"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Влияние кластеров дефектов на перераспределение легирующей примеси в n- и p-Si0.7Ge0.3 в процессе реакторного облучения
Долголенко А.П.1
1Институт ядерных исследований Национальной академии наук, Киев, Украина
Поступила в редакцию: 15 апреля 1998 г.
Выставление онлайн: 19 марта 1999 г.

Образцы n- и p-типа проводимости твердого раствора кремний--германий с удельным сопротивлением (1/ 2· 10-3 Ом·см, легированные естественной смесью изотопов фосфора и бора, были исследованы в процессе облучения в активной зоне реактора BBP-M при температуре (200/ 500)oC. Дозовая зависимость удельного сопротивления и термоэдс образцов описана в рамках теории эффективной среды. Оказалось возможным детально ее вычислить при условии, что кластеры являются эффективными зародышами для осаждения легирующих примесей. Определены объемы захвата кластерами легирующих примесей бора и фосфора в процессе облучения и вычислены среднестатистические радиусы кластеров дефектов и сечение их введения. Показано, что преципитация фосфора в основном уменьшает концентрацию носителей в проводящей матрице образца при облучении, а захват бора изменяет концентрацию носителей в кластерах.
  • A.P. Dolgolenko, N.D. Marchuk. Proc. XII Int. Conf. on Thermoelectrics (Yokohama, Japan, 1993) p. 66
  • А.П. Долголенко, Н.Д. Марчук. Весцi АН БССР. Сер. физ.-мат. наук, 3, 35 (1991)
  • Н.Д. Марчук, А.П. Долголенко, Н.Н. Колычев. Proc. Int. Conf. on Radiation Materials Science, Alushta, May 22--25, 1990 (Kharkov, Ukraine, 1991) v. 9, p. 113
  • В.Д. Ахметов, В.В. Болотов. ФТП, 22, 1556 (1988)
  • L.C. Kimerling, P.D. Drevinsky. IEEE Trans. Nucl. Sci., NS-18, 60 (1971)
  • L.C. Kimerling. Defects and Radiation Effects in Semiconductors, Ser. 46 (Bristol--London, 1979) ch. 1, p. 56
  • В.А. Артемьев, В.В. Михнович, С.Г. Титаренко. ФТП, 22, 750 (1988)
  • Morrel H. Coher, J. Jortner. Phys. Rev. Lett., 30, 15, 696 (1973)
  • А.П. Долголенко. Радиационные эффекты в кремнии. Препринт КИЯИ-76-23. (Киев, 1976) с. 12
  • R.S. Walker, D.A. Thompson. Rad. Eff., 37, 113 (1978)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.