"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Plasma-enhanced chemical vapour deposition and structural characterization of amorphous chalcogenide films
Nagels P.1
1RUCA-University of Antwerp Antwerpen, Belgium
Поступила в редакцию: 16 февраля 1998 г.
Выставление онлайн: 20 июля 1998 г.

We describe the preparation of layers of amorphous Se, AsxS1-x, AsxSe1-x, GexS1-x and GexSe1-x by plasma-enhanced chemical vapour deposition using the hydrides of the elements as precursor gases. We discuss the influence of the gas ratios and the deposition conditions (pressure, rf power input) on the chemical composition and the homogeneity of the binary systems. Information concerning the structure of the films was obtained from infrared and Raman spectroscopy.
  • G. Lucovsky, A. Mooradian, W. Taylor, G.B. Wright, R.C. Keeze. Sol. St. Commun., 5, 113 (1967)
  • G. Lucovsky. In: The Physics of Selenium and Tellurium, ed. by E. Gerlach and P. Grosse (Springer Verlag, Berlin, 1979) p. 210
  • P. Nagels, R. Callaerts, M. Van Roy, M. Vlvcek. J. Non-Cryst. Sol., 136\&137, 1001 (1991); Proc. Int. Conf. Cond. Matter. Phys. and Appl., ed. by W.E. Alnazer (Bahrain, 1992) p. 67
  • H. Fritzsche, V. Smid, H. Ugur, P.J. Graczi. J. Phys. C, 4, 699 (1981)
  • E. Sleeckx, P. Nagels, R. Callaerts, M. Van Roy. J. Phys. IV, C3, 419 (1993); J. Non-Cryst. Sol., 164--166, 1195 (1993)
  • S.E. Griffiths, G.P. Espinosa, J.P. Remeika, J.C. Phillips. Phys. Rev. B, 25, 1272 (1982)
  • G. Lucovsky, C.K. Wong, W.B. Pollard. J. Non-Cryst. Sol., 59--60, 839 (1983)
  • Nemanich, G.A. Connell, G.A. Hayes, R.A. Street. Phys. Rev. B, 18, 6900 (1978)
  • H. Kawamura, M. Matsumura, S. Ushioda. J. Non-Cryst. Sol., 35-36, 1215 (1980)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.