Физика и техника полупроводников

Авторам

Правила оформления публикаций

Вышедшие номера

2024
- 1
2023
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9
2022
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2021
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2020
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2019
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2018
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13
2017
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2016
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2015
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2014
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2013
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2012
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2011
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2010
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2009
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2008
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2007
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2006
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2005
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2004
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2003
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2002
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2001
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2000
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1999
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1998
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1997
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1996
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1995
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1994
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1993
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1992
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1991
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1990
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1989
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1988
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12

Растворимость магния в кремнии

DOI: 10.21883/FTP.2022.09.53405.9883

Переводная версия: 10.21883/SC.2022.09.54128.9883

Шуман В.Б.¹, Лаврентьев А.А.¹, Яковлева А.А.¹, Abrosimov N.V.², Лодыгин А.Н.¹, Порцель Л.М.¹, Астров Ю.А.¹

¹Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия Ioffe Institute, St. Petersburg, Russia

²Leibniz-Institut fur Kristallzuchtung (IKZ), Berlin, Germany Berlin, Germany

Email: yuri.astrov@mail.ioffe.ru

Поступила в редакцию: 12 мая 2022 г.

В окончательной редакции: 22 июня 2022 г.

Принята к печати: 27 июня 2022 г.

Выставление онлайн: 31 августа 2022 г.

PDF версия

Абстракт
Литература
Статистика просмотров

Методом масс-спектроскопии вторичных ионов исследована растворимость в кремнии примеси магния, введенного путем диффузии в интервале температур 1100-1300^oС. Показано, что с учетом электрически неактивной компоненты примеси максимальная растворимость магния в кремнии на 1-2 порядка меньше, а коэффициент диффузии выше, чем опубликованные ранее данные. Ключевые слова: кремний, легирование, примесь магния, растворимость.

R.F. Franks, J.B. Robertson. Sol. St. Commun., 5, 479 (1967)
H. Sigmund. J. Electrochem. Soc., 129, 2809 (1982)
S. Kawanishi, T. Yoshikawa. Mater. Transactions, 58 (3), 450 (2017)
В.Б. Шуман, Ю.А. Астров, А.Н. Лодыгин, Л.М. Порцель. ФТП, 51 (8), 1075 (2017)
Yu.A. Astrov, V.B. Shuman, L.М. Portsel, А.N. Lodygin, S.G. Pavlov, N.V. Abrosimov, V.N. Shastin, H.-W. Hubers. Phys. Status Solidi A, 214, 1700192 (2017)
U. Gosele, W. Frank, A. Seeger. Appl. Phys., 23, 361 (1980)
H. Bracht, N.A. Stolwijk, H. Mehrer. Phys. Rev. B, 52 (23), 16542 (1995)
Л.М. Порцель, В.Б. Шуман, А.А. Лаврентьев, А.Н. Лодыгин, Н.В. Абросимов, Ю.А. Астров. ФТП, 54 (4), 331 (2020)
C.D. Thurmond, J.D. Struthers. J. Phys. Chem., 57, 831 (1953)
Р.А. Свелин. Термодинамика твердого состояния (М., Металлургия, 1960). [Пер. с англ.: R.A. Swalin. Thermodynamics of Solids (John Wiley \& Sons, Inc., N.Y., 1962)]
Xin-Yan Yan, F. Zhang, Y.A. Chang. J. Phase Equilib., 21 (4), 379 (2000)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель