Представлены особенности электрохимического осаждения металлических покрытий на p-Si и измерены свойства полученных металлических слоев. Исследована зависимость толщины обедненной области и внутреннего падения напряжения в ней от состава электролита и типа осаждаемого металла. Доказано влияние на свойства осадков, плотность тока и состав электролитов. Подбором предварительной обработки электролита и режима осаждения получены осадки металлов с приемлемой адгезией и малым продольным сопротивлением. Ключевые слова: электрохимическое осаждение, p-Si, металлический слой, осаждение металлов.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.