"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Лазерно-интерференционный метод определения длины диффузии носителей заряда в полупроводниках
Манухов В.В.1, Федорцов А.Б.2, Иванов А.С.2
1Санкт-Петербургский государственный университет, Санкт-Петербург, Россия
2Национальный минерально-сырьевой университет "Горный", Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 16 октября 2014 г.
Выставление онлайн: 20 августа 2015 г.

Предложен новый лазерно-интерферометрический метод измерения диффузионной длины носителей заряда в полупроводниках. Метод основан на интерференционно-абсорбционном взаимодействии в полупроводнике двух лазерных излучений. Инжектирующее излучение генерирует в полупроводнике дополнительные носители заряда, что приводит к изменению оптических констант материала и модуляции прошедшего через образец зондирующего излучения. При изменении расстояния между точками генерации носителей и зондирования регистрируют уменьшение концентрации носителей заряда, зависящее от длины диффузии, которая устанавливается сравнением экспериментальной и теоретической зависимостей величины сигнала зондирования от рассовмещения лучей инжектора и зонда. Метод успешно апробирован на полупроводниковых образцах разной толщины с различным состоянием поверхности и может быть использован при проведении научных исследований и в электронной промышленности.
  • В.В. Батавин, Ю.А. Концевой, Ю.В. Федорович. Измерение параметров полупроводниковых материалов и структур (М., Радио и связь, 1985)
  • Т. Мосс, Г. Барелл, Б. Эллис. Полупроводниковая оптоэлектроника, пер. с англ. под ред. С.А. Медведева (М., Мир, 1976)
  • Л.П. Павлов. Методы определения основных параметров полупроводниковых материалов (М., Высш. шк., 1987)
  • Н.Ф. Ковтонюк, Ю.А. Концевой. Измерение параметров полупроводниковых материалов (М., Металлургия, 1970)
  • П. Блад, Дж.В. Ортон. Зарубеж. радиоэлектрон., 1, 3 (1981)
  • П. Блад, Дж.В. Ортон. Зарубеж. радиоэлектрон., 2, 3 (1981)
  • A. Flat, A.G. Milnes. Int. J. Electron., 44, 629 (1978)
  • Г.П. Пека, С.А. Спектор, Л.Г. Шекель. ФТП, 9 (10), 1920 (1975)
  • Г.П. Пека, Л.Г. Шекель. ФТП, 10 (10), 1911 (1976)
  • А.Ф. Кравченко, А.Б. Конаныхин, Б.В. Морозов. ФТП, 14 (2), 311 (1980)
  • А.Б. Федорцов, Ю.В. Чуркин. Письма ЖТФ, 14 (4), 321 (1988)
  • В.Б. Воронков, А.С. Иванов, К.Ф. Комаровских, Д.Г. Летенко, А.Б. Федорцов, Ю.В. Чуркин. ЖТФ, 61 (2), 104 (1991)
  • А.Г. Арешкин, Л.Е. Воробьев, А.С. Иванов, К.Ф. Комаровских, Д.Г. Летенко, А.Б. Федорцов, Ю.В. Чуркин. Изв. РАН. Сер. физ., 56 (12), 121 (1992)
  • D.G. Letenko, A.B. Fedortsov, V.N. Savvateyev, Yu.V. Churkin. J. Mater. Sci.: Mater. Electron., 3 (3), 203 (1993)
  • A.B. Fedortsov, D.G. Letenko, Yu.V. Churkin, L.V. Tsentsiper, J. Vedde. Proc. Electrochem. Soc., 96 (13), 481 (1996)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.