концентрации. Проведено сравнение расчетов с экспериментальными данными и с расчетами по модели SUPREM-3. Показано, что модель позволяет описать концентрационные профили и концентрационную зависимость коэффициента диффузии бора в широком интервале температур 800-1100oC.
  1. R.B. Fair, P.N. Pappas. J. Electrochem. Soc., 122, 1241 (1975)
  2. R.B. Fair. In: Impurity doping processes in silicon, ed. by F.F.Y. Wang (North--Holland, N.Y., 1981) p. 315
  3. A.F.W. Willoughby, A.G.R. Evans, P. Champ, K.J. Yallup, D.J. Godfrey, M.G. Dowsett. J. Appl. Phys., 63, 116 (1988)
  4. C.P. Ho, J.D. Plummer, S.E. Hansen, R.W. Dutton. IEEE Trans. Electron. Dev., ED-30, 1438 (1983)
  5. S. Matsumoto, Y. Ishikawa, Y. Shirai, T. Niimi. J. Appl. Phys., 19, 217 (1980)
  6. В.А. Пантелеев, В.И. Окулич, А.С. Васин, В.А. Гусаров. Изв. АН СССР. Неорг. матер., 21, 1253 (1985)
  7. B. Garben, W.A. Orr Arienzo, R.F. Lever. J. Electrochem. Soc., 133, 2152 (1986)
  8. J.R. Anderson, J.F. Gibbons. Appl. Phys. Lett., 28, 184 (1976)
  9. W.A. Orr Arienzo, R. Glang, R.F. Lever, R.K. Lewis. J. Appl. Phys., 63, 116 (1988)
  10. J. Mulvaney, W.B. Richardson. Appl. Phys. Lett., 51, 1439 (1987)
  11. D. Mathiot, S. Martin. J. Appl. Phys., 70, 3071 (1991)
  12. B. Baccus, T. Wada, N. Shiguo, M. Horishima, H. Nakajima, K. Inou, T. Iinuma, H. Iwai. IEEE Trans. Electron. Dev., ED-39, 648 (1992)
  13. K. Ghaderi, G. Hobler. J. Electrochem. Soc., 142, 1654 (1995)
  14. О.В. Александров. ФТП, 35, 1289 (1995)
  15. Y.M. Haddara, B.T. Folmer, M.E. Law, T. Buyuklimanli. Appl. Phys. Lett., 77, 1976 (2000)
  16. P.M. Fahey, P.B. Griffin, J.D. Plummer. Rev. Mod. Phys., 61, 289 (1989)
  17. P.A. Packan, J.D. Plummer. J. Appl. Phys., 68, 4327 (1990)
  18. A. Ural, P.B. Griffin, J.D. Plummer. J. Appl. Phys., 85, 6440 (1999)
  19. W. Frank. Inst. Phys. Conf. Ser., 23, 23 (1975)
  20. В.В. Лукьяница. ФТП, 37, 422 (2003)
  21. А.А. Самарский. Теория разностных схем (М., Наука, 1977)
  22. О.В. Александров. ФТП, 36, 392 (2002)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.