Физика и техника полупроводников
Авторам
Вышедшие номера
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Исследование свойств протяженных дефектов в пластически деформированном кремнии методами EBIC и LBIC
1Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов Российской академии наук, Черноголовка, Россия 
2Институт физики твердого тела Российской академии наук, Черноголовка, Московская обл., Россия
3Национальный исследовательский технологический университет "МИСиС", Москва, Россия
2Институт физики твердого тела Российской академии наук, Черноголовка, Московская обл., Россия
3Национальный исследовательский технологический университет "МИСиС", Москва, Россия
Поступила в редакцию: 20 октября 2014 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2015 г.
Проведены сравнительные экспериментальные исследования одномерных и двумерных дефектов в пластически деформированном кремнии методами EBIC и LBIC. Показано, что контраст двумерных дефектов - следов за дислокациями - в методе LBIC может существенно превышать контраст в методе EBIC, что хорошо коррелирует с результатами расчетов. Основной причиной более высокой чувствительности метода LBIC является более глубокое проникновение оптического пучка в материал по сравнению с электронным пучком растрового электронного микроскопа.
- Е.Б. Якимов. Поверхность, N 9, 10 (2010)
- Я.Л. Шабельникова, Е.Б. Якимов, М.В. Григорьев, Р.Р. Фахртдинов, В.А. Бушуев. Письма ЖТФ, 38, 1 (2012)
- Я.Л. Шабельникова, Е.Б. Якимов. Поверхность, N 11, 27 (2012)
- I.E. Bondarenko, V.G. Eremenko, B.Ya. Farber, V.I. Nikitenko, E.B. Yakimov. Phys. Status Solidi A, 68, 53 (1981)
- O.V. Feklisova, E.B. Yakimov, N. Yarykin. Physica B, 340--342, 1005 (2003)
- V.G. Eremenko, E.B. Yakimov. Eur. Phys. J. Appl. Phys., 27, 349 (2004)
- O.V. Feklisova, E.B. Yakimov, N. Yarykin, B. Pichaud. J. Phys.: Condens. Matter, 16, S201 (2004)
- V. Eremenko, E. Yakimov, N. Abrosimov. Phys. Status Solidi C, 4, 3100 (2007)
- R. Hull (ed.). Properties of Crystalline Silicon (London, INSPEC: IEE, 1999), p. 1042
- Я.Л. Шабельникова, Е.Б. Якимов. Поверхность, N 9, 53 (2013)
- T. Wilson, E.M. McCabe. J. Appl. Phys. 61, 191 (1987)
- V.V. Sirotkin, E.B. Yakimov. Solid State Phenomena, 78--79, ed. by H. Tokamage, T. Sekiguchi (Scitec Publ., Zuerich-Uetikon, Switzerland, 2001) p. 73
- В.Г. Еременко, В.И. Никитенко, Е.Б. Якимов. Письма в ЖЭТФ, 26, 72 (1977)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
