"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Особенности формирования и термическая стабильность контактов, образованных боридами и нитридами титана с арсенидом галлия
Венгер Е.Ф.1, Миленин В.В.1, Ермолович И.Б.1, Конакова Р.В.1, Иванов В.Н.1, Войциховский Д.И.1
1Институт физики полупроводников Национальной академии наук Украины, Киев, Украина
Поступила в редакцию: 11 января 1999 г.
Выставление онлайн: 20 июля 1999 г.

Исследованы механизмы формирования и термическая стабильность контактов, изготавливаемых ионно-плазменным напылением боридов и нитридов титана на арсенид галлия, при использовании комплекса структурных, вторично-эмиссионных, фотолюминесцентных и электрофизических методов. На основании полученных данных предложена физическая модель, согласно которой на межфазной границе в процессе осаждения происходит формирование твердых растворов BxGa1-xAs и GaNxAs1-x. Показано, что взаимосвязь между физико-химическими взаимодействиями на межфазных границах контактов и их электрофизическими параметрами обусловлена дефектами в приконтактных слоях полупроводника, которые возникают в процессе формирования гетероструктур и последующих обработок. Установлено, что высокая термическая стабильность исследованных объектов обусловлена их двухслойной структурой, что приводит к резкому ослаблению процессов взаимодиффузии на межфазной границе.
  • T.N. Morgan, M. Pilkuhn, H. Rupprecht. Phys. Rev., 138, 1551 (1965)
  • Н.С. Аверкиев, Т.К. Аширов, А.А. Гуткин. ФТП, 15, 1970 (1981)
  • E.W. Williams. Phys. Rev., 168, 922 (1968)
  • C.E. McCants, T. Kindelevicz, P.H. Mahovald, K.A. Bertness, M.D. Williams, N. Newman, S. Lindau, W.E. Spicer. J. Vac. Sci. Technol. A, 6 (3), 1466 (1988)
  • J. Broser, H. Majer, H.-J. Schulz. Phys. Rev., 140, 2135 (1965)
  • E. Grilli, M. Guzzi, R. Zamboni, L. Pavesi. Phys. Rev. B, 45, 1638 (1992)
  • Э.Х. Родерик. Контакты металл--полупроводник (М., Радио и связь, 1982) с. 91. [Пер. с англ.: E.H. Rhoderick. Metal--Semiconductor Contacts (Oxford, Clarendon Press, 1978)]
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.