"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Электрические свойства кремния, термообработанного при 530oC и облученного электронами
Неймаш В.Б.1, Сирацкий В.М.1, Крайчинский А.Н.1, Пузенко Е.А.1
1Институт физики Национальной академии наук Украины, Киев, Украина
Поступила в редакцию: 16 декабря 1997 г.
Выставление онлайн: 20 августа 1998 г.

Методами емкостной спектроскопии глубоких уровней и эффекта Холла исследовано влияние термообработки при 530oC и последующего электронного облучения на электрические параметры монокристаллического кремния. Определено, что температура 530oC соответствует минимальной эффективности генерации кислородсодержащих термодоноров в интервале 500/600oC. Показано, что термодефекты, образующиеся при 530oC (КТД-530), не влияют на образование основных типов вторичных радиационных дефектов при последующем электронном облучении. Установлено, что спектр уровней КТД-530 имеет сложный характер, изменяющийся с длительностью термообработки. Определены их основные характеристики. Аномально малое сечение захвата электронов на КТД-530 и отсутствие взаимодействия кислородсодержащих термодоноров с первичными радиационными дефектами объясняется эффектом экранирования их взаимодействия с подвижными зарядами вследствие неоднородного пространственного распределения кислородсодержащих термодоноров. Оценена локальная концентрация кислородсодержащих термодоноров в микронеоднородностях: 1017/1019 см-3.
  • A. Bourett. Proc. 13-=SUP=-th-=/SUP=- Int. Conf. on Defects in Semicond., ed. by L.C. Kimerling, J.M. Parsey, Jr. Warendale (1985); Warendale. Metallurg. Soc. AIME (1985) p. 129
  • P. Wagner, J. Hage. Appl. Phys. A, A49, 123 (1989)
  • В.М. Бабич, Н.П. Баран, Ю.П. Доценко, Л.Т. Зотов, В.Б. Ковальчук. ФТП, 26, 447 (1992)
  • K. Schmalz, P. Gaworzewski. Phys. St. Sol. (a), 64, 151 (1981)
  • Л.С. Берман, А.А. Лебедев. Емкостная спектроскопия глубоких центров в полупроводниках (М., Наука, 1991)
  • Ж. Бургуэн, М. Ланно. Точечные дефекты в полупроводниках (М., Мир, 1985)
  • В.И. Абакумов, В.И. Перель, И.Н. Ясиевич. ФТП, 12, 3 (1978)
  • В.Б. Неймаш, Т.Р. Саган, В.М. Цмоць, В.И. Шаховцов, В.Л. Шиндич, В.С. Штым. Укр. физ. журн., 37, 437 (1992)
  • А.Н. Кабалдин, В.Б. Неймаш, В.М. Цмоць, А.В. Батунина, В.В. Воронков, Г.И. Воронкова, В.П. Калинушкин. Укр. физ. журн., 38, 34 (1993)
  • В.Б. Неймаш, Т.Р. Саган, В.М. Цмоць, В.И. Шаховцов, В.Л. Шиндич. ФТП, 25, 1857 (1991)
  • А.Н. Кабалдин, В.Б. Неймаш, В.М. Цмоць, В.И. Шаховцов, В.С. Штым. Укр. физ. журн., 40, 218 (1995)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.