"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Анализ состава когерентных нановключений твердых растворов по высокоразрешающим электронно-микроскопическим изображениям
Сошников И.П.1, Горбенко О.М.2, Голубок А.О.2, Леденцов Н.Н.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Институт аналитического приборостроения Российской академии наук, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 30 августа 2000 г.
Выставление онлайн: 17 февраля 2001 г.

Представлен программный комплекс, обеспечивающий возможности прямого и обратного быстрого Фурье преобразования изображений, фильтрации различными способами шумов и частотных окон, определения локальных межплоскостных расстояний по высокоразрешающим электронно-микроскопическим изображениям поперечных сечений. Алгоритм определения локальных межплоскостных расстояний включает получение отфильтрованного по соответствующей комбинации рефлексов высокоразрешающего изображения в результате двойного быстрого преобразования Фурье и последующее определение характерных локальных межплоскостных расстояний по полученному изображению. Отметим, что особенностью алгоритма определения межплоскостных расстояний является использование весового метода с коррекцией области интегрирования. Получаемые в результате обработки карты локальных межплоскостных расстояний могут быть использованы для определения химического состава: в твердых растворах замещения, например AxB1-x, AxB1-xC. Действие метода продемонстрировано на примере обработки высокоразрешающего электронно-микроскопического изображения гетероструктуры с субмонослойной решеткой InGaAs/GaAs.
  1. D. Bimberg, M. Grundmann, N.N. Ledentsov. Quantum Dot Heterostructures (J. Wiley, 1999)
  2. N.N. Ledentsov. Growth Processes and Surface Phase Equilibria in Molecular Beam Epitaxy. In: Springer Tracts in Modern Physics, 156 (Springer, Berlin, 1999)
  3. D.P. Woodruf, T.A. Delchar. Modern techniques of surface science (Cambridge University Press, 1986)
  4. D. Brandon, W.D. Kaplan. Microstructural Characterization of Materials (J. Wiley, 1999)
  5. Х. Хирш. Просвечивающая электронная микроскопия тонких пленок (М., Мир, 1972)
  6. С. Спенсер. Экспериментальная высокоразрешающая электронная микроскопия (М., Мир, 1990)
  7. R. Bierwolf, M. Hohenstein, F. Phillipp, O. Brandt, G.E. Crook, K. Ploog. Ultramicroscopy, 49, 273 (1993)
  8. A. Rosenauer, S. Kaiser, T. Reisinger, J. Zweck, W. Gerhardt, D. Gerthsen. Optik, 102 (2), 63 (1996)
  9. M.M.J. Treacy, J.M. Gibson. J. Vac. Sci. Technol., B4, 1458 (1986)
  10. Современная кристаллография. (М., Мир, 1990) т. 1
  11. Л.П. Ярославский. Введение в цифровую обработку изображений (М., Сов. радио, 1979)
  12. O.M. Gorbenko, D.V. Kurochkin, A.O. Golubok. Proc. I Int. Conf. on Digital Signal Processing and its Application (Moskow, June 30--July 3, 1998) v. III, part E, p. 130
  13. J.W. Cahn. Acta Met., 9, 795 (1961)
  14. Ю.А. Буренков, Ю.М. Бурдуков, С.Ю. Давыдов, С.П. Никаноров. ФТТ, 15 (6), 1757 (1973). [Sov. Phys. Sol. St., 15 (6), 1175 (1973)]
  15. Ю.А. Буренков, С.Ю. Давыдов, С.П. Никаноров. ФТТ, 17, 2183 (1975). [Sov. Phys. Sol. St., 17, 1446 (1975)]
  16. Landolt-Bornstein. Num. Data and Functional Relationships in Science and Technology (Springer Verlag, 1982) v. 17e
  17. V.A. Shchukin, N.N. Ledentsov, P.S. Kop'ev, D. Bimberg. Phys. Rev. Lett., 75, 2968 (1995)
  18. V.A. Shchukin, D. Bimberg. Rev. Mod. Phys., 71, 1125 (1999)
  19. M.M.J. Treacy, J.M. Gibson. Ultramicroscopy, 14, 345 (1984)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.