Физика и техника полупроводников

Авторам

Правила оформления публикаций

Вышедшие номера

2024
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9
2023
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9
2022
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2021
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2020
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2019
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2018
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13
2017
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2016
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2015
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2014
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2013
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2012
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2011
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2010
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2009
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2008
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2007
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2006
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2005
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2004
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2003
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2002
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2001
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2000
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1999
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1998
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1997
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1996
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1995
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1994
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1993
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1992
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1991
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1990
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1989
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1988
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12

Температурная зависимость потерь в механическом резонаторе, изготовленном методом прямого сращивания кремниевых пластин

DOI: 10.21883/FTP.2020.01.48778.9245

Переводная версия: 10.1134/S1063782620010200

Российский научный фонд, Проведение фундаментальных научных исследований и поисковых научных исследований отдельными научными группами, 17-12-01095

Прохоров Л.Г.¹, Светаев А.В.¹, Лунин Б.С.², Запотылько Н.Р.³, Катков А.А.³, Митрофанов В.П.¹

¹Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова (физический факультет), Москва, Россия Department of Physics, Lomonosov Moscow State University, Moscow, Russia

Department of Physics, Lomonosov Moscow State University, Moscow, Russia

²Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова (химический факультет), Москва, Россия Department of Chemistry, Lomonosov Moscow State University, Moscow, Russia

Department of Chemistry, Lomonosov Moscow State University, Moscow, Russia

³"НИИ "Полюс" им. М.Ф. Стельмаха", Москва, Россия “Polyus” Research Institute of M.F. Stelmakh Joint Stock Company, Moscow, Russia

Email: prokhorovlg@phys.msu.ru, svetaev.anatoly@yandex.ru, luninboris@yandex.ru, zap_nina@mail.ru, a_katkoff@mail.ru, vpmitrofanov@physics.msu.ru

Поступила в редакцию: 19 августа 2019 г.

Выставление онлайн: 20 декабря 2019 г.

PDF версия

Абстракт
Литература
Статистика просмотров

Охлаждение устройств, изготовленных из монокристаллического кремния, до температуры 123 K, при которой значение его коэффициента теплового расширения проходит через нуль, позволяет повысить их стабильность и снизить шумы. В диапазоне температур (100-295 K) исследованы температурные зависимости потерь (затухания) и изменения резонансной частоты в механическом резонаторе камертонного типа, изготовленном из кремниевых полосок и соединенных методом прямого сращивания. Это позволяет неразрушающим образом контролировать качество соединения, а также выявить особенности поведения и изменения, происходящие на границе раздела с течением времени. Ключевые слова: кремниевая пластина, прямое сращивание, механический резонатор, нулевое значение коэффициента линейного теплового расширения.

T. Kessler, C. Hagemann, C. Grebing, T. Legero, U. Sterr, F. Riehle, M.J. Martin, L. Chen L, J. Ye. Nature Photonics, 6, 687 (2012)
D.G. Matei, T. Legero, C. Grebing, S. Hafner, C. Lisdat, R. Weyrich, W. Zhang, L. Sonderhouse, J.M. Robinson, F. Riehle, J. Ye, U. Sterr. J. Phys.: Conf. Ser., 723, 012031 (2016)
R.X. Adhikari. Rev. Mod. Phys., 86, 121 (2014)
M. Shimbo, K. Furukawa, K. Fukuda, K. Tanzawa. J. Appl. Phys., 60, 2987 (1986)
V. Dragoi, E. Pabo, J. Burggraf, G. Mittendorfer. Microsyst. Technol., 18, 1065 (2012)
E. Higurashi, T. Suga. Electron. Commun. Jpn, 99, 63 (2016)
М.М. Мездрогина, Л.С. Костина, Е.И. Белякова, Р.В. Кузьмин. ФТП, 47, 1204 (2013)
L.G. Prokhorov, D.V. Koptsov, M.S. Matiushechkina, V.P. Mitrofanov, K. Haughian, J. Hough, S. Rowan, A.A. van Veggel, P.G. Murray, G.D. Hammond, K. Tokmakov. Phys. Lett. A, 382, 2186 (2018)
Y.R. Jeon, H. Hoonhee, C. Changhwan. Sensors. Actuators A, 281, 222 (2018)
H. Seidel, L. Csepregi, A. Heuberger, H. Baumgartel. J. Electrochem. Soc., 137, 3612 (1990)
L. Haiberger, D. Jager, S. Schiller. Rev. Sci. Instrum., 76, 045106 (2005)
M. Bao, H. Yang. Sensors. Actuators A, 136, 3 (2007)
N.P. D'Costa, J.H. Hoh. Rev. Sci. Instrum., 66, 5096 (1995)
C. Mai, J. Sun, H. Chen. RSC Advances, 6, 37079 (2016)
T. Plach, K. Hingerl, S. Tollabimazraehno, G. Hesser, V. Dragoi, M. Wimplinger. J. Appl. Phys., 113, 094905 (2013)
И.В. Грехов, Л.С. Костина, Т.С. Аргунова, Е.И. Белякова, Н.М. Шмидт, К.Б. Костин, Е.Д. Ким, С.Ч. Ким. ЖТФ, 71 (6), 45 (2001)
А.Г. Мелехин, C. Himcinschi, M. Friedrich, K. Hiller, M. Wiemer, T. Gessner, S. Schulze, D.R.T. Zahn. ФТП, 40, 1338 (2006)
А. Новик, Б. Берри. Релаксационные явления в кристаллах (М., Атомиздат, 1975) с. 364
M.A. Hopcroft, W.D. Nix, T.W. Kenny. J. Microelectromech. Syst., 19 (2), 229 (2010)
C.A. Swenson. J. Phys. Chem. Ref. Data, 12,179 (1983)
P.D. Desai. J. Phys. Chem. Ref. Data, 15, 967 (1986)
C.Y. Ho, R.W. Powell, P.E. Liley. J. Phys. Chem. Ref. Data, 1, 279 (1972)
D.F. McGuigan, C.C. Lam, R.Q. Gram, A.W. Hoffman, D.H. Douglas, H.W. Gutche. J. Low Temp. Phys., 30, 621 (1978)
Л.Д. Ландау, Е.М. Лифшиц. Теория упругости (М., Наука, 1965) c. 149
U. Gysin, S. Rast, P. Ruff, E. Meyer. Phys. Rev. Lett. B, 69, 045403 (2004)
S. Reid, G. Cagnoli, D.R.M. Crooks, J. Hough, P. Murray, S. Rowan, M.M. Fejer, R. Route, S. Zappe. Phys. Lett. A, 351, 205 (2006)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель