"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Влияние температуры отжига на электролюминесценцию ионов эрбия в Si : (Er,O)-диодах: диоды с ориентацией подложки (111)
Соболев Н.А.1, Емельянов А.М.1, Николаев Ю.А.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 30 марта 2001 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 2001 г.

Исследовано влияние температуры второго, активирующего образование оптически и электрически активных центров, отжига Si : (Er,O)-диодов с ориентацией (111) на электролюминесценцию ионов эрбия на длине волны lambda~1.54 мкм. Легирование осуществлялось имплантацией ионов эрбия с энергиями 2.0, 1.6 МэВ дозами 3·1014 см-2, а также ионов кислорода с энергиями 0.28, 0.22 МэВ дозами 3·1015 см-2. При комнатной температуре интенсивность электролюминесценции в режиме пробоя возрастает с ростом температуры отжига от 700 до 950oC. При температурах отжига 975-1100oC электролюминесценция эрбия в режиме пробоя не наблюдается из-за возникновения микроплазм. Интенсивность инжекционной электролюмиенсценции при 80 K убывает с ростом температуры отжига от 700 до 1100oC.
  • G. Franzo, S. Coffa, F. Priolo, C. Spinella. J. Appl. Phys., 81, 2784 (1997)
  • N.A. Sobolev, A.M. Emel'yanov, K.F. Shtel'makh. Appl. Phys. Lett., 71, 1930 (1997)
  • N.A. Sobolev, A.M. Emel'yanov, S.V. Gastev, P.E. Khakuashev, Yu.A. Nikolaev, M.A. Trishenkov. MRS Symp. Proc., 486, 139 (1998)
  • A.M. Emel'yanov, N.A. Sobolev, A.N. Yakimenko. Appl. Phys. Lett., 72, 1223 (1998)
  • Н.А. Соболев, Ю.А. Николаев, А.М. Емельянов, К.Ф. Штельмах, А.Н. Якименко, М.А. Тришенков, П.Е. Хакуашев, М.И. Маковийчук, Е.О. Паршин. Изв. РАН. Сер. физ., 63, 388 (1999)
  • Н.А. Соболев, А.М. Емельянов, Ю.А. Николаев. ФТП, 34, 1069 (2000)
  • А.М. Емельянов, Н.А. Соболев, М.А. Тришенков, П.Е. Хакуашев. ФТП, 34, 965 (2000)
  • Н.А. Соболев, А.М. Емельянов, Ю.А. Николаев. ФТП, 33, 931 (1999)
  • N.A. Sobolev, A.M. Emel'yanov, R.N. Kyutt, Yu.A. Nikolaev. Sol. St. Phenomena, 67--70, 371 (1999)
  • J. Michel, J.I. Benton, R.F. Ferrante, D.C. Jacobson, D.J. Eaglesham, E.A. Fitzgerald, Y.-H. Xie, J.M. Poate, L.C. Kimerling. J. Appl. Phys., 70, 2672 (1991)
  • Н.А. Соболев, М.С. Бреслер, О.Б. Гусев, И.М. Маковийчук, Е.О. Паршин, Е.И. Шек. ФТП, 28,1995 (1994)
  • N.A. Sobolev, O.V. Alexandrov, M.S. Bresler, O.B. Gusev, E.I. Shek, M.I. Makovijchuk, E.O. Parshin. Mater. Sci. Forum, 196--201, 597 (1995)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.