Взаимодействие металлических наночастиц с полупроводником в поверхностно-легированных газовых сенсорах
Рябцев С.В.1, Тутов Е.А.1, Бормонтов Е.Н.1, Шапошник А.В.1, Иванов А.В.1
1Воронежский государственный университет, Воронеж, Россия
Поступила в редакцию: 29 ноября 2000 г.
Выставление онлайн: 19 июня 2001 г.
Проведен анализ емкостного отклика полупроводниковых сенсоров на основе тонких пленок NiO и SnO2 с нанесенными на их поверхность наночастицами благородных металлов. Показано, что этот отклик появляется вследствие твердофазной реакции между металлом и полупроводником, сопровождающейся образованием пограничного слоя с достаточно высокой плотностью поверхностных электронных состояний. Наблюдаемый в емкостных газочувствительных сенсорах хемосорбционный эффект поля (изменение работы выхода металла при напуске газов) представляет собой не только чувствительный и оперативный метод анализа, но и основное фукнциональное явление, обусловливающее их емкостный отклик.
- С.В. Рябцев, А.В. Шапошник. Метод изготовления полупроводникового чувствительного элемента. Патент РФ N 2096775
- R. Huck, U. Bottger, D. Kohl, G. Heiland. Sens. Actuators, 17, 355 (1989)
- T.B. Fryberger, J.W. Erickson, S. Semancik. Surface and Interface Analysis, 14, 83 (1989)
- S.V. Ryabtsev. Proc. 13th Eur. Conf. on Solid State Tranducers "Eurosensors XIII" (Hague, Netherlands, 1999) p. 93
- W. Schottky. Naturwissenschaften, 26, 843 (1938)
- W.H. Brattain, J. Bardeen. Bell Syst. Techn., 32, 1 (1953)
- В.А. Гергель, Р.А. Сурис. ЖЭТФ, 84, 719 (1983)
- А.Н. Пономарев, В.Г. Приходько. ФТП, 20, 427 (1986)
- R.W. Clark, J.K. Tien, P. Wynblatt. Surface and Interface Analysis, 6, 5 (1980)
- E.E. Gutman, T.V. Belyscheva, S.V. Ryabtsev, F.H. Chibirova. Proc. Chemical Sensors --- 6 Int. Meeting (USA, Gaithersburg, 1999) p. 75
- E.V. Buzaneva, V.I. Strikha. Proc. IX IVC--VI CSS. Extended Abstracts (Madrid, 1983) p. 56
- В.Е. Примаченко, О.В. Снитко. Физика легированной металлами поверхности полупроводников (Киев. Наук. думка, 1988)
- Е.В. Бузанева, Г.В. Кузнецов, В.И. Стриха. Микроэлектроника, 15, 275 (1986)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.