Вышедшие номера
Анализ закономерностей роста при гетероэпитаксии кремния на сапфире
Павлов Д.А.1, Шиляев П.А.1, Пирогов А.В.1, Кривулин Н.О.1, Бобров А.И.1, Пегасина М.Д.1
1Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского, Нижний Новгород, Россия
Поступила в редакцию: 6 августа 2012 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2013 г.

На начальных стадиях гетероэпитаксии кремния на сапфире экспериментально обнаружено образование наноостровков двух форм: куполообразных и в форме усеченного купола. Получены снимки атомарного разрешения островков кремния на сапфире методом просвечивающей электронной микроскопии. В работе предложена модель, объясняющая нестабильность формы островков и их переход от изотропности к анизотропии формы, а также описывающая эволюцию средних геометрических размеров островков с увеличением времени роста. Показано, что зависимость диаметра от высоты близка к линейной, но при больших размерах островков наблюдается значительное расхождение с экспериментальными данными вследствие процесса коалесценции, который не учитывается моделью.