"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Кинетика образования кислородсодержащих термодоноров в кремнии и формирования их неоднородного распределения: аналитическое решение
Селищев П.А.1
1Киевский национальный университет имени Тараса Шевченко, физический факультет, Киев, Украина
Поступила в редакцию: 17 июня 1999 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 2000 г.

Рассматривается кинетика образования кислородсодержащих термодоноров в кремнии, когда атомарно-растворенный кислород интенсивно образует связанные состояния (комплексы). Получено аналитическое нестационарное однородное решение соответствующих нелинейных уравнений кинетики. Показано, что благодаря взаимодействию атомов кислорода однородное распределение их и их комплексов для определенных параметров задачи становится неустойчивым и развивается пространственно-периодическое распределение с периодом в диапазоне 10-1000 Angstrem.
  • C.S. Fuller, J.A. Ditzenberg, N.B. Hannay. Phys. Rev., 96 (3), 833 (1954)
  • В.М. Бабич, Н.И. Блецкан, Е.Ф. Венгер. Кислород в монокристаллах кремния (Киiв, Интерпреc ЛДТ, 1997).)
  • W. Kaiser, H.L. Frish, H. Reiss. Phys. Rev., 112 (5), 1546 (1958)
  • И.В. Антонова, А. Мисюк, В.П. Попов, С.С. Шаймеев. ФТП, 31 (8), 998 (1997)
  • П.А. Павлов, В.И. Пашков, Т.Ю. Чигиринская. Письма ЖТФ, 15 (4), 57 (1989)
  • Н.Т. Баграев, Н.А. Витовский, Л.С. Власенко, Е.В. Машовец, О. Рахимов. ФТП, 17 (11), 1979 (1983)
  • А.Н. Кабалдiн, В.Б. Неймаш, В.М. Цмоць, Л.I. Шпiнар. УФЖ, 40 (10), 1079 (1995)
  • И.И. Колковский, В.В. Лукьяница. ФТП, 31 (4), 405 (1997)
  • М.А. Мясников, В.И. Ободников, В.Г. Серяпин, Б.И. Фомин, Е.И. Черепов. ФТП, 31 (3), 338 (1997)
  • М.Г. Степанов, А.Б. Потапов, Г.Г. Малинецкий. Препринт N 69, Ин-т прикладной математики РАН (М., 1997)
  • И.Д. Конозенко, А.К. Семенюк, В.И. Хиврич. Радиационные эффекты в кремнии (Киев, Наук. думка, 1974)
  • Л.И. Мурин, В.П. Маркевич. ФТП, 22 (7), 1327 (1988)
  • М.А. Кривоглаз. Дифракция рентгеновских лучей и нейтронов в неидеальных кристаллах (Киев, Наук. думка, 1983)
  • Д.И. Бринкевич, В.П. Маркевич, Л.И. Мурин, В.В. Петров. ФТП, 26 (4), 628 (1992)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.