"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Оптические свойства пленок ITO, полученных высокочастотным магнетронным напылением с сопутствующей ионной обработкой
Крылов П.Н.1, Закирова Р.М.1, Федотова И.В.1
1Удмуртский государственный университет, Ижевск, Россия
Поступила в редакцию: 28 января 2013 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 2013 г.

Представлено изменение свойств пленок ITO (indium tin oxide), полученных методом реактивного высокочастотного напыления с одновременной ионной обработкой. Пленки ITO имеют в оптическом диапазоне 450-1100 нм пропускание 80%, ширину запрещенной зоны 3.50-3.60 эВ, показатель преломления 1.97-2.06. Все характеристики пленок зависят от тока ионной обработки. Ионная обработка в процессе напыления уменьшает удельное сопротивление пленок ITO, минимальное значение сопротивления составляет 2·10-3 Ом·см. Обнаружена деградация пленок с высоким удельным сопротивлением при хранении на воздухе.
  • И.А. Тамбасов, В.Г. Мягков, А.А. Иваненко, И.В. Немцев, Л.Е. Быкова, Г.Н. Бондаренко, Ю.Л. Михлин, И.А. Максимов, В.В. Иванов, С.В. Балашов, Д.С. Карпенко. ФТП, 47 (4), 546 (2013)
  • В.М. Ветошкин, Р.М. Закирова, П.Н. Крылов, И.А. Суворов. ВТТ, 21 (1), 57 (2011)
  • С.В. Зайцев, Ю.В. Герасименко, С.Н. Салтыков, Д.А. Ховив, А.М. Ховив. Неорг. матер., 47 (4), 468 (2011)
  • Е.А. Зайцева, Р.М. Закирова, П.Н. Крылов, К.С. Лебедев, И.В. Федотова. Вестн. Удмуртского ун-та. Сер. Физика, химия, 2, 26 (2012)
  • M. Nisha. Ph.D thesis in the field of material science (Kerala, India, 2006)
  • M.K.M. Ali, K. Ibrahim, Osama S. Hamad, M.H. Eisa, M.G. Faraj, F. Azhari. Rom. J. Phys., 56 (5--6), 730 (2011)
  • L. Kerkache, A. Layadi, E. Dogheche, D. Remiens J. Phys. D: Appl. Phys., 39, 184 (2006)
  • W. Wohlmuth, I. Adesida. Thin Sol. Films, 479, 223 (2005)
  • H. Kim, G.M. Gilmore, A. Pique, J.S. Horwitz, H. Mattoussi, H. Murata, Z.H. Kafafi, D.B. Chrisey. J. Appl.Phys., 86 (11), 6451 (1999)
  • Распыление твердых тел ионной бомбардировкой, под ред. Р. Бериша. (М., Мир, 1986) вып. II
  • Физика тонких пленок, под ред. Г. Хасса, М. Франкомба и Р. Гофмана (М., Мир, 1978) т. 8, с. 320
  • А.В. Ершов, А.И. Машин, А.Ф. Хохлов, Д.Е. Касьянов, А.В. Нежданов, Н.И. Машин, И.А. Карабанов. Тр. 1-го совещания по проекту НАТО StP-973799 Semiconductors (Н. Новгород, 2001) с. 124
  • N. Manavizadeh, A. Khodayari, E. Asl Soleimani, Sh. Bagherzadeh, M.H. Maleki Iran. J. Chem. Chem. Eng., 28 (2), 57 (2009)
  • A. Hassanzadeh, M.H. Habibi, A. Zeini-Isfahani. Acta. Chim. Slov., 51, 507 (2004)
  • В.К. Гончаров, Д.Р. Исмаилов, О.Р. Людчик, С.А. Петров, М.В. Пузырев. Журн. прикл. спектроскопии, 74 (5), 637 (2007)
  • Г.Г. Унтила, Т.Н. Кост, А.Б. Чеботарева, М.А. Тимофеев. ФТП, 46 (7), 984 (2012)
  • Д.А. Зуев, А.А. Лотин, О.А. Новодворский, Ф.В. Лебедев, О.Д. Храмова, И.А. Петухов, Ф.Н. Путилин, А.Н. Шатохин, М.Н. Румянцева, А.М. Гаськов. ФТП, 46 (3), 425 (2012)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.