"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Способ получения пленок ITO с контролируемым значением показателя преломления
Марков Л.К.1, Смирнова И.П. 1, Павлюченко А.С.1, Кукушкин М.В.1,2, Закгейм Д.А.1, Павлов С.И.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2ЗАО "ЭПИ-ЦЕНТР", Санкт-Петербург, Россия
Email: irina@quantum.ioffe.ru, l.markov@mail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 23 декабря 2015 г.
Выставление онлайн: 19 июня 2016 г.

Предложен способ создания прозрачных проводящих покрытий на основе оксида индия и олова с контролируемым значением показателя преломления. Способ заключается в последовательном нанесении материала методами электронно-лучевого испарения и магнетронного распыления. Разная плотность получаемых покрытий и соответственно различные значения их показателя преломления достигаются варьированием соотношения массовых долей вещества, наносимого разными методами. В качестве примера продемонстрировано получение пленок с эффективными значениями показателя преломления 1.2, 1.4, 1.7 в диапазоне длин волн 440-460 нм. На основе предложенного метода также созданы двухслойные покрытия ITO с контролируемым значением показателя преломления входящих в них слоев, что открывает возможность получения многослойных прозрачных проводящих покрытий с требуемыми оптическими свойствами.
  1. Paul G. O'Brien, Yang Yang, Alongkarn Chutinan, Pratish Mahtani, Keith Leong, Daniel P. Puzzo, Leonardo D. Bonifacio, Chen-Wei Lin, Geoffrey A. Ozin, Nazir P. Kherani. Solar Energy Mater. \& Solar Cells, 102, 173 (2012)
  2. Paul G. O'Brien, Daniel P. Puzzo, Alongkarn Chutinan, Leonardo D. Bonifacio, Geoffrey A. Ozin, Nazir P. Kherani. Adv. Mater, 22, 611 (2010)
  3. Jong Kyu Kim, Thomas Gessmann, E. Fred Schubert, J.-Q. Xi, Hong Luo Jaehee Cho, Cheolsoo Sone, Yongjo Park. Appl. Phys. Lett., 88, 013 501 (2006)
  4. Martin F. Schubert, J.-Q. Xi, Jong Kyu Kim, E. Fred Schubert. Appl. Phys. Lett., 90, 141 115 (2007)
  5. Jong Kyu Kim, Sameer Chhajed, Martin F. Schubert, E. Fred Schubert, Arthur J. Fischer, Mary H. Crawford, Jaehee Cho, Hyunsoo Kim, Cheolsoo Sone. Adv. Mater., 20, 801 (2008)
  6. K. Robbie, L.J. Friedrich, S.K. Dew, T. Smy, M.J. Brett. J. Vac. Sci. Technol. A, 13, 1032 (1995)
  7. U. Betz, M. Kharrazi Olsson, J. Marthy, M.F. Escola. Thin Solid Films, 516, 1334 (2008)
  8. Y.Z. You, Y.S. Kim, D.H. Choi, H.S. Jang, J.H. Lee, Daeil Kim. Mater. Chem. Phys., 107 (2-3), 444 (2008)
  9. A. Kloppel, J. Trube. US7285342 B2, 23 Oct. 2007
  10. И.П. Смирнова, Л.К. Марков, А.С. Павлюченко, М.В. Кукушкин, С.И. Павлов. ФТП, 48, 61 (2014)
  11. Л.К. Марков, И.П. Смирнова, А.С. Павлюченко, М.В. Кукушкин, Д.А. Закгейм, С.И. Павлов. ФТП, 48, 1713 (2014)
  12. I.H. Malitson, M.J. Dodge. J. Opt. Soc. Am., 62, 1405 (1972)
  13. http://www.hoyaoptics.com/pdf/OpticalGlass.pdf
  14. W. Cai, V. Shalaev. Optical Metamaterials: Fundamentals and Applications. Springer Science \& Business Media, Dec. 1, 2009 - Technology \& Engineering
  15. В.И. Оделевский. ЖТФ, 21Б (6), 678-685 (1951)
  16. М. Борн, Э. Вольф. Основы оптики (М., Наука, 1970)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.