"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Эпитаксиальные пленки 6H-SiC как детекторы ядерных частиц
Лебедев А.А.1, Савкина Н.С.1, Иванов А.М.1, Строкан Н.Б.1, Давыдов Д.В.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 25 августа 1999 г.
Выставление онлайн: 20 января 2000 г.

Диоды Шоттки на основе n-n+-эпитаксиальных слоев 6H-SiC, полученных методом сублимационной эпитаксии, а также слоев, коммерчески выпускаемых компанией CREE (США), использовались для регистрации alpha-частиц естественного распада. Поскольку толщина n-пленок была меньше пробега частиц, геометрия опыта отличалась от традиционной с полным торможением частицы в области электрического поля детектора. Путем сопоставления расчетных и экспериментальных данных изучались особенности переноса неравновесного заряда в режимах полного и частичного обеднения структуры. Показано, как из анализа поведения амплитуды сигнала и формы амплитудного спектра в зависимости от смещения на диоде Шоттки можно извлечь значения характеристик материала, определяющих перенос носителей. Из результатов следует, что получаемые в настоящее время сублимационные слои SiC пригодны для создания на их основе детекторов ядерных частиц.
  • R.V. Babcock, H.C. Chang. Neutron dosimetry (Vienna, 1963) v. 1, p. 613
  • P.C. Canepa, P. Malinaric, R.B. Campbell, J. Ostroski. IEEE Trans., NS-11(3), 262 (1964)
  • N.S. Savkina, A.A. Lebedev, D.V. Davydov, A.M. Strelchuk, A.S. Tregubova. M.A. Yagodkina. Abstr. Int. Conf. on SiC (Montpellier, France, 1998) p. 135
  • Ion Implantation. Science and Technology, ed. by J.F. Ziegler (Acad. Press. Inc., 1984) p. 635
  • R.A. Logan, A.G. Chynoweth. J. Appl. Phys., 33(5), 1649 (1962)
  • В.В. Макаров. ФТП, 9(6), 1098 (1975)
  • И.Н. Ильяшенко, Н.Б. Строкан. ФТП, 30(2), 302 (1996)
  • Н.Б. Строкан. Письма ЖТФ, 24(5), 44 (1998)
  • В.К. Еремин, С.Г. Даненгирш, Н.Б. Строкан, Н.И. Тиснек. ФТП, 8(3), 556 (1974)
  • C. Canali, M. Martini, G. Ottaviani, A. Alberigi Quaranta. IEEE Trans., NS-19(4), 9 (1972)
  • R.D. Ryan. Nucl. Instr. Meth., 120(1), 201 (1974)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.