Вышедшие номера
Эффект переключения проводимости в МДП структурах с диэлектриками на базе кремния, полученными методом низкочастотного плазмохимического осаждения
Бердников А.Е.1, Гусев В.Н.1, Мироненко А.А.1, Попов А.А.1, Перминов А.В.1, Рудый А.С.1, Черномордик В.Д.1
1Ярославский филиал Физико-технологического института Российской академии наук, Ярославль, Россия
Поступила в редакцию: 25 июня 2012 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 2013 г.

Исследованы вольт-амперные характеристики МДП структур с диэлектриками на базе оксида кремния, полученных низкочастотным (55 кГц) плазмохимическим осаждением. Особенностью используемых диэлектриков были включения частиц других материалов с меньшей шириной запрещенной зоны. Установлено, что такие структуры обладают свойством биполярного переключения проводимости. Наилучшими характеристиками эффекта переключения проводимости обладали МДП структуры с многослойным диэлектриком, содержащим дополнительные слои нитрида кремния нанометровой толщины.