Вышедшие номера
Полуизолирующие слои 4H-SiC, полученные имплантацией высокоэнергетичных (53 МэВ) ионов аргона в эпитаксиальные пленки n-типа проводимости
Иванов П.А. 1, Кудояров М.Ф. 1, Козловский М.А. 1, Потапов А.С. 1, Самсонова Т.П. 1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Email: Pavel.Ivanov@mail.ioffe.ru, mkud@cycla.ioffe.ru, mialkoz@gmail.com, potapov@mail.ioffe.ru, tpsam@mail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 16 декабря 2015 г.
Выставление онлайн: 19 июня 2016 г.

Показана возможность формирования в умеренно легированном карбиде кремния n-типа проводимости (концентрация доноров 2·1016 см-3) приповерхностных полуизолирующих слоев толщиной 9 мкм с помощью относительно низкодозной (7·1011 см-2) имплантации высокоэнергетичных (53 МэВ) ионов аргона. Скорость удаления свободных носителей оценивается величиной ~104 см-1. Удельное сопротивление полуизолятора составляет не менее 7·1012 Ом·см. Анализ тока монополярной инжекции электронов в полуизолятор показал, что за компенсацию примесной проводимости ответственны радиационные дефекты, закрепляющие равновесный уровень Ферми на глубине 1.16 эВ ниже дна зоны проводимости. Энергетическая плотность дефектов на уровне Ферми составляет 2.7· 1016 см2·эВ-1.
  1. В.А. Козлов, В.В. Козловский. ФТП, 35, 769 (2001)
  2. H. Kaneko, T. Kimoto. Appl. Phys. Lett., 98, 262 106 (2011)
  3. V.V. Kozlovski, A.A. Lebedev, E.V. Bogdanova. J. Appl. Phys., 117, 155 702 (2015)
  4. А.А. Лебедев, А.И. Вейнгер, Д.В. Давыдов, В.В. Козловский, Н.С. Савкина, А.М. Стрельчук. ФТП, 34, 1058 (2000)
  5. А.А. Лебедев, В.В. Козловский, С.В. Белов, Е.В. Богданова, Г.А. Оганесян. ФТП, 45, 1188 (2011)
  6. http://www.srim.org
  7. J.F. Zeigler, J. Biersack, U. Littmark. The Stopping and Ranges of Ions in Matter (Oxford, Pergamon Press, 1985)
  8. М. Ламперт, П. Марк. Инжекционные токи в твердых телах (М., Мир, 1973)
  9. H.K. Song, S.Y. Kwon, J.H. Moon, H.S. Seo, J.H. Yim, J.H. Lee, H.J. Kim. J. Electrochem. Soc., 155, H11 (2008)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.