"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Моделирование поглощения фемтосекундного лазерного импульса кристаллическим кремнием
Гук И.В.1, Марциновский Г.А.1, Шандыбина Г.Д.1, Яковлев Е.Б.1
1Санкт-Петербургский национальный исследовательский университет информационных технологий, механики и оптики, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 27 декабря 2012 г.
Выставление онлайн: 19 ноября 2013 г.

Исследовано влияние нелинейности поглощательной способности и коэффициента поглощения на процесс интенсивного фотовозбуждения кремния на основе модели двухфотонного возбуждения полупроводника с учетом внешней эмиссии. Сравнение результатов моделирования поглощения фемтосекундного лазерного импульса монокристаллическим кремнием с экспериментальными данными по условиям фемтосекундного возбуждения поверхностных плазмон-поляритонов позволило уточнить механизм изменения поглощательной способности и необходимость учета этого изменения при оценке режимов лазерной обработки полупроводников. Обсуждаются пути дальнейшего совершенствования теоретической модели.
  • R.R. Gattass, E. Mazur. Nature Photonics, 2 (4), 219 (2008)
  • S. Juodkazis, V. Mizeikis, H. Misawa1. J. App. Phys., 106, 051 101 (2009)
  • N. Bellini, K.C. Vishnubhatla, F. Bragheri, L. Ferrara, P. Minzioni, R. Ramponi, I. Cristiani, R. Osellame. Opt. Express, 18, 4679 (2010)
  • W. Sibbett, A.A. Lagatsky, C.T.A. Brown. Opt. Express, 20 (7), 6989 (2012)
  • E.G. Gamaly Phys. Rep., 508, 91 (2011)
  • М.Н. Либенсон. Изв. РАН. Cер. физ., 65 (4), 515 (2001)
  • R.V. Dyukin, G.A. Martsinovskiy, O.N. Sergaeva, G.D. Shandybina, V.V. Svirina, E.B. Yakovlev. In: Laser Pulses --- Theory, Technology and Applications, ed. by Igor Peshko, Chap. 7, Rijeka: InTech. (2012) p. 197
  • B.N. Chichkov, C. Momma, S. Nolte, F. von Alvensleben, A. Tunnermann. App. Phys. A: Mater. Sci. Proc., 63 (2), 109 (1996)
  • М.Н. Либенсон. Лазерно-индуцированные оптические и термические процессы в конденсированных средах и их взаимное влияние (СПб., Наука, 2007)
  • И.А. Остапенко, С.В. Заботнов, Г.Д. Шандыбина, Л.А. Головань, А.В. Червяков, Ю.В. Рябчиков, В.В. Яковлев, В.Ю. Тимошенко, П.К. Кашкаров. Изв. РАН. Cер. физ., 70 (9), 1315 (2006)
  • E.V. Golosov, A.A. Ionin, Y.R. Kolobov, S.I. Kudryashov, A.E. Ligachev, S.V. Makarov, Y.N. Novoselov, L.V. Seleznev, D.V. Sinitsyn. Appl. Phis. A. Mater. Sci. Proc., 104, 701 (2011)
  • Y. Han, S. Qu. Chem. Phys. Lett., 495, 241 (2010)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.