Физика и техника полупроводников
Авторам
Вышедшие номера
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Механизм проводимости пленок оксида титана и структур металл-TiO2-Si
Министерство образования и науки Российской Федерации, Немецкая служба академических обменов (DAAD), Государственное задание, 3.1206.2014/К от 17.07.14
Калыгина В.М.
1, Егорова И.М.1, Прудаев И.А.
1, Толбанов О.П.
1
1Национальный исследовательский Томский государственный университет, Томск, Россия 
Email: Kalygina@ngs.ru, funcelab@gmail.com, top@mail.tsu.ru
Поступила в редакцию: 29 октября 2015 г.
Выставление онлайн: 20 июля 2016 г.
Исследовано влияние отжига пленок оксида титана на электрические характеристики структур металл- TiO2-n-Si. Показано, что независимо от температуры отжига проводимость структур при положительных потенциалах на затворе определяется током, ограниченным пространственным зарядом в диэлектрике с ловушками, экспоненциально распределенными по энергии. При отрицательных потенциалах на затворе основной вклад в ток дает генерация электронно-дырочных пар в области пространственного заряда в кремнии. Свойства границы раздела TiO2-n-Si зависят от структуры и фазового состояния оксидной пленки, которые определяются температурой отжига.
- В.М. Калыгина, В.А. Новиков, Ю.С. Петрова, О.П. Толбанов, Е.В. Черников, С.Ю. Цупий, Т.М. Яскевич. ФТП, 48, 989 (2014)
- M.Sc. Azza Amin El-Hamshary aus Kairo/Agypten. (Technischen Hocheschule, Aachen, 2011). darwin.bth.rwth-aachen.de/ opus3/volltexte/2011/3860/pdf/3860.pdf
- М. Ламперт, П. Марк. Инжекционные токи в твердых телах (М., Мир, 1973)
- D. Wei, T. Hossain, N.Y. Garces, N. Nepal, H.M. Meyer, M.J. Kirkham, C.R. Eddy Jr., J.H. Edgar. ESC J. Solid State Sci. Technol., 2 (5), 110 (2013)
- A. Bally. These N 2094 (Ecole Polytechnique Federale De Lausanne, 1999)
- I. Luciu. Ph.D. Thesis (Trento, Italy, 2012). eprints-phd.biblio.unitn.it/702/
- S. Springer. Physicien dipl\^ome de l'Universite de B\^ale de nationalites suisse et americaine et originaire de B\^ale / Institut de physique de la matiere complexe (Lausanne, 2004)
- В.И. Гаман. Физика полупроводниковых приборов (Томск, НТЛ, 2000)
- В.М. Калыгина, В.А. Макаров, И.А. Прудаев, О.П. Толбанов. ФТП, в печати
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
