"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Анализ состава когерентных нановключений твердых растворов по высокоразрешающим электронно-микроскопическим изображениям
Сошников И.П.1, Горбенко О.М.2, Голубок А.О.2, Леденцов Н.Н.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Институт аналитического приборостроения Российской академии наук, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 30 августа 2000 г.
Выставление онлайн: 17 февраля 2001 г.

Представлен программный комплекс, обеспечивающий возможности прямого и обратного быстрого Фурье преобразования изображений, фильтрации различными способами шумов и частотных окон, определения локальных межплоскостных расстояний по высокоразрешающим электронно-микроскопическим изображениям поперечных сечений. Алгоритм определения локальных межплоскостных расстояний включает получение отфильтрованного по соответствующей комбинации рефлексов высокоразрешающего изображения в результате двойного быстрого преобразования Фурье и последующее определение характерных локальных межплоскостных расстояний по полученному изображению. Отметим, что особенностью алгоритма определения межплоскостных расстояний является использование весового метода с коррекцией области интегрирования. Получаемые в результате обработки карты локальных межплоскостных расстояний могут быть использованы для определения химического состава: в твердых растворах замещения, например AxB1-x, AxB1-xC. Действие метода продемонстрировано на примере обработки высокоразрешающего электронно-микроскопического изображения гетероструктуры с субмонослойной решеткой InGaAs/GaAs.
  • D. Bimberg, M. Grundmann, N.N. Ledentsov. Quantum Dot Heterostructures (J. Wiley, 1999)
  • N.N. Ledentsov. Growth Processes and Surface Phase Equilibria in Molecular Beam Epitaxy. In: Springer Tracts in Modern Physics, 156 (Springer, Berlin, 1999)
  • D.P. Woodruf, T.A. Delchar. Modern techniques of surface science (Cambridge University Press, 1986)
  • D. Brandon, W.D. Kaplan. Microstructural Characterization of Materials (J. Wiley, 1999)
  • Х. Хирш. Просвечивающая электронная микроскопия тонких пленок (М., Мир, 1972)
  • С. Спенсер. Экспериментальная высокоразрешающая электронная микроскопия (М., Мир, 1990)
  • R. Bierwolf, M. Hohenstein, F. Phillipp, O. Brandt, G.E. Crook, K. Ploog. Ultramicroscopy, 49, 273 (1993)
  • A. Rosenauer, S. Kaiser, T. Reisinger, J. Zweck, W. Gerhardt, D. Gerthsen. Optik, 102 (2), 63 (1996)
  • M.M.J. Treacy, J.M. Gibson. J. Vac. Sci. Technol., B4, 1458 (1986)
  • Современная кристаллография. (М., Мир, 1990) т. 1
  • Л.П. Ярославский. Введение в цифровую обработку изображений (М., Сов. радио, 1979)
  • O.M. Gorbenko, D.V. Kurochkin, A.O. Golubok. Proc. I Int. Conf. on Digital Signal Processing and its Application (Moskow, June 30--July 3, 1998) v. III, part E, p. 130
  • J.W. Cahn. Acta Met., 9, 795 (1961)
  • Ю.А. Буренков, Ю.М. Бурдуков, С.Ю. Давыдов, С.П. Никаноров. ФТТ, 15 (6), 1757 (1973). [Sov. Phys. Sol. St., 15 (6), 1175 (1973)]
  • Ю.А. Буренков, С.Ю. Давыдов, С.П. Никаноров. ФТТ, 17, 2183 (1975). [Sov. Phys. Sol. St., 17, 1446 (1975)]
  • Landolt-Bornstein. Num. Data and Functional Relationships in Science and Technology (Springer Verlag, 1982) v. 17e
  • V.A. Shchukin, N.N. Ledentsov, P.S. Kop'ev, D. Bimberg. Phys. Rev. Lett., 75, 2968 (1995)
  • V.A. Shchukin, D. Bimberg. Rev. Mod. Phys., 71, 1125 (1999)
  • M.M.J. Treacy, J.M. Gibson. Ultramicroscopy, 14, 345 (1984)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.