"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Температурные зависимости интенсивностей фотолюминесценции центров в кремнии, имплантированном ионами эрбия и кислорода
Соболев Н.А.1, Штельмах К.Ф.1,2, Калядин А.Е.1, Шек Е.И.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 27 мая 2015 г.
Выставление онлайн: 19 ноября 2015 г.

Исследована низкотемпературная фотолюминесценция в кристаллах n-Cz-Si после последовательной имплантации ионов эрбия при повышенной температуре и ионов кислорода при комнатной температуре. В спектрах фотолюминесценции наблюдаются так называемые X- и W-центры, сформированные из собственных межузельных атомов кремния, H- и P-центры, содержащие атомы кислорода, и Er-центр, содержащий ионы Er3+. Определены энергии возгорания и гашения фотолюминесценции для этих центров. Для X- и H-центров энергии определены впервые. В случае P- и Er-центров значения энергий практически совпадают с литературными данными. Для W-центров энергии гашения и возгорания интенсивности фотолюминесценции зависят от условий их образования.
  • W.L. Ng, M.A. Lourenco, R.M. Gwilliam, S. Ledain, G. Shao, K.P. Homewood. Nature, 410, 192 (2001)
  • Н.А.Соболев, А.М.Емельянов, Е.И.Шек, В.И.Вдовин. ФТТ, 46, 39 (2004)
  • G. Davies. Phys. Rep., 176, 83 (1989)
  • P.K. Giri. Semicond. Sci. Technol., 20, 638 (2005)
  • Yu. Yang, J. Bao, C. Wang, M.J. Aziz. J. Appl. Phys., 107, 123 109 (2010)
  • Н.А. Соболев, А.Е. Калядин, Е.И. Шек, В.И. Сахаров, И.Т. Серенков, В.И. Вдовин, Е.О. Паршин, М.И. Маковийчук. ФТП, 45, 1038 (2011)
  • B.J. Coomer, J.P. Goss, R. Jones, S. Oberg, R. Broddon. Physica B, 273--274, 505 (1999)
  • S. Takeda. Jpn. J. Appl. Phys., 30, L639 (1991)
  • N.S. Minaev, A.V. Mudryi. Phys. Status Solidi A, 68, 561 (1981)
  • H. Przybylinska, W. Jantsch, Yu. Suprun-Belevitch, M. Stepikhova, L. Palmetshofer, G. Hendorfer, A. Kozanecki, R.J. Wilson, B.J. Sealy. Phys. Rev. B, 54, 2532 (1996)
  • Н.А. Соболев, Д.В. Денисов, А.М. Емельянов, Е.И. Шек, Е.О. Паршин. ФТТ, 47, 112 (2005)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.