"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Обнаружение примеси водорода в кремниевых детекторах излучения
Макаренко Л.Ф.1, Коршунов Ф.П.2, Ластовский С.Б.2, Замятин Н.И.3
1Белорусский государственный университет, Минск, Белоруссия
2Институт физики твердого тела и полупроводников Белорусской академии наук, Минск, Белоруссия
3Объединенный институт ядерных исследований, Дубна, Россия
Поступила в редакцию: 26 сентября 2002 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 2003 г.

Исследовано поведение кремниевых детекторов частиц, облученных электронами с энергией 2.5 МэВ, при отжиге. Обнаружено, что отжиг при 100-250oC приводит к образованию двух ловушек с уровнями Ec-0.32 эВ и Ev+0.29 эВ. При повышении температуры отжига до 300oC обе ловушки исчезают. На основании полученных данных сделан вывод о том, что обнаруженные ловушки связаны с водородосодержащими комплексами. Результатом наличия водорода в кристалле явилось понижение температуры отжига комплексов вакансия--кислород (VO) и <межузельный углерод>--<межузельный кислород> (CiOi). Причина этого эффекта связана с пассивацией этих комплексов водородом, с образованием электрически активного центра VOH (уровень Ec-0.32 эВ) на одной из промежуточных стадий этого процесса. Предполагается, что водород попал в исследованные структуры во время одной из технологических операций их изготовления.
  • CERN LHCC 2000-009 LEB Status Report/RD48, December 31, 1999 on http://rd48.web.cern.ch/RD48/
  • B.C. MacEvoy, A. Santocchia, G. Hall. Physica B, 273--274, 1045 (1999)
  • O.V. Feklisova, N. Yarykin. Semicond. Sci. Techn., 12, 742 (1997)
  • O.V. Feklisova, N. Yarykin, E.B. Yakimov, J. Weber. Physica B, 273--274, 235 (1999)
  • Y. Tokuda. Jap. J. Appl. Phys., 37, 1815 (1998)
  • Y. Tokuda, T. Seki. Semicond. Sci. Technol., 15, 126 (2000)
  • S.J. Pearton, J.W. Corbett, T.S. Shi. Appl. Phys. A, 43, 153 (1987)
  • O.V. Feklisova, N. Yarykin, E.B. Yakimov, J. Weber. Physica B, 308--310, 210 (2001)
  • L.W. Song, G.D. Watkins. Phys. Rev. B, 42, 5759 (1990)
  • L.W. Song, X.D. Zhan, B.W. Benson, G.D. Watkins. Phys. Rev. B, 42, 5765 (1990)
  • C. Da Via, S.J. Watts. Nucl. Instr. Meth. B, 186, 111 (2002)
  • K. Irmscher, H. Klose, K.J. Mass. J. Phys. C, 17, 6317 (1984)
  • K. Bonde Nielsen et al. Physica B, 273--274, 167 (1999)
  • S.D. Brotherton, P.J. Bradley. J. Appl. Phys., 53, 5720 (1982)
  • V. Eremin, E. Verbitskaya, Z. Li. Nucl. Instr. Meth. A, 476, 537 (2002)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.