"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Лазерный отжиг тонких пленок ITO на гибких органических подложках
Переводная версия: 10.1134/S1063782619020192
Российский фонд фундаментальных исследований (РФФИ), 15-29-01171
Российский фонд фундаментальных исследований (РФФИ), 16-29-05385
Российский фонд фундаментальных исследований (РФФИ), 16-07-00842
Российский фонд фундаментальных исследований (РФФИ), 16-29-11800
Российский фонд фундаментальных исследований (РФФИ), 17-07-00615
Федеральное агентство научных организаций (ФАНО), 007-ГЗ/Ч3363/26
Паршина Л.С.1, Новодворский О.А.1, Храмова О.Д.1, Лотин А.А.1, Хоменко М.Д.1, Щур П.А.2
1Институт проблем лазерных и информационных технологий --- филиал ФНИЦ "Кристаллография и фотоника" Российской академии наук, Шатура, Россия
2Федеральное государственное унитарное предприятие «Всероссийский научно-исследовательский институт авиационных материалов» Государственный научный центр Российской Федерации, Москва, Россия
Email: ParshinaLiubov@mail.ru, onov@mail.ru, okhram48@mail.ru, lotin_82@mail.ru, hmd@laser.ru, shur-pavel@mail.ru
Поступила в редакцию: 24 апреля 2018 г.
Выставление онлайн: 20 января 2019 г.

Методом реактивного магнетронного распыления на пленочных подложках из полиэтилентерефталата при комнатной температуре получены тонкие пленки оксида индия и олова. Минимум удельного сопротивления пленок оксида индия и олова, полученных при комнатной температуре, составил 4.5 · 10-4 Ом · см. Лазерный отжиг пленок оксида индия и олова толщиной от 140 до 600 нм увеличивает их проводимость от 10 до 24% в зависимости от плотности энергии на пленке и дозы облучения. Установлено, что лазерный отжиг пленок толщиной до 250 нм эффективен при плотности энергии в диапазоне от 12 до 35 мДж/см2. Пленки толщиной от 390 до 600 нм необходимо отжигать лазерным излучением с плотностью энергии не менее 46 мДж/см2. Рассмотрена модельная задача, учитывающая влияние лучистого охлаждения и теплообмена пленки и подложки на изменение температуры пленки во времени в процессе лазерного отжига. Было использовано одномерное уравнение теплопроводности для двухслойной среды. Рассчитаны максимальные напряжения в пленке оксида индия и олова при различных режимах отжига.
  • А.Г. Крынин, В.А. Богатов. В сб.: Тр. Круглого стола. "Материалы остекления в авиационной промышленности" (М., Россия, 2016) с. 1
  • Ю.А. Хохлов, А.Г. Крынин, В.А. Богатов, П.П. Кисляков. Авиационные материалы и технологии, 1, 24 (2013)
  • G. Brauer, B. Szyszka, M. Vergo, R. Bandorf. Vacuum, 84, 1354 (2010)
  • L.S. Parshina, О.А. Novodvorsky, O.D. Khramova, I.A. Petukhov, V.A. Mikhalevsky, A.A. Lotin, E.A. Cherebilo, V.Ya. Panchenko. OQEL, 48 (6), 316 (2016)
  • Ю.А. Хохлов, Н.М. Березин, В.А. Богатов, А.Г. Крынин. Авиационные материалы и технологии, 3, 60 (2015)
  • А.И. Бажин, А.Н. Троцан, С.В. Чертопалов, А.А. Стипаненко, В.А. Ступак. ФИП PSE, 10 (4), 342 (2012)
  • П.П. Кисляков, Ю.А. Хохлов, А.Г. Крынин, С.В. Кондрашов. Тр. ВИАМ, 11, 6 (2013)
  • Ю.В. Сахаров, П.Е. Троян, Ю.С. Жидик. Докл. ТУСУР, 3 (37), 85 (2015)
  • T. Ashida, A. Miyamura, N. Oka, Y. Sato, T. Yagi, N. Taketoshi, T. Baba, Y. Shigesato. J. Appl. Phys., 105, 073709 (2009)
  • K. Sun, W. Zhou, X. Tang, F. Luo. Infr. Phys. Technol., 78, 156 (2016)
  • C. Mc Donnell, D. Milne, C. Prieto, H. Chan, D. Rostohar, G.M. O'Connor. Surf. Sci., 359, 567 (2015)
  • Интернет --- ресурс: http://cfd.direct/openfoam/user-guide/. OpenFOAM Foundation. The Open Source CFD Toolbox User Guide (2014)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.