"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Формирование структур графит/SiC методом термического разложения карбида кремния
Мынбаева М.Г.1,2, Лаврентьев А.А.2, Мынбаев К.Д.2,1
1Санкт-Петербургский национальный исследовательский университет информационных технологий, механики и оптики, Санкт-Петербург, Россия
2Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Email: mgm@mail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 6 мая 2015 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 2015 г.

Изучены условия синтеза углеродных покрытий на поверхности пластин карбида кремния (SiC), получаемых методом термического разложения. Исследовано влияние температуры и состава атмосферы отжига образцов на характер структурных свойств получаемых слоев. В результате определены условия, при которых могут быть получены сплошные пленки графита как с поликристаллической, так и с монокристаллической структурой.
  • С.В. Морозов, К.С. Новоселов, А.К. Гейм. УФН, 178, 776 (2008)
  • E. Rollings, G.-H. Gweon, S.Y. Zhou, B.S. Mun, J.L. McChesney, B.S. Hussain, A.V. Fedorov, P.N. First, W.A. de Heer, A. Lanzara. J. Phys. Chem. Sol., 67, 2172 (2006)
  • S. Tongay, T. Schumann, X. Miao, B.R. Appleton, A.F. Hebard. Carbon, 49, 2033 (2011)
  • S. Tongay, T. Schumann, A.F. Hebard. Appl. Phys. Lett., 95, 222 103 (2009)
  • L. Edman, B. Sundquist, E. McRae, E. Litvin-Staszewska. Phys. Rev. B, 57, 6227 (1998)
  • I. Forbeaux, J.-M. Themlin, J.-M. Debever. Phys. Rev. B, 56, 396 (1998)
  • T. Seyller, K.V. Emtsev, F. Speck, K.Y. Gao, L. Ley. Mater. Sci. Forum, 556- 557, 701 (2007)
  • А.А. Лебедев, Н.В. Агринская, С.П. Лебедев, М.Г. Мынбаева, В.Н. Петров, А.Н. Смирнов, А.М. Стрельчук, А.Н. Титков, Д.В. Шамшур. ФТП, 45, 634 (2011)
  • О.А. Агеев, А.Е. Беляев, Н.С. Болтовец, B.C. Киселев, Р.В. Конакова, А.А. Лебедев, В.В. Миленин, О.Б. Охрименко, В.В. Поляков, A.M. Светличный, Д.И. Чередниченко. Карбид кремния: технология, свойства, применение (Харьков, ИСМА, 2010)
  • L. Muehlhoff, W.J. Choyke, M.J. Bozack, J.T. Yates. J. Appl. Phys., 60, 2842 (1986)
  • T. Tsukamoto, M. Hiria, M. Kusaka, M. Iwami, T. Ozawa, T. Nagamura, T. Nakata. Surf. Sci., 371, 316 (1997)
  • N. Ferralis, J. Kawasaki, R. Maboudian, C. Carraro. Appl. Phys. Lett., 93, 191 916 (2008)
  • J. Hass, F. Varchon, J.E. Millan-Otoya, M. Sprinkle, N. Sharma, W.A. de Heer, C. Berger, P.N. First, L. Magaud, E.H. Conrad. Phys. Rev. Lett., 100, 125 504 (2008)
  • J. Hass, W.A. de Heer, E.H. Conrad. J. Phys.: Condens. Matter., 20, 323 202 (2008)
  • T. Seyller, K.V. Emtsev, F. Speck, K.-Y. Gao, L. Ley. Appl. Phys. Lett., 88, 242 103 (2006)
  • Z. Yan, G. Liu, J.M. Khan, A.A. Balandin. Nature Commun., 3, 827 (2012)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.