Модификация атомной и электронной структуры поверхности полупроводников АIIIВV на границе с растворами электролитов О б з ор
Лебедев М.В.
11Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Email: mleb@triat.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 5 марта 2020 г.
В окончательной редакции: 9 марта 2020 г.
Принята к печати: 9 марта 2020 г.
Выставление онлайн: 8 апреля 2020 г.
Обобщены экспериментальные и теоретические результаты последних лет по модификации атомной и электронной структуры поверхности различных полупроводников АIIIВV растворами электролитов. Выявлена взаимосвязь между химическими реакциями, протекающими на границах полупроводник/электролит, процессами переноса заряда между полупроводником и раствором, а также сопутствующими изменениями атомной и электронной структуры поверхности полупроводника. Показаны примеры модификации электронных характеристик и свойств полупроводниковых приборов и наноструктур при взаимодействии с растворами электролитов. Ключевые слова: полупроводниковые соединения АIIIВV, поверхность, модификация поверхности, пассивация, электронная структура, граница полупроводник/электролит.
- A. Thiel, H. Koelsch. Zs. Anorg. Chem., 66, 288 (1910)
- V.M. Goldschmidt. Trans. Farad. Soc., 25, 253 (1929)
- А.И. Блюм, Н.П. Мокровский, А.Р. Регель. Изв. АН СССР. Сер. физ., 16, 139 (1952)
- N.H. Welker. Zs. Naturforsch., 7a, 744 (1952)
- Д.Н. Наследов, А.А. Рогачев, С.М. Рывкин, Б.В. Царенков. ФТТ, 4, 1062 (1962)
- Ж.И. Алферов, Б.В. Царенков. ФТП, 19, 2113 (1985)
- Zh.I. Alferov. Rev. Mod. Phys., 73, 767 (2001)
- М.П. Михайлова, К.Д. Моисеев, Ю.П. Яковлев. ФТП, 53, 291 (2019)
- J. Robertson, R.M. Wallace. Mater. Sci. Engin. R, 88, 1 (2015)
- L. Shen, E.Y.B. Pun, J.C. Ho. Mater. Chem. Front., 1, 630 (2017)
- J.L. Boland, G. Tutuncuoglu, J.Q. Gong, S. Conesa-Boj, C.L. Davies, L.M. Herz, A. Fontcuberta i Morral, M.B. Johnston. Nanoscale, 9, 7839 (2017)
- J.C. Norman, D. Jung, Z. Zhang, Y. Wan, S. Liu, C. Shang, R.W. Herrick, W.W. Chow, A.C. Gossard, J.E. Bowers. IEEE J. Quant. Electron., 55, 2000511 (2019)
- E. Barrigon, M. Heurlin, Z. Bi, B. Monemar, L. Samuelson. Chem. Rev., 119, 9170 (2019)
- H. Kroemer. Rev. Mod. Phys., 73, 783 (2001)
- W. Monch. Rep. Prog. Phys., 53, 221 (1990)
- S.P. Svensson, J. Kanski, T.G. Andersson, P.-O. Nilsson. J. Vac. Sci. Technol. B, 2, 235 (1984)
- W. Chen, M. Dumas, D. Mao, A. Kahn. J. Vac. Sci. Technol. B, 10, 1886 (1992)
- I.M. Vitomirov, A. Raisanen, A.C. Finnefrock, R.E. Viturro, L.J. Brillson, P.D. Kirchner, G.D. Pettit, J.M. Woodall. Phys. Rev. B, 46, 13293 (1992)
- Y. Ishikawa, T. Fukui, H. Hasegawa. J. Vac. Sci. Technol. B, 15, 1163 (1997)
- C.L. Hinkle, M. Milojevic, E.M. Vogel, R.M. Wallace. Microelectron. Engin., 86, 1544 (2009)
- E.A. Plis, M.N. Kutty, S. Krishna. Laser Photonics Rev., 7, 45 (2013)
- A. Gaur, I. Manwaring, M.J. Filmer, P.M. Thomas, S.L. Rommel, K. Bhatnagar, R. Droopad. J. Vac. Sci. Technol. B, 33, 021210 (2015)
- F. Seker, K. Meeker, T.F. Kuech, A.B. Ellis. Chem. Rev., 100, 2505 (2000)
- G.P. Schwartz. Thin Sol. Films, 103, 3 (1983)
- Y. Mizokawa, O. Komoda, S. Miyase. Thin Sol. Films, 156, 127 (1988)
- F.S. Aguirre-Tostado, M. Milojevic, C.L. Hinkle, E.M. Vogel, R.M. Wallace, S. McDonnel, G.J. Hughes. Appl. Phys. Lett., 92, 171906 (2008)
- M.V. Lebedev, N.A. Kalyuzhnyy, S.A. Mintairov, W. Calvet, B. Kaiser, W. Jaegermann. Mater. Sci. Semicond. Process., 51, 81 (2016)
- C.L. Hinkle, E.M. Vogel, P.D. Ye, R.M. Wallace. Curr. Opin. Solid State Mater. Sci., 15, 188 (2011)
- L. Zhou, B. Bo, X. Yan, C. Wang, Y. Chi, X. Yang. Crystals, 8, 226 (2018)
- В.Н. Бессолов, М.В. Лебедев. ФТП, 32, 1281 (1998)
- M.V. Lebedev. Prog. Surf. Sci., 70, 153 (2002)
- V.P. LaBella, M.R. Krause, Z. Ding, P.M. Thibado. Surf. Sci. Rep., 60, 1 (2005)
- A. Ohtake. Surf. Sci. Rep., 63, 295 (2008)
- R. Duszak, C.J. Palmstr m, L.T. Florez, Y.-N. Yang, J.H. Weaver. J. Vac. Sci. Technol. B, 10, 1891 (1992)
- G. Hollinger, R. Skheyta-Kabbani, M. Gendry. Phys. Rev. B, 49, 11159 (1994)
- S. Tanuma, C.J. Powell, D.R. Penn. Surf. Interface Anal., 17, 927 (1991)
- G. Le Lay, D. Mao, A. Kahn, Y. Hwu, G. Margaritondo. Phys. Rev., B, 43, 14301 (1991)
- C.C. Surdu-Bob, S.O. Saied, J.L. Sullivan. Appl. Surf. Sci., 183, 126 (2001)
- T. Ishikawa, H. Ikoma. Jpn. J. Appl. Phys., 31, 3981 (1992)
- M. Beerbom, Th. Mayer, W. Jaegermann. J. Phys. Chem. B, 104, 8503 (2000)
- M.V. Lebedev, E. Mankel, Th. Mayer, W. Jaegermann. J. Phys. Chem. C, 114, 21385 (2010)
- A. Jablonski, J. Zemek. Surf. Interface Anal., 41, 193 (2009)
- S. Tanuma, C.J. Powell, D.R. Penn. Surf. Interface Anal., 21, 165 (1993)
- C.J. Powell, A. Jablonski. NIST Electron Inelastic-Mean-Free-Path Database --- Version 1.2 (National Institute of Standards and Technology, Gaithersburg, MD, 2010)
- S.I. Yi, P. Kruse, M. Hale, A.C. Kummel. J. Chem. Phys., 114, 3215 (2001)
- M.J. Hale, S.I. Yi, J.Z. Sexton, A.C. Kummel, M. Passlack. J. Chem. Phys., 119, 6719 (2003)
- D.L. Winn, M.J. Hale, T.J. Grassman, J.Z. Sexton, A.C. Kummel, M. Passlack, R. Droopad. J. Chem. Phys., 127, 134705 (2007)
- E.R. Weber, H. Ennen, U. Kaufmann, J. Windscheif, J. Schneider, T. Wosinski. J. Appl. Phys., 53, 6140 (1982)
- W.E. Spicer, Z. Liliental-Weber, E. Weber, N. Newman, T. Kendelewicz, R. Cao, C. McCants, P. Mahowald, K. Miyano, I. Limdau. J. Vac. Sci. Technol. B, 6, 1245 (1988)
- W.E. Spicer, N. Newman, C.J. Spindt, Z. Liliental-Weber, E.R. Weber. J. Vac. Sci. Technol. A, 8, 2084 (1990)
- C.L. Hinkle, M. Milojevic, B. Brennan, A.M. Sonnet, F.S. Aguirre-Tostado, G.J. Hughes, E.M. Vogel, R.M. Wallace. Appl. Phys. Lett., 94, 162101 (2009)
- G.S. Chang, W.C. Hwang, Y.C. Wang, Z.P. Yang, J.S. Hwang. J. Appl. Phys., 86, 1765 (1999)
- H. Ito, T. Ishibashi. Jpn. J. Appl. Phys., 33, 88 (1994)
- M. Passlack, M. Hong, J.P. Mannaerts, J.R. Kwo, L.W. Tu. Appl. Phys. Lett., 68, 3605 (1996)
- J. Lloyd-Hughes, S.K.E. Merchant, L. Fu, H.H. Tan, C. Jagadish, E. Castro-Camus, M.B. Johnson. Appl. Phys. Lett., 89, 232102 (2006)
- M.V. Lebedev, T. Mayer. Phys. Status Solidi A, 211, 2005 (2014)
- M.V. Lebedev, P.A. Dementev, T.V. Lvova, V.L. Berkovits. J. Mater. Chem. C, 7, 7327 (2019)
- M.V. Lebedev, E.V. Kunitsyna, W. Calvet, T. Mayer, W. Jaegermann. J. Phys. Chem. C, 117, 15996 (2013)
- R. Nishitani, H. Iwasaki, Y. Mizokawa, S. Nakamura. Jpn. J. Appl. Phys., 17, 321 (1978)
- B. Kaiser, D. Fertig, J. Ziegler, J. Klett, S. Hoch, W. Jaegermann. ChemPhysChem, 13, 3053 (2012)
- D.M. Zhernokletov, H. Dong, B. Brennan, J. Kim, R.M. Wallace. J. Vac. Sci. Technol. B, 30, 04E103 (2012)
- Z.Y. Liu, B. Hawkins, T.F. Kuech. J. Vac. Sci. Technol. B, 21, 71 (2003)
- Z.Y. Liu, D.A. Saulys, T.F. Kuech. Appl. Phys. Lett., 85, 4391 (2004)
- E.A. Plis. Adv. Electron., 2014, 246769 (2014)
- A. Ali, H.S. Madan, A.P. Kirk, D.A. Zhao, D.A. Mourey, M.K. Hudait, R.M. Wallace, T.N. Jackson, B.R. Bennett, J.B. Boos, S. Datta. Appl. Phys. Lett., 97, 143502 (2010)
- L. Jedral, H.E. Ruda, R. Sodhi, H. Ma, L. Mannik. Can. J. Phys., 70, 1050 (1992)
- H. Morota, S. Adachi. J. Appl. Phys., 100, 054904 (2006)
- H. Morota, S. Adachi. J. Appl. Phys., 101, 113518 (2007)
- M.V. Lebedev, T.V. Lvova, I.V. Sedova. J. Mater. Chem. C, 6, 5760 (2018)
- P.W. Chye, C.Y. Su, I. Lindau, C.M. Garner, P. Pianetta, W.E. Spicer. Surf. Sci., 88, 439 (1979)
- V.M. Bermudez. J. Appl. Phys., 114, 024903 (2013)
- P.S. Dutta, H.L. Bhat, V. Kumar. J. Appl. Phys., 81, 5821 (1997)
- A.P. Kirk, M. Milojevic, J. Kim, R.M. Wallace. Appl. Phys. Lett., 96, 202905 (2010)
- B. Brennan, G. Hughes. J. Appl. Phys., 108, 053516 (2010)
- C.B.M. Andersson, U.O. Karlsson, M.C. H kansson, L.O. Olsson, L. Ilver, P.-O. Nilsson, J. Kanski, P.E.S. Persson. Phys. Rev. B, 54, 1833 (1996)
- P. De Padova, C. Quaresima, P. Perfetti, R. Larciprete, R. Brochier, C. Richter, V. Ilakovac, P. Bencok, C. Teodorescu, V.Y. Aristov, R.L. Johnson, K. Hricovini. Surf. Sci., 482-485, 587 (2001)
- M.J. Lowe, T.D. Veal, A.P. Mowbray, C.F. McConville. Surf. Sci., 544, 320 (2003)
- L.F.J. Piper, T.D. Veal, M.J. Lowe, C.F. McConville. Phys. Rev. B, 73, 195321 (2006)
- P.D.C. King, T.D. Veal, M.J. Lowe, C.F. McConville. J. Appl. Phys., 104, 083709 (2008)
- T.V. Lvova, A.L. Shakhmin, I.V. Sedova, M.V. Lebedev. Appl. Surf. Sci., 311, 300 (2014)
- C. Adelmann, D. Cuypers, M. Tallarida, L.N.J. Rodriguez, A. De Clercq, D. Friedrich, T. Conard, A. Delabie, J.W. Seo, J.-P. Locquet, S. De Gendt, D. Schmeisser, S. Van Elshocht, M. Caymax. Chem. Mater., 25, 1078 (2013)
- D. Cuypers, D.H. van Dorp, M. Tallarida, S. Brizzi, T. Conard, L.N.J. Rodriguez, M. Mees, S. Arnauts, D. Schmeisser, C. Adelmann, S. De Gendt. ECS J. Solid State Sci. Technol., 3, N3016 (2014)
- J.M. Moison, M. Van Rompay, M. Bensoussan. Appl. Phys. Lett., 48, 1362 (1986)
- G. Chen, S.B. Visbeck, D.C. Law, R.F. Hicks. J. Appl. Phys., 91, 9362 (2002)
- N. Newman, W.E. Spicer, T. Kendelewicz, I. Lindau. J. Vac. Sci. Technol. B, 4, 931 (1986)
- J. Makela, A. Lahti, M. Tuominen, M. Yasir, M. Kuzmin, P. Laukkanen, K. Kokko, M.P.J. Punkkinen, H. Dong, B. Brennan, R.M. Wallace. Sci. Rep., 9, 1462 (2019)
- M. Kobayashi, P.T. Chen, Y. Sun, N. Goel, P. Majhi, M. Garner, W. Tsai, P. Pianetta, Y. Nishi. Appl. Phys. Lett., 93, 182103 (2008)
- A. Nainani, Y. Sun, T. Irisawa, Z. Yuan, M. Kobayashi, P. Pianetta, B.R. Bennett, J.B. Boos, K.C. Saraswat. J. Appl. Phys., 109, 114908 (2011)
- M.M. May, H.-J. Lewerenz, D. Lackner, F. Dimroth, T. Hannappel. Nature Commun., 6, 8286 (2015)
- A. Hoglund, C.W.M. Castleton, M. Gothelid, B. Johansson, S. Mirbt. Phys. Rev. B, 74, 075332 (2006)
- W.K. Liu, M.B. Santos. J. Vac. Sci. Technol. B, 14, 647 (1996)
- A. Guillen-Cervantes, Z. Rivera-Alvarez, M. Lopez-Lopez, E. Lopez-Luna, I. Hernandez-Calderon. Thin Sol. Films, 373, 159 (2000)
- H. Morota, S. Adachi. J. Appl. Phys., 105, 123520 (2009)
- J.J. Kelly, J.E.A.M. van den Meerakker, P.H.L. Notten, R.P. Tijburg. Phil. Techn. Rev., 44, 61 (1988)
- C. Bryce, D. Berk. Ind. Eng. Chem. Res., 35, 4464 (1996)
- S. Adachi, K. Oe. J. Electrochem. Soc., 130, 2427 (1983)
- Z. Liu, Y. Sun, F. Machuca, P. Pianetta, W. Spicer, R.F.W. Pease. J. Vac. Sci. Technol. A, 21, 212 (2003)
- S. Osakabe, S. Adachi. J. Electrochem. Soc., 144, 290 (1997)
- D. Aureau, R. Chaghi, I. Gerard, H. Sik, J. Fleury, A. Etcheberry. Appl. Surf. Sci., 276, 182 (2013)
- D.H. van Dorp, S. Arnauts, F. Holsteyns, S. De Gendt. ECS J. Solid State Sci. Technol., 4, N5061 (2015)
- P.H.L. Notten, J.J. Kelly, H.K. Kuiken. J. Electrochem. Soc., 133, 1226 (1986)
- J.J. Kelly, A.C. Reynders. Appl. Surf. Sci., 29, 149 (1987)
- P.H.L. Notten. J. Electrochem. Soc., 131, 2641 (1984)
- J. Mukherjee, B. Erickson, S. Maldonado. J. Electrochem. Soc., 157, H487 (2010)
- A.R. Clawson. Mater. Sci. Engin. R, 31, 1 (2001)
- G.C. DeSalvo, C.A. Bozada, J.L. Ebel, D.C. Look, J.P. Barrette, C.L.A. Cerny, R.W. Dettmer, J.K. Gillespie, C.K. Havasy, T.J. Jenkins, K. Nakano, C.I. Pettiford, T.K. Quach, J.S. Sewell, G.D. Via. J. Electrochem. Soc., 143, 3652 (1996)
- Y. Sun, Z. Liu, F. Machuca, P. Pianetta, W.E. Spicer. J. Appl. Phys., 97, 124902 (2005)
- R.P. Vasquez, B.F. Lewis, F.J. Grunthaner. J. Vac. Sci. Technol. B, 1, 791 (1983)
- A. Sal\`etes, J. Massies, J.P. Contour. Jpn. J. Appl. Phys., 25, L48 (1986)
- O.E. Tereshchenko, S.I. Chikichev, A.S. Terekhov. J. Vac. Sci. Technol. A, 17, 2655 (1999)
- O.E. Tereshchenko, V.L. Alperovich, A.S. Terekhov. Surf. Sci., 600, 577 (2006)
- O.E. Tereshchenko, D. Paget, P. Chiaradia, J.E. Bonnet, F. Wiame, A. Teleb-Ibrahimi. Appl. Phys. Lett., 82, 4280 (2003)
- O.E. Tereshchenko, E. Placidi, D. Paget, P. Chiaradia, A. Balzarotti. Surf. Sci., 570, 237 (2004)
- O.E. Tereshchenko, D. Paget, A.C.H. Rowe, V.L. Berkovits, P. Chiaradia, B.P. Doyle, S. Nannarone. Surf. Sci., 603, 518 (2009)
- O.E. Tereshchenko, D. Paget, P. Chiaradia, E. Placidi, J.E. Bonnet, F. Wiame, A. Teleb-Ibrahimi. Surf. Sci., 600, 3160 (2006)
- O.E. Tereshchenko. Appl. Surf. Sci., 252, 7684 (2006)
- T. Mayer, K. Schwanitz, B. Kaiser, A. Hajduk, M.V. Lebedev, W. Jaegermann. J. Electron Spectrosc. Relat. Phenom., 221, 116 (2017)
- X. Zhang, S. Ptasinska. J. Phys. Chem. C, 118, 4259 (2014)
- M.M. May, H.-J. Lewerenz, T. Hannappel. J. Phys. Chem. C, 118, 19032 (2014)
- M. Bomers, D.M. Di Paola, L. Cerutti, T. Michel, R. Arinero, E. Tournie, A. Patan\`e, T. Taliercio. Semicond. Sci. Technol., 33, 095009 (2018)
- M.V. Lebedev, E. Mankel, T. Mayer, W. Jaegermann. J. Phys. Chem. C, 113, 20421 (2009)
- M.V. Lebedev, D. Ensling, R. Hunger, T. Mayer, W. Jaegermann. Appl. Surf. Sci., 229, 226 (2004)
- I. Krylov, A. Gavrilov, M. Eizenberg, D. Ritter. Appl. Phys. Lett., 101, 063504 (2012)
- Y. Lechaux, A.B. Fadjie-Djomkam, M. Pastorek, X. Wallart, S. Bollaert, N. Wichmann. J. Appl. Phys., 124, 175302 (2018)
- V.L. Alperovich, O.E. Tereshchenko, N.S. Rudaya, D.V. Sheglov, A.V. Latyshev, A.S. Terekhov. Appl. Surf. Sci., 235, 249 (2004)
- E. Yablonovitch, C.J. Sandroff, R. Bhat, T. Gmitter. Appl. Phys. Lett., 51, 439 (1987)
- V.L. Berkovits, V.P. Ulin, T.V. L'vova, A. Izumi. Proc. 7th Int. Symp. Nanostructures: Physics and Technology" (Ioffe Institute, 1999)
- V.L. Berkovits, T.V. L'vova, V.P. Ulin. Vacuum, 57, 201 (2000)
- V.L. Berkovits, V.P. Ulin, M. Losurdo, P. Capezzuto, G. Bruno, G. Perna, V. Capozzi. Appl. Phys. Lett., 80, 3739 (2002)
- V.L. Berkovits, D. Paget, A.N. Karpenko, V.P. Ulin, O.E. Tereshchenko. Appl. Phys. Lett., 90, 022104 (2007)
- N.A. Valisheva, M.S. Aksenov, V.A. Golyashov, T.A. Levtsova, A.P. Kovchavtsev, A.K. Gutakovskii, S.E. Khandarkhaeva, A.V. Kalinkin, I.P. Prosvirin, V.I. Bukhtiyarov, O.E. Tereshchenko. Appl. Phys. Lett., 105, 161601 (2014)
- N.A. Valisheva, A.V. Bakulin, M.S. Aksenov, S.E. Khandarkhaeva, S.E. Kulkova. J. Phys. Chem. C, 121, 20744 (2017)
- S.R. Lunt, G.N. Ryba, P.G. Santangelo, N.S. Lewis. J. Appl. Phys., 70, 7449 (1991)
- O.S. Nakagawa, S. Ashok, C.W. Sheen, J. M rtensson, D.L. Allara. Jpn. J. Appl. Phys., 30, 3759 (1991)
- C.W. Sheen, J.-J. Shi, J. M rtensson, A.N. Parikh, D.L. Allara. J. Am. Chem. Soc., 114, 1514 (1992)
- C.D. Bain. Adv. Mater., 4, 591 (1992)
- X. Ding, K. Moumanis, J.J. Dubowski, L. Tay, N.L. Rowell. J. Appl. Phys., 99, 054701 (2006)
- H.A. Budz, M.C. Biesinger, R.R. LaPierre. J. Vac. Sci. Technol. B, 27, 637 (2009)
- A. Vilan, A. Shanzer, D. Cahen. Nature, 404, 166 (2000)
- M.P. Stewart, F. Maya, D.V. Kosynkin, S.M. Dirk, J.J. Stapleton, C.L. McGuiness, D.L. Allara, J.M. Tour. J. Am. Chem. Soc., 126, 370 (2004)
- A.M. Botelho do Rego, A.M. Ferraria, J. El Beghdadi, F. Debontridder, P. Brogueira, R. Naaman, M.R. Vilar. Langmuir, 21, 8765 (2005)
- I. Nevo, S.R. Cohen. Surf. Sci., 583, 297 (2005)
- G. Ashkenasy, D. Cahen, R. Cohen, A. Shanzer, A. Vilan. Acc. Chem. Res., 35, 121 (2002)
- B.A. MacLeod, K.X. Steirer, J.L. Young, U. Koldemir, A. Sellinger, J.A. Turner, T.G. Deutsch, D.C. Olson. ACS Appl. Mater. Interfaces, 7, 11346 (2015)
- T.A. Tanzer, P.W. Bohn, I.V. Roshchin, L.H. Greene, J.F. Klem. Appl. Phys. Lett., 75, 2794 (1999)
- T. Kaindl, K. Adlkofer, T. Morita, J. Umemura, O. Konovalov, S. Kimura, M. Tanaka. J. Phys. Chem. C, 114, 22677 (2010)
- L. Zhou, X. Chu, Y. Chi, X. Yang. Crystals, 9, 130 (2019)
- K. Gartsman, D. Cahen, A. Kadyshevitch, J. Libman, T. Moav, R. Naaman, A. Shanzer, V. Umansky, A. Vilan. Chem. Phys. Lett., 283, 301 (1998)
- M.T. Sheldon, C.N. Eisler, H.W. Atwater. Adv. Energy. Mater., 2, 339 (2012)
- N.C. Henry, A. Brown, D.B. Knorr, N. Baril, E. Nallon, J.L. Lenhart, M. Tidrow, S. Bandara. Appl. Phys. Lett., 108, 011606 (2016)
- P. Arudra, G.M. Marshall, N. Liu, J.J. Dubowski. J. Phys. Chem. C, 116, 2891 (2012)
- K. Adlkofer, W. Eck, M. Grunze, M. Tanaka. J. Phys. Chem. B, 107, 587 (2003)
- L. Mohaddes-Ardabili, L.J. Martinez-Miranda, J. Silverman, A. Christou, L.G. Salamanca-Riba, M. Al-Sheikhly. Appl. Phys. Lett., 83, 192 (2003)
- Y. Cho, A. Ivanisevic. J. Phys. Chem. B, 109, 12731 (2005)
- S.A. Jewett, A. Ivanisevic. Acc. Chem. Res., 45, 1451 (2012)
- S.A. Jewett, J.A. Yoder, A. Ivanisevic. Appl. Surf. Sci., 261, 842 (2012)
- S.M. Luber, K. Adlkofer, U. Rant, A. Ulman, A. Golzhauser, M. Grunze, D. Schuh, M. Tanaka, M. Tornow, G. Abstreiter. Physica E, 21, 1111 (2004)
- R. Stine, D.Y. Petrovykh. J. Electron. Scpectrosc. Relat. Phenom., 172, 42 (2009)
- M. Losurdo, P.C. Wu, T.-H. Kim, G. Bruno, A.S. Brown. Langmuir, 28, 1235 (2012)
- S.L. Peczonczyk, J. Mukherjee, A.I. Carim, S. Maldonado. Langmuir, 28, 4672 (2012)
- V. Lazarescu, A.-M. Toader, M. Enache, L. Preda, M. Anastasescu, G. Dobrescu, C. Negrila, M.F. Lazarescu. Electrochim. Acta, 176, 112 (2015)
- J.J. Dubowski, O. Voznyy, G.M. Marshall. Appl. Surf. Sci., 256, 5714 (2010)
- H.A. Budz, M.M. Ali, Y. Li, R.R. LaPierre. J. Appl. Phys., 107, 104702 (2010)
- V. Duplan, E. Frost, J.J. Dubowski. Sensors Actuators B, 160, 46 (2011)
- E. Nazemi, W.M. Hassen, E.H. Frost, J.J. Dubowski. Biosensors and Bioelectron., 93, 234 (2017)
- M.R. Aziziyan, W.M. Hassen, D. Morris, E.H. Frost, J.J. Dubowski. Biointerphases, 11, 019301 (2016)
- L. Tang, I.S. Chun, Z. Wang, J. Li, X. Li, Y. Lu. Anal. Chem., 85, 9522 (2013)
- C.J. Sandroff, R.N. Nottenburg, J.C. Bischoff, R. Bhat. Appl. Phys. Lett., 51, 33 (1987)
- W.H. Choi, G. You, M. Abraham, S.-Y. Yu, J. Liu, L. Wang, J. Xu, S.E. Mohney. J. Appl. Phys., 116, 013103 (2014)
- N.V. Kryzhanovskaya, E.I. Moiseev, Yu.S. Polubavkina, F.I. Zubov, M.V. Maximov, A.A. Lipovskii, M.M. Kulagina, S.I. Troshkov, V.-M. Korpijarvi, T. Niemi, R. Isoaho, M. Guina, M.V. Lebedev, T.V. Lvova, A.E. Zhukov. J. Appl. Phys., 120, 233103 (2016)
- M.-S. Park, M. Razaei, K. Barnhart, C.L. Tan, H. Mohseni. J. Appl. Phys., 121, 233105 (2017)
- K. Banerjee, S. Ghosh, S. Mallick, E. Plis, S. Krishna. J. Electron. Mater., 38, 1944 (2009)
- М.В. Лебедев, В.В. Шерстнев, Е.В. Куницына, И.А. Андреев, Ю.П. Яковлев. ФТП, 45, 535 (2011)
- E. Papis-Polakowska, J. Kaniewski, J. Szade, W. Rzodkiewicz, A. Jasik, J. Jurenczyk, Z. Orman, A. Wawro. Thin Sol. Films, 567, 77 (2014)
- R.K. Oxland, F. Rahman. Semicond. Sci. Technol., 23, 085020 (2008)
- Y.-S. Lin, Y.-J. Jou, P.-C. Huang. Appl. Phys. Lett., 94, 063506 (2009)
- C.-F. Yen, M.-K. Lee. J. Vac. Sci. Technol. B, 30, 052201 (2012)
- A. Higuera-Rodriguez, B. Romeira, S. Birindelli, L.E. Black, E. Smalbrugge, P.J. van Veldhoven, W.M.M. Kessels, M.K. Smit, A. Fiore. Nano Lett., 17, 2627 (2017)
- N. Tajik, C.M. Haapamaki, R.R. LaPierre. Nanotechnology, 23, 315703 (2012)
- N. Tajik, A.C.E. Chia, R.R. LaPierre. Appl. Phys. Lett., 100, 203122 (2012)
- B. Granados-Alpizar, F.L. Lie, A.J. Muscat. J. Vac. Sci. Technol. A, 31, 01A143 (2013)
- L. Chauhan, D.R. Gajula, D. McNeill, G. Hughes. Appl. Surf. Sci., 317, 696 (2014)
- M.S. Carpenter, M.R. Melloch, M.S. Lundstrom, S.P. Tobin. Appl. Phys. Lett., 52, 2157 (1988)
- J.-F. Fan, H. Oigawa, Y. Nannichi. Jpn. J. Appl. Phys., 27, L1331 (1988)
- H.H. Lee, R.J. Racicot, S.H. Lee. Appl. Phys. Lett., 54, 724 (1989)
- K.C. Hwang, S.S. Li. J. Appl. Phys., 67, 2162 (1990)
- Y. Wang, Y. Darici, P.H. Holloway. J. Appl. Phys., 71, 2746 (1992)
- E.D. Lu, F.P. Zhang, S.H. Xu, X.J. Yu, P.S. Xu, Z.F. Han, F.Q. Xu, X.Y. Zhang. Appl. Phys. Lett., 69, 2282 (1996)
- R. Stine, E.H. Aifer, L.J. Whitman, D.Y. Petrovykh. Appl. Surf. Sci., 255, 7121 (2009)
- B.A. Kuruvilla, S.V. Ghaisas, A. Datta, S. Banerjee, S.K. Kulkarni. J. Appl. Phys., 73, 4384 (1993)
- J. Sun, D.J. Seo, W.L. O'Brien, F.J. Himpsel, A.B. Ellis, T.F. Kuech. J. Appl. Phys., 85, 969 (1999)
- J. Arokiaraj, T. Soga, T. Jimbo, M. Umeno. Jpn. J. Appl. Phys., 38, 6587 (1999)
- P. Premchander, R. Jayavel, D. Arivuoli, K. Baskar. J. Cryst. Growth, 263, 454 (2004)
- Z.S. Li, W.Z. Cai, R.Z. Su, G.S. Dong, D.M. Huang, X.M. Ding, X.Y. Hou, X. Wang. Appl. Phys. Lett., 64, 3425 (1994)
- L.J. Gao, G.W. Anderson, F. Esposto, P.R. Norton, B.F. Mason, Z.-H. Lu, M.J. Graham. J. Vac. Sci. Technol. B, 13, 2053 (1995)
- D.N. Gnoth, D. Wolfframm, A. Patchett, S. Hohenecker, D.R.T. Zahn, A. Leslie, I.T. McGovern, D.A. Evans. Appl. Surf. Sci., 123/124, 120 (1998)
- P. Tomkiewicz, S. Arabasz, B. Adamowicz, M. Miczek, J. Mizsei, D.R.T. Zahn, H. Hasegawa, J. Szuber. Surf. Sci., 603, 498 (2009)
- Y. Wu, Y. Liu, X.M. Ding, E.G. Obbard, X.Z. Wang, H.J. Ding, X.Y. Hou, X.B. Li. Appl. Surf. Sci., 228, 5 (2004)
- Z.L. Yuan, X.M. Ding, H.T. Hu, Z.S. Li, J.S. Yang, X.Y. Miao, X.Y. Chen, X.A. Cao, X.Y. Hou, E.D. Lu, S.H. Xu, P.S. Xu, X.Y. Zhang. Appl. Phys. Lett., 71, 3081 (1997)
- Z.L. Yuan, X.M. Ding, B. Lai, X.Y. Hou, E.D. Lu, P.S. Xu, X.Y. Zhang. Appl. Phys. Lett., 73, 2977 (1998)
- Z.L. Yuan, B. Lai, X.M. Ding, X.Y. Hou. Appl. Surf. Sci., 134, 69 (1998)
- X. Zhang, A.Z. Li, C. Lin, Y.L. Zheng, G.Y. Xu, M. Qi, Y.G. Zhang. J. Cryst. Growth, 251, 782 (2003)
- N. Eassa, D.M. Murape, J.H. Neethling, R. Betz, E. Coetsee, H.C. Swart, A. Venter, J.R. Botha. Surf. Sci., 605, 994 (2011)
- D.M. Murape, N. Eassa, C. Nyamhere, J.H. Neethling, R. Betz, E. Coetsee, H.C. Swart, J.R. Botha, A. Venter. Physica B, 407, 1675 (2012)
- D.M. Murape, N. Eassa, J.H. Neethling, R. Betz, E. Coetsee, H.C. Swart, J.R. Botha, A. Venter. Appl. Surf. Sci., 258, 6753 (2012)
- D. Tao, Y. Cheng, J. Liu, J. Su, T. Liu, F. Yang, F. Wang, K. Cao, Z. Dong, Y. Zhao. Mater. Sci. Semicond. Process., 40, 685 (2015)
- В.Н. Бессолов, А.Ф. Иванков, Е.В. Коненкова, М.В. Лебедев. Письма ЖТФ, 21 (1), 46 (1995)
- V.N. Bessolov, E.V. Konenkova, M.V. Lebedev. J. Vac. Sci. Technol. B, 14, 2761 (1996)
- V.N. Bessolov, E.V. Konenkova, M.V. Lebedev. Mater. Sci. Eng. B, 44, 376 (1997)
- V.N. Bessolov, M.V. Lebedev, B.V. Tsarenkov, Yu.M. Shernyakov. Mater. Sci. Eng. B, 44, 380 (1997)
- R. Hakimi, M.-C. Amann. Semicond. Sci. Technol., 12, 778 (1997)
- C. Huh, S.-W. Kim, H.-S. Kim, H.-M. Kim, H. Hwang, S.-J. Park. Appl. Phys. Lett., 78, 1766 (2001)
- K. Amarnath, R. Grover, S. Kanakaraju, P.-T. Ho. IEEE Photon. Technol. Lett., 17, 2280 (2005)
- E.I. Moiseev, N.V. Kryzhanovskaya, M.V. Maximov, A.M. Mozharov, A.S. Gudovskikh, A.S. Polushkin, I.S. Mukhin, Yu.A. Guseva, M.M. Kulagina, S.I. Troshkov, T. Niemi, R. Isoaho, M. Guina, A.E. Zhukov. J. Phys.: Conf. Ser., 917, 052002 (2017)
- N. Tajik, Z. Peng, P. Kuyanov, R.R. LaPierre. Nanotechnology, 22, 225402 (2011)
- C. Huh, S.-W. Kim, H.-S. Kim, I.-H. Lee, S.-J. Park. J. Appl. Phys., 87, 4591 (2000)
- S.C. Han, J.-K. Kim, J.Y. Kim, D.M. Lee, J.-S. Yoon, J.-K. Kim, E.F. Schubert, J.-M. Lee. J. Nanosci. Nanotechnology, 13, 5715 (2013)
- T.H. Yu, L. Yan, W. You, R.B. Laghumavarapu, D. Huffaker, C. Ratsch. Appl. Phys. Lett., 103, 173902 (2013)
- D.J. Carrad, A.M. Burke, P.J. Reece, R.W. Lyttleton, D.E.J. Waddington, A. Rai, D. Reuter, A.D. Wieck, A.P. Micolich. J. Phys.: Condens. Matter, 25, 325304 (2013)
- T. Ohno, K. Shiraishi. Phys. Rev. B, 42, 11194 (1990)
- K.N. Ow, X.W. Wang. Phys. Rev. B, 54, 17661 (1996)
- Z. Tian, M.W.C. Dharma-wardana, Z.H. Lu, R. Cao, L.J. Lewis. Phys. Rev. B, 55, 5376 (1997)
- S. Miyamura, Y. Kasai, Y. Yamamura, T. Inokuma, K. Iiyama, S. Takamiya. Jpn. J. Appl. Phys., 42, 7244 (2003)
- D.F. Li, H.Y. Xiao, X.T. Zu, F. Gao. Solid State Commun., 147, 141 (2008)
- M. Cakmak, G.P. Srivastava. Phys. Rev. B, 57, 4486 (1998)
- М.В. Лебедев. ФТТ, 48, 152 (2006)
- O. Voznyy, J.J. Dubowski. J. Phys. Chem. C, 112, 3726 (2008)
- V.N. Bessolov, M.V. Lebedev, E.V. Novikov, B.V. Tsarenkov. J. Vac. Sci. Technol. B, 11, 10 (1993)
- Е.А. Мелвин-Хьюз. Равновесие и кинетика реакций в растворах, пер. с англ. под ред. д. х. н. И.П. Белецкой (М., Химия, 1975). [E.A. Moelwyn-Hughes. The Chemical Statics and Kinetics of Solutions (Academic Press, N. Y., 1971)]
- B.J. Scromme, C.J. Sandroff, E. Yablonovitch, T. Gmitter. Appl. Phys. Lett., 51, 2022 (1987)
- A.A. Viggiano, S.T. Arnold, R.A. Morris, A.F. Ahrens, P.M. Hierl. J. Phys. Chem., 100, 14397 (1996)
- J. Cioslowski, M. Martinov. J. Chem. Phys., 103, 4967 (1995)
- J. Tomasi, M. Persico. Chem. Rev., 94, 2027 (1994)
- R.G. Parr, W. Yang. Density functional theory of atoms and molecules (Oxford University Press, Oxford, 1989)
- P. Geerlings, F. De Proft, W. Langenaeker. Chem. Rev., 103, 1793 (2003)
- R.G. Pearson. J. Am. Chem. Soc., 85, 3533 (1963)
- K. Fukui. Science, 218, 747 (1982)
- P.W. Ayers, R.G. Parr. J. Am. Chem. Soc., 122, 2010 (2000)
- W. Yang, W.J. Mortier. J. Am. Chem. Soc., 108, 5708 (1986)
- M.V. Lebedev. J. Phys. Chem. B, 105, 5427 (2001)
- M.V. Lebedev. Chem. Phys. Lett., 419, 96 (2006)
- M.V. Lebedev. Appl. Surf. Sci., 254, 8016 (2008)
- G. De Luca, E. Sicilia, N. Russo, T. Mineva. J. Am. Chem. Soc., 124, 1494 (2002)
- R.K. Roy, S. Krishnamurti, P. Geerlings, S. Pal. J. Phys. Chem. A, 102, 3746 (1998)
- P. Piquini, A. Fazzio, A. Dal Pino, jr. Surf. Sci., 313, 41 (1994)
- F. Mendez, J.L. Gazquez. J. Am. Chem. Soc., 116, 9298 (1994)
- M.D. Pashley. Phys. Rev. B, 40, 10481 (1989)
- M.V. Lebedev, T. Mayer, W. Jaegermann. Surf. Sci., 547, 171 (2003)
- T. Mayer, M. Lebedev, R. Hunger, W. Jaegermann. Appl. Surf. Sci., 252, 31 (2005)
- P. Kruse, J.G. McLean, A.C. Kummel. J. Chem. Phys., 113, 2060 (2000)
- D.E. Aspnes. Surf. Sci., 132, 406 (1983)
- T.J. Drummond. Phys. Rev. B, 59, 8182 (1999)
- V.N. Bessolov, A.F. Ivankov, M.V. Lebedev. J. Vac. Sci. Technol. B, 13, 1018 (1995)
- W. Yang, R.G. Parr. Proc. Natl. Acad. Sci. USA, 82, 6723 (1985)
- G.N. Ryba, C.N. Kenyon, N.S. Lewis. J. Phys. Chem., 97, 13814 (1993)
- R.G. Parr, Z. Zhou. Acc. Chem. Res., 26, 256 (1993)
- L. Koenders, M. Blomacher, W. Monch. J. Vac. Sci. Technol. B, 6, 1416 (1988)
- M. Buchel, H. Luth. Surf. Sci., 87, 285 (1979)
- A. Hajduk, M.V. Lebedev, B. Kaiser, W. Jaegermann. Phys. Chem. Chem. Phys., 20, 21144 (2018)
- X. Zhang. J. Phys. Chem. C, 123, 20916 (2019)
- E.V. Kunitsyna, T.V. L'vova, M. S. Dunaevskii, Ya.V. Terent'ev, A.N. Semenov, V.A. Solov'ev, B.Ya. Meltser, S.V. Ivanov, Yu.P. Yakovlev. Appl. Surf. Sci., 256, 5644 (2010)
- М.В. Лебедев, Т.В. Львова, А.Л. Шахмин, О.В. Рахимова, П.А. Дементьев, И.В. Седова. ФТП, 53, 908 (2019)
- F.J. Luque, M. Orozco, P.K. Bhadane, S.R. Gadre. J. Chem. Phys., 100, 6718 (1994)
- P. Jaramillo, P. Perez, P. Fuentealba, S. Canuto, K. Coutinho. J. Phys. Chem. B, 113, 4314 (2009)
- Z.Y. Liu, T.F. Kuech, D.A. Saulys. Appl. Phys. Lett., 83, 2587 (2003)
- V.N. Bessolov, M.V. Lebedev, D.R.T. Zahn. J. Appl. Phys., 82, 2640 (1997)
- V.N. Bessolov, M.V. Lebedev, A.F. Ivankov, W. Bauhofer, D.R.T. Zahn. Appl. Surf. Sci., 133, 17 (1998)
- V.N. Bessolov, M.V. Lebedev, N.M. Binh, M. Friedrich, D.R.T. Zahn. Semicond. Sci. Technol., 13, 611 (1998)
- D.E. Aspnes, A.A. Studna. Phys. Rev. B, 27, 985 (1983)
- D. Olego, M. Cardona. Phys. Rev. B, 24, 7217 (1981)
- L.A. Farrow, C.J. Sandroff, M.C. Tamargo. Appl. Phys. Lett., 51, 1931 (1987)
- J. Geurts. Surf. Sci. Rep., 18, 1 (1993)
- M.V. Lebedev, M. Aono. J. Appl. Phys., 87, 289 (2000)
- M.V. Lebedev, K. Ikeda, H. Noguchi, Y. Abe, K. Uosaki. Appl. Surf. Sci., 267, 185 (2013)
- J.I. Pankove. Optical Processes in Semiconductors (Prentice-Hall, Englewood, N.J., 1971)
- M.C. Beard, G.M. Turner, C.A. Schmuttenmaer. Phys. Rev. B, 62, 15764 (2000)
- I. Riech, E. Marin, P. Diaz, J.J. Alvarado-Gil, J.G. Mendoza-Alvarez, H. Vargas, A. Cruz-Orea, M. Vargas, J. Bernal-Alvarado. Phys. Status Solidi A, 169, 275 (1998)
- G. Kaden, M. Mai. Semicond. Sci. Technol., 20, 1136 (2005)
- S. Arab, C.-Y. Chi, T. Shi, Y. Wang, D.P. Dapkus, H.E. Jackson, L.M. Smith, S.B. Cronin. ACS Nano, 9, 1336 (2015)
- R.R. LaPierre, A.C.E. Chia, S.J. Gibson, C.M. Haapamaki, J. Boulanger, R. Yee, P. Kuyanov, J. Zhang, N. Tajik, N. Jewell, K.M.A. Rahman. Phys. Status Solidi RRL, 7, 815 (2013)
- E. Barrigon, M. Heurlin, Z. Bi, B. Monemar, L. Samuelson. Chem. Rev., 119, 9170 (2019)
- J.-H. Ko, D. Yoo, Y.-H. Kim. Chem. Commun., 53, 388 (2017)
- A.C.E. Chia, R.R. LaPierre. J. Appl. Phys., 112, 063705 (2012)
- L.K. van Vugt, S.J. Veen, E.P.A.M. Bakkers, A.L. Roest, D. Vanmaekelbergh. J. Am. Chem. Soc., 127, 12357 (2005)
- S. Naureen, N. Shahid, R. Sanatinia, S. Anand. Adv. Funct. Mater., 23, 1620 (2013)
- R. Sanatinia, K.M. Awan, S. Naureen, N. Anttu, E. Ebraert, S. Anand. Opt. Mater. Express, 2, 1671 (2012)
- H.-Y. Cheung, S. Yip, N. Han, G. Dong, M. Fang, Z.-x. Yang, F. Wang, H. Lin, C.-Y. Wong, J.C. Ho. ACS Nano, 9, 7545 (2015)
- C. Speich, F. Dissinger, L. Liborius, U. Hagemann, S.R. Waldvogel, F.-J. Tegude, W. Prost. Phys. Status Solidi B, 256, 1800678 (2019)
- B. Li, S. Li, Y. Sun, S. Li, G. Chen, X. Wang. Nanotechnology, 30, 445704 (2019)
- P.A. Alekseev, M.S. Dunaevskiy, V.P. Ulin, T.V. Lvova, D.O. Filatov, A.V. Nezhdanov, A.I. Mashin, V.L. Berkovits. Nano Lett., 15, 63 (2015)
- G. Mariani, P.-S. Wong, A.M. Katzenmeyer, F. Leonard, J. Shapiro, D.L. Huffaker. Nano Lett., 11, 2490 (2011)
- C. Gutsche, R. Niepelt, M. Gnauk, A. Lysov, W. Prost, C. Ronning, F.-J. Tegude. Nano Lett., 12, 1453 (2012)
- D.B. Suyatin, C. Thelander, M.T. Bjork, I. Maximov, L. Samuelson. Nanotechnology, 18, 105307 (2007)
- D. Montemurro, D. Massarotti, P. Lucignano, S. Roddaro, D. Stornaiuolo, D. Ercolani, L. Sorba, A. Tagliacozzo, F. Beltram, F. Tafuri. J. Supercond. Nov. Magn., 28, 3429 (2015)
- Y. Xiong, H. Tang, X. Wang, Y. Zhao, Q. Fu, J. Yang, D. Xu. Sci. Rep., 7, 13252 (2017)
- P. Yu, Z. Li, T. Wu, Y.T. Wang, X. Tong, C.-F. Li, Z. Wang, S.-H. Wei, Y. Zhang, H. Liu, L. Fu, Y. Zhang, J. Wu, H.H. Tan, C. Jagadish, Z.M. Wang. ACS Nano, 13, 13492 (2019)
- Д.Ф. Смирнов, А.С. Трошин. УФН, 153, 233 (1987)
- C.Zhao, T.K. Ng, A. Prabaswara, M. Conroy, S. Jahangir, T. Frost. J. O'Connell, J.D. Holmes, P.J. Parbrook, P. Bhattacharya, B.S. Ooi. Nanoscale, 7, 16658 (2015)
- O.I. Micic, J. Sprague, Z. Lu, A.J. Nozik. Appl. Phys. Lett., 68, 3150 (1996)
- С.Б. Бричкин, В.Ф. Разумов, Успехи химии, 85, 1297 (2016)
- M.S. Skolnick, D.J. Mowbray. Annual. Rev. Mater. Res., 34, 181 (2004)
- J. Wu, S. Chen, A. Seeds, H. Liu. J. Phys. D: Appl. Phys., 48, 363001 (2015)
- D.V. Talapin, N. Gaponik, H. Borchert, A.L. Rogach, M. Haase, H. Weller. J. Phys. Chem. B, 106, 12659 (2002)
- T.-G. Kim, D. Zherebetskyy, Y. Bekenstein, M.H. Oh, L.-W. Wang, E. Jang, A.P. Alivisatos. ACS Nano, 12, 11529 (2018)
- S. Adam, D.V. Talapin, H. Borchert, A. Lobo, C. McGinley, A.R.B. de Castro, M. Haase, H. Weller, T. Moller. J. Chem. Phys., 123, 084706 (2005)
- M.J. Milla, J.M. Ulloa, A. Guzman. Appl. Phys. Express, 6, 092002 (2013)
- A. Lin, B.L. Liang, V.G. Dorogan, Yu.I. Mazur, G.G. Tarasov, G.J. Salamo, D.L. Huffaker. Nanotechnology, 24, 075701 (2013)
- G. Trevisi, L. Seravalli, P. Frigeri. Nano Research, 9, 3018 (2016)
- H. Oigawa, J.-F. Fan, Y. Nannichi, H. Sugahara, M. Oshima. Jpn. J. Appl. Phys., 30, L322 (1991)
- L. Biadala, W. Peng, Y. Lambert, J.H. Kim, D. Canneson, A. Houppe, M. Berthe, D. Troadec, D. Deresmes, G. Patriarche, T. Xu, X. Pi, X. Wallart, C. Delerue, M. Bayer, J. Xu, B. Grandidier. ACS Nano, 13, 1961 (2019)
- R.T. Tung. Appl. Phys. Rev., 1, 011304 (2014)
- J.R. Waldrop. Appl. Phys. Lett., 44, 1002 (1984)
- M.S. Carpenter, M.R. Melloch, T.E. Dungan. Appl. Phys. Lett., 53, 66 (1988)
- J.-F. Fan, H. Oigawa, Y. Nannichi. Jpn. J. Appl. Phys., 27, L2125 (1988)
- P.-H. Lai, S.-I. Fu, Y.-Y. Tsai, C.-H. Yen, S.-Y. Cheng, W.-C. Liu. Appl. Phys. Lett., 87, 083502 (2005)
- P.-H. Lai, S.-I. Fu, Y.-Y. Tsai, C.-W. Hung, C.-H. Yen, H.-M. Chuang, W.-C. Liu. J. Electrochem. Soc., 153, G632 (2006)
- В.Л. Берковиц, Т.В. Львова, В.П. Улин. ФТП, 45, 1637 (2011)
- B. Rotelli, L. Tarricone, E. Gombia, R. Mosca, M. Perotin. J. Appl. Phys., 81, 1813 (1997)
- C.-L. Lin, Y.-K. Su, J.-R. Chang, S.-M. Chen, W.-L. Li, D.-H. Jaw. Jpn. J. Appl. Phys., 39, L400 (2000)
- M.-J. Jeng, H.-T. Wang, L.-B. Chang, R.-M. Lin. Jpn. J. Appl. Phys., 40, 562 (2001)
- G. He, X. Chen, Z. Sun. Surf. Sci. Rep., 68, 68 (2013)
- T. Gougousi. Prog. Cryst. Growth Charact. Mater., 62, 1 (2016)
- Г.В. Свечникова, С.И. Кольцов, В.Б. Алешковский. ЖПХ, 43, 430 (1970)
- В.Б. Алешковский. ЖПХ, 47, 2145 (1974)
- T. Suntola, J. Hyvarinen. Ann. Rev. Mater. Sci., 15, 177 (1985)
- C.H.L. Goodman, M.V. Pessa. J. Appl. Phys., 60, R65 (1986)
- C.L. Hinkle, A.M. Sonnet, E.M. Vogel, S. McDonnel, G.J. Hughes, M. Milojevic, B. Lee, F.S. Aguirre-Tostado, K.J. Choi, H.C. Kim, J. Kim, R.M. Wallace. Appl. Phys. Lett., 92, 071901 (2008)
- J. Gao, G. He, S. Liang, D. Wang, B. Yang. J. Mater. Chem. C, 6, 2546 (2018)
- H.D. Trinh, Y.-C. Lin, H.-C. Wang, C.-H. Chang, K. Kakushima, H. Iwai, T. Kawanago, Y.-G. Lin, C.-M. Chen, Y.-Y. Wong, G.-N. Huang, M. Hudait, E.Y. Chang. Appl. Phys. Express, 5, 021104 (2012)
- Y. Xuan, H.-C. Lin, P.D. Ye. IEEE Trans. Electron. Dev., 54, 1811 (2007)
- Y.C. Chang, C. Merckling, J. Penaud, C.Y. Lu, W.-E. Wang, J. Dekoster, M. Meuris, M. Caymax, M. Heyns, J. Kwo, M. Hong. Appl. Phys. Lett., 97, 112901 (2010)
- Y.-P. Gong, A.-D. Li, X.-J. Liu, W.-Q. Zhang, H. Li, D. Wu. Surf. Interface Anal., 43, 734 (2011)
- Y.-P. Gong, A.-D. Li, X.-F. Li, H. Li, H.-F. Zhai, D. Wu. Semicond. Sci. Technol., 25, 055012 (2010)
- Y.-Q. Cao, X. Li, L. Zhu, Z.-Y. Cao, D. Wu, A.-D. Li. J. Vac. Sci. Technol. A, 33, 01A136 (2015)
- C.-H. An, Y.-C. Byun, M.S. Lee, H. Kim. J. Electrochem. Soc., 158, G242 (2011)
- C.-F. Yen, M.-K. Lee. J. Vac. Sci. Technol. B, 30, 052201 (2012)
- H.-K. Kang, Y.-S. Kang, M. Baik, K.-S. Jeong, D.-K. Kim, J.-D. Song, M.-H. Cho. J. Phys. Chem. C, 122, 7226 (2018)
- H.S. Jin, Y.J. Cho, T.J. Seok, D.H. Kim, D.W. Kim, S.-M. Lee, J.-B. Park, D.-J. Yun, S.K. Kim, C.S. Hwang, T.J. Park. Appl. Surf. Sci., 357, 2306 (2015)
- D.H. van Dorp, L. Nyns, D. Cuypers, T. Ivanov, S. Brizzi, M. Tallarida, C. Fleischmann, P. Honicke, M. Muller, O. Richard, D. Schmeib er, S. De Gendt, D. Lin, C. Adelmann. ACS Appl. Electron. Mater., 1, 2190 (2019)
- U. Peralagu, I.M. Povey, P. Carolan, J. Lin, R. Contreras-Guerrero, R. Droopad, P. Hurley, I.G. Thayne. Appl. Phys. Lett., 105, 162907 (2014)
- E. O'Connor, B. Brennan, V. Djara, K. Cherkaoui, S. Monaghan, S.B. Newcomb, R. Contreras, M. Milojevic, G. Hughes, M.E. Pemble, R.M. Wallace, P.K. Hurley. J. Appl. Phys., 109, 024101 (2011)
- L. Zhao, Z. Tan, R. Bai, N. Cui, J. Wang, J. Xu. Appl. Phys. Express, 6, 056502 (2013)
- W.-J. Hsueh, C.-Y. Chen, C.-M. Chang, J.-I. Chyi. J. Vac. Sci. Technol. A, 35, 01B106 (2017)
- S.-H. Yoon, K. Kato, C. Yokoyama, D.-H. Ahn, M. Takenaka, S. Takagi. J. Appl. Phys., 126, 184501 (2019)
- S.K. Kim, D.-M. Geum, H.-R. Lim, H. Kim, J.-H. Han, D.K. Hwang, J.D. Song, H.-j. Kim, S. Kim. Appl. Phys. Lett., 115, 143502 (2019)
- Y. Lechaux, A.B. Fadjie-Djomkam, S. Bollaert, N. Wichmann. Appl. Phys. Lett., 109, 131602 (2016)
- R. Driad, Z.H. Lu, S. Charbonneau, W.R. McKinnon, S. Laframboise, P.J. Poole, S.P. McAlister. Appl. Phys. Lett., 73, 665 (1998)
- Z. Jin, W. Prost, S. Neumann, F.J. Tegude. J. Vac. Sci. Technol. B, 22, 1060 (2004)
- S.-I. Fu, S.-Y. Cheng, P.-H. Lai, Y.-Y. Tsai, C.-W. Hung, C.-H. Yen, W.-C. Liu. J. Electrochem. Soc., 153, G938 (2006)
- S.L. McCall, A.F.J. Levi, R.E. Slusher, S.J. Pearton, R.A. Logan. Appl. Phys. Lett., 60, 289 (1992)
- S. Koseki, B. Zhang, K. De Greve, Y. Yamamoto. Appl. Phys. Lett., 94, 051110 (2009)
- W.S. Hobson, F. Ren, U. Mohideen, R.E. Slusher, M. Lamont Schnoes, S.J. Pearton. J. Vac. Sci. Technol. A, 13, 642 (1995)
- A. Rogalski, P. Martyniuk, M. Kopytko. Appl. Phys. Rev., 4, 031304 (2017)
- M.-S. Park, M. Razaei, K. Barnhart, C.L. Tan, H. Mohseni. J. Appl. Phys., 121, 233105 (2017)
- E.K. Duerr, M.J. Manfra, M.A. Diagne, R.J. Bailey, J.P. Donnelly, M.K. Connors, G.W. Turner. Appl. Phys. Lett., 91, 231115 (2007)
- R.R. LaPierre, M. Robson, K.M. Azizur-Rahman, P. Kuyanov. J. Phys. D: Appl. Phys., 50, 123001 (2017)
- G.R. Savich, D.E. Sidor, X. Du, G.W. Wicks, M.C. Debnath, T.D. Mishima, M.B. Santos, T.D. Golding. M. Jain, A.P. Craig, A.R.J. Marshall. J. Vac. Sci. Technol. B, 35, 02B105 (2017)
- D. Sheela, N. DasGupta. Semicond. Sci. Technol., 23, 035018 (2008)
- S.S. Kang, D.-M. Geum, K. Kwak, J.-H. Kang, C.-H. Shim, H.Y. Hyun, S.H. Kim, W.J. Choi, S.-H. Choi, M.-C. Park, J.D. Song. Sci. Rep., 9, 12875 (2019)
- A. Chen, B.-C. Juang, D. Ren, B. Liang, D.L. Prout, A.F. Chatziioannou, D.L. Huffaker. Jpn. J. Appl. Phys., 58, 090907 (2019)
- B.-M. Nguyen, D. Hoffman, P.-Y. Delaunay, M. Razeghi. Appl. Phys. Lett., 91, 163511 (2007)
- И.А. Андреев, Е.В. Куницына, В.М. Лантратов, Т.В. Львова, М.П. Михайлова, Ю.П. Яковлев. ФТП, 31, 653 (1997)
- A. Gin, Y. Wei, A. Bajowala, V. Yazdanpanah, M. Razeghi, M. Tidrow. Appl. Phys. Lett., 84, 2037 (2004)
- J. Hoffmann, T. Lehnert, D. Hoffmann, H. Fouckhardt. Semicond. Sci. Technol., 24, 065008 (2009)
- M.R. Ravi, A. DasGupta, N. DasGupta. J. Cryst. Growth, 268, 359 (2004)
- K. Banerjee, S. Ghosh, E. Plis, S. Krishna. J. Electron. Mater., 39, 2210 (2010)
- L.X. Zhang, W.G. Sun, X.F. Zhang, X.B. Zhu, X.C. Cao, J.J. Si. Appl. Phys. A, 117, 853 (2014)
- L.X. Zhang, W.G. Sun, Y.Q. Lv, M. Li, J.X. Ding, J.J. Si. Appl. Phys. A, 118, 547 (2015)
- P.-Y. Delaunay, A. Hood, B.M. Nguyen, D. Hoffman, Y. Wei, M. Razeghi. Appl. Phys. Lett., 91, 091112 (2007)
- N.A. Kalyuzhnyy, V.V. Evstropov, V.M. Lantratov, S.A. Mintairov, M.A. Mintairov, A.S. Gudovskikh, A. Luque, V.M. Andreev. Int. J. Photoenergy, 2014, 836284 (2014)
- O. Khaselev, J.A. Turner. Science, 280, 425 (1998)
- J.L. Young, M.A. Steiner, H. Doscher, R.M. France, J.A. Turner, T.G. Detsch. Nature Energy, 2, 17028 (2017)
- W.-H. Cheng, M.H. Richter, M.M. May, J. Ohlmann, D. Lackner, F. Dimroth, T. Hannappel, H.A. Atwater, H.-J. Lewerenz. ACS Energy Lett., 3, 1795 (2018)
- L.-W. Lai, J.-T. Chen, L.-R. Lou, C.-H. Wu, C.-T. Lee. J. Electrochem. Soc., 155, B1270 (2008)
- Н.М. Лебедева, А.А. Усикова, В.В. Евстропов, М.В. Лебедев, В.П. Улин, В.М. Лантратов, В.М. Андреев. ЖТФ, 84 (6), 92 (2014)
- M. Chitambar, Z. Wang, Y. Liu, A. Rocket, S. Maldonado. J. Am. Chem. Soc., 134, 10670 (2012)
- H. Lim, J.L. Young, J.F. Geisz, D.J. Friedman, T.G. Deutsch, J. Yoon. Nature Commun., 10, 3388 (2019)
- D. Khatiwada, M. Rathi, P. Dutta, S. Sun, C.A. Favela, Y. Yao, Y. Li, S. Pouladi, J.H. Ryou, V. Selvamanickam. ACS Appl. Energy Mater., 2, 3114 (2019)
- A.M. Burke, D.E.J. Waddington, D.J. Carrad, R.W. Lyttleton, H.H. Tan, P.J. Reece, O. Klochan, A.R. Hamilton, A. Rai, D. Reuter, A.D. Wieck, A.P. Micolich. Phys. Rev. B, 86, 165309 (2012)
- M.V. Lebedev, M. Shimomura, Y. Fukuda. Surf. Interface Anal., 42, 791 (2010)
- Т.В. Львова, М.С. Дунаевский, М.В. Лебедев, А.Л. Шахмин, И.В. Седова, С.В. Иванов. ФТП, 47, 710 (2013)
- V.A. Solov'ev, I.V. Sedova, T.V. Lvova, M.V. Lebedev, P.A. Dement'ev, A.A. Sitnikova, A.N. Semenov, S.V. Ivanov. Appl. Surf. Sci., 356, 378 (2015)
- И.В. Седова, Т.В. Львова, В.П. Улин, С.В. Сорокин, А.В. Анкудинов, В.Л. Берковиц, С.В. Иванов, П.С. Копьев. ФТП, 36, 59 (2002)
- Т.В. Львова, И.В. Седова, М.С. Дунаевский, А.Н. Карпенко, В.П. Улин, С.В. Иванов, В.Л. Берковиц. ФТТ, 51, 1055 (2009)
- S. Butera, R.T. Moug, P. Vines, G.S. Buller, K.A. Prior. Phys. Status Solidi C, 11, 1210 (2014)
- S. Kollakowski, C. Lemm, A. Strittmatter, E.H. Bottcher, D. Bimberg. IEEE Photon. Technol. Lett., 10, 114 (1998)
- K. Kubo, K. Kanai, J. Okabayashi, M. Oshima, H. Ofuchi. J. Cryst. Growth, 301-302, 619 (2007)
- S.T. Gill, J. Damasco, B.E. Janicek, M.S. Durkin, V. Humbert, S. Gazibegovic, D. Car, E.P.A.M. Bakkers, P.Y. Huang, N. Mason. Nano Lett., 18, 6121 (2018)
- I.E. Cortes-Mestizo, L.I. Espinosa-Vega, J.A. Espinoza-Figueroa, A. Cisneros-de-la-Rosa, E. Eugenio-Lopez, V.H. Mendez-Garsia, E. Briones, J. Briones, L. Zamora-Peredo, R. Droopad, C. Yee-Rendon. J. Vac. Sci. Technol. B, 34, 02L110 (2016).
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.