"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Температурная зависимость потерь в механическом резонаторе, изготовленном методом прямого сращивания кремниевых пластин
Переводная версия: 10.1134/S1063782620010200
Российский научный фонд, Проведение фундаментальных научных исследований и поисковых научных исследований отдельными научными группами, 17-12-01095
Прохоров Л.Г.1, Светаев А.В.1, Лунин Б.С.2, Запотылько Н.Р.3, Катков А.А.3, Митрофанов В.П.1
1Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова (физический факультет), Москва, Россия
2Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова (химический факультет), Москва, Россия
3"НИИ "Полюс" им. М.Ф. Стельмаха", Москва, Россия
Email: prokhorovlg@phys.msu.ru, svetaev.anatoly@yandex.ru, luninboris@yandex.ru, zap_nina@mail.ru, a_katkoff@mail.ru, vpmitrofanov@physics.msu.ru
Поступила в редакцию: 19 августа 2019 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 2019 г.

Охлаждение устройств, изготовленных из монокристаллического кремния, до температуры 123 K, при которой значение его коэффициента теплового расширения проходит через нуль, позволяет повысить их стабильность и снизить шумы. В диапазоне температур (100-295 K) исследованы температурные зависимости потерь (затухания) и изменения резонансной частоты в механическом резонаторе камертонного типа, изготовленном из кремниевых полосок и соединенных методом прямого сращивания. Это позволяет неразрушающим образом контролировать качество соединения, а также выявить особенности поведения и изменения, происходящие на границе раздела с течением времени. Ключевые слова: кремниевая пластина, прямое сращивание, механический резонатор, нулевое значение коэффициента линейного теплового расширения.
  1. T. Kessler, C. Hagemann, C. Grebing, T. Legero, U. Sterr, F. Riehle, M.J. Martin, L. Chen L, J. Ye. Nature Photonics, 6, 687 (2012)
  2. D.G. Matei, T. Legero, C. Grebing, S. Hafner, C. Lisdat, R. Weyrich, W. Zhang, L. Sonderhouse, J.M. Robinson, F. Riehle, J. Ye, U. Sterr. J. Phys.: Conf. Ser., 723, 012031 (2016)
  3. R.X. Adhikari. Rev. Mod. Phys., 86, 121 (2014)
  4. M. Shimbo, K. Furukawa, K. Fukuda, K. Tanzawa. J. Appl. Phys., 60, 2987 (1986)
  5. V. Dragoi, E. Pabo, J. Burggraf, G. Mittendorfer. Microsyst. Technol., 18, 1065 (2012)
  6. E. Higurashi, T. Suga. Electron. Commun. Jpn, 99, 63 (2016)
  7. М.М. Мездрогина, Л.С. Костина, Е.И. Белякова, Р.В. Кузьмин. ФТП, 47, 1204 (2013)
  8. L.G. Prokhorov, D.V. Koptsov, M.S. Matiushechkina, V.P. Mitrofanov, K. Haughian, J. Hough, S. Rowan, A.A. van Veggel, P.G. Murray, G.D. Hammond, K. Tokmakov. Phys. Lett. A, 382, 2186 (2018)
  9. Y.R. Jeon, H. Hoonhee, C. Changhwan. Sensors. Actuators A, 281, 222 (2018)
  10. H. Seidel, L. Csepregi, A. Heuberger, H. Baumgartel. J. Electrochem. Soc., 137, 3612 (1990)
  11. L. Haiberger, D. Jager, S. Schiller. Rev. Sci. Instrum., 76, 045106 (2005)
  12. M. Bao, H. Yang. Sensors. Actuators A, 136, 3 (2007)
  13. N.P. D'Costa, J.H. Hoh. Rev. Sci. Instrum., 66, 5096 (1995)
  14. C. Mai, J. Sun, H. Chen. RSC Advances, 6, 37079 (2016)
  15. T. Plach, K. Hingerl, S. Tollabimazraehno, G. Hesser, V. Dragoi, M. Wimplinger. J. Appl. Phys., 113, 094905 (2013)
  16. И.В. Грехов, Л.С. Костина, Т.С. Аргунова, Е.И. Белякова, Н.М. Шмидт, К.Б. Костин, Е.Д. Ким, С.Ч. Ким. ЖТФ, 71 (6), 45 (2001)
  17. А.Г. Мелехин, C. Himcinschi, M. Friedrich, K. Hiller, M. Wiemer, T. Gessner, S. Schulze, D.R.T. Zahn. ФТП, 40, 1338 (2006)
  18. А. Новик, Б. Берри. Релаксационные явления в кристаллах (М., Атомиздат, 1975) с. 364
  19. M.A. Hopcroft, W.D. Nix, T.W. Kenny. J. Microelectromech. Syst., 19 (2), 229 (2010)
  20. C.A. Swenson. J. Phys. Chem. Ref. Data, 12,179 (1983)
  21. P.D. Desai. J. Phys. Chem. Ref. Data, 15, 967 (1986)
  22. C.Y. Ho, R.W. Powell, P.E. Liley. J. Phys. Chem. Ref. Data, 1, 279 (1972)
  23. D.F. McGuigan, C.C. Lam, R.Q. Gram, A.W. Hoffman, D.H. Douglas, H.W. Gutche. J. Low Temp. Phys., 30, 621 (1978)
  24. Л.Д. Ландау, Е.М. Лифшиц. Теория упругости (М., Наука, 1965) c. 149
  25. U. Gysin, S. Rast, P. Ruff, E. Meyer. Phys. Rev. Lett. B, 69, 045403 (2004)
  26. S. Reid, G. Cagnoli, D.R.M. Crooks, J. Hough, P. Murray, S. Rowan, M.M. Fejer, R. Route, S. Zappe. Phys. Lett. A, 351, 205 (2006)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.