"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Применение высокочастотной ЭПР спектроскопии для идентификации и разделения позиций азота и ванадия в кристаллах и гетероструктурах карбида кремния
Переводная версия: 10.1134/S1063782620010066
Российский фонд фундаментальных исследований (РФФИ), 19-52-12058
Германский научно-исследовательский фонд DFG, ICRC TRR160 (Project C7)
Единач Е.В.1, Криворучко А.Д.1, Гурин А.С.1, Музафарова М.В.1, Ильин И.В.1, Бабунц Р.А.1, Романов Н.Г.1, Бадалян А.Г.1, Баранов П.Г.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Email: ivan.ilyin@mail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 2 августа 2019 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 2019 г.

Показано преимущество высокочастотной спектроскопии электронного парамагнитного резонанса для идентификации доноров азота и глубокой компенсирующей примеси ванадия в различных кристаллографических позициях кристалла карбида кремния. Измерения были выполнены на спектрометре электронного парамагнитного резонанса нового поколения, работающем как в непрерывном, так и в импульсном режимах на частотах 94 и 130 ГГц в широком интервале магнитных полей (--7-7 Тл) и температур (1.5-300 K) с применением магнитооптического криостата замкнутого цикла (Spectormag PT), высокостабильных генераторов (94 и 130 ГГц) и безрезонаторной системы подачи микроволновой мощности на образец. Ключевые слова: электронный парамагнитный резонанс, электронное спиновое эхо, полупроводники, карбид кремния, донорные примеси.
  1. M. Yoganathan, A. Gupta , E. Semenas, E. Emorhokpor, C. Martin, T. Kerr, I. Zwieback, A.E. Souzis, T.A. Anderson, C.D. Tanner, J. Chen, D.L. Barrett, R.H. Hopkins, C.J. Johnson, Fei Yan, W.J. Choyke, R.P. Devaty. Mater. Res. Soc. Symp. P, 815, J5.9 (2004)
  2. M. Bickermann, R. Weingartner, A. Winnacher. J. Cryst. Growth, 254, 390 (2003)
  3. J. Schneider, H.D. Muller, K. Maier, W. Wilkening, F. Fuchs, A. Dornen, S. Leibenzeder, R. Stein. Appl. Phys. Lett., 56, 1184 (1990)
  4. K. Maier, H.D. Muller, J. Schneider. Mater. Sci. Forum, 83-87, 1183 (1992)
  5. K. Maier, J. Schneider, W. Wilkening, A. Leibenzeder, R. Stein. Mater. Sci. Eng. B, 11, 27 (1992)
  6. H.Mc D. Hobgood, R.C. Glass, G. Augustine, R.H. Hopkins, J. Jenny, M. Skowronski, W.C. Mitchel, M. Roth. Appl. Phys. Lett., 66, 1364 (1995)
  7. J.R. Jenny, M. Skowronski, W.C. Mitchel, H.M. Hobgood, R.C. Glass, G. Augustine, R.H. Hopkins. J. Appl. Phys., 78, 3839 (1995)
  8. W.C. Mitchel, W.D. Mitchell, G. Landis, H.E. Smith, Wonwoo Lee, M.E. Zvanut. J. Appl. Phys., 101, 013707 (2007)
  9. L. Spindlberger, A. Csore, G. Thiering, S. Putz, R. Karhu, J. Ul Hassan, N.T. Son, T. Fromherz, A. Gali, M. Trupke. Phys. Rev. Appl., 12, 014015 (2019)
  10. Yu.A. Vodakov, E.N. Mokhov, M.G. Ramm, A.D. Roenkov. Krist. Techn., 5, 729 (1979)
  11. E.I. Radovanova, R.G. Verenchikova, Yu.A. Vodakov. Fiz. Tekhn. Poluprovodn., 17, 1115 (1983) [Sov. Phys. Semicond., 17, 640 (1983)]
  12. М.В. Музафарова, И.В. Ильин, А.Н. Анисимов, Е.Н. Мохов, В.А. Солтамов, П.Г. Баранов. ФТТ, 58, 2319 (2016)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.