"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Кинетика образования кислородсодержащих термодоноров в кремнии и формирования их неоднородного распределения: аналитическое решение
Селищев П.А.1
1Киевский национальный университет имени Тараса Шевченко, физический факультет, Киев, Украина
Поступила в редакцию: 17 июня 1999 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 2000 г.

Рассматривается кинетика образования кислородсодержащих термодоноров в кремнии, когда атомарно-растворенный кислород интенсивно образует связанные состояния (комплексы). Получено аналитическое нестационарное однородное решение соответствующих нелинейных уравнений кинетики. Показано, что благодаря взаимодействию атомов кислорода однородное распределение их и их комплексов для определенных параметров задачи становится неустойчивым и развивается пространственно-периодическое распределение с периодом в диапазоне 10-1000 Angstrem.
  1. C.S. Fuller, J.A. Ditzenberg, N.B. Hannay. Phys. Rev., 96 (3), 833 (1954)
  2. В.М. Бабич, Н.И. Блецкан, Е.Ф. Венгер. Кислород в монокристаллах кремния (Киiв, Интерпреc ЛДТ, 1997).)
  3. W. Kaiser, H.L. Frish, H. Reiss. Phys. Rev., 112 (5), 1546 (1958)
  4. И.В. Антонова, А. Мисюк, В.П. Попов, С.С. Шаймеев. ФТП, 31 (8), 998 (1997)
  5. П.А. Павлов, В.И. Пашков, Т.Ю. Чигиринская. Письма ЖТФ, 15 (4), 57 (1989)
  6. Н.Т. Баграев, Н.А. Витовский, Л.С. Власенко, Е.В. Машовец, О. Рахимов. ФТП, 17 (11), 1979 (1983)
  7. А.Н. Кабалдiн, В.Б. Неймаш, В.М. Цмоць, Л.I. Шпiнар. УФЖ, 40 (10), 1079 (1995)
  8. И.И. Колковский, В.В. Лукьяница. ФТП, 31 (4), 405 (1997)
  9. М.А. Мясников, В.И. Ободников, В.Г. Серяпин, Б.И. Фомин, Е.И. Черепов. ФТП, 31 (3), 338 (1997)
  10. М.Г. Степанов, А.Б. Потапов, Г.Г. Малинецкий. Препринт N 69, Ин-т прикладной математики РАН (М., 1997)
  11. И.Д. Конозенко, А.К. Семенюк, В.И. Хиврич. Радиационные эффекты в кремнии (Киев, Наук. думка, 1974)
  12. Л.И. Мурин, В.П. Маркевич. ФТП, 22 (7), 1327 (1988)
  13. М.А. Кривоглаз. Дифракция рентгеновских лучей и нейтронов в неидеальных кристаллах (Киев, Наук. думка, 1983)
  14. Д.И. Бринкевич, В.П. Маркевич, Л.И. Мурин, В.В. Петров. ФТП, 26 (4), 628 (1992)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.