Вышедшие номера
Электрические, оптические и фотолюминесцентные свойства пленок ZnO при термическом отжиге и обработке в водородной плазме
Министерство образования и науки Республики Казахстан, Развитие науки, 3825/ГФ4
Министерство образования и науки Республики Казахстан, Развитие науки, 1677/ГФ4
Абдуллин Х.А.1, Габдуллин М.Т. 1, Гриценко Л.В. 2, Исмаилов Д.В.1, Калкозова Ж.К. 1, Кумеков С.Е.2, Мукаш Ж.О.2, Сазонов А.Ю. 3, Теруков Е.И. 4
1Национальная нанотехнологическая лаборатория открытого типа (ННЛОТ), Казахский национальный университет им. аль-Фараби, Алматы, Казахстан
2Казахский национальный исследовательский технический университет им. К.И. Сатпаева, Алматы, Казахстан
3University of Waterloo, 200 University Avenue West, Waterloo, Ontario, Canada
4Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Email: skumekov@mail.ru
Поступила в редакцию: 18 января 2016 г.
Выставление онлайн: 20 июля 2016 г.

Исследованы спектры фотолюминесценции и оптического поглощения, электрические свойства пленок ZnO, выращенных методом MOCVD и гидротермальным методом, при термических обработках и плазменной обработке в водородной атмосфере. Показано, что адсорбция кислорода на границах зерен, происходящая при отжиге в окислительной атмосфере, определяет электрические свойства пленок. Отжиг в вакууме улучшает электрические свойства образцов после деградации, вызванной отжигом на воздухе, обработка в водородной плазме пассивирует поверхностные состояния на границах зерен. Интенсивность собственной фотолюминесценции после плазменной обработки тем выше, чем больше количество кислорода, адсорбированного на поверхность зерен во время отжига на воздухе. Поверхностные состояния, включающие атомы водорода и кислорода, ответственны за появление интенсивной полосы собственной фотолюминесценции.