Кислородные преципитаты и формирование термодоноров в кремнии
Вабищевич Н.В.1, Бринкевич Д.И.1, Просолович В.С.1
1Полоцкий государственный университет, Новополоцк, Белоруссия
Поступила в редакцию: 2 июня 1997 г.
Выставление онлайн: 20 мая 1998 г.
Методами инфракрасной спектроскопии и измерений эффекта Холла установлено, что формирующиеся в процессе предварительной высокотемпературной обработки кислородные преципитаты подавляют генерацию термодоноров в Si, выращенном как методом Чохральского, так и путем наложения на расплав магнитного поля. Предложены возможные механизмы влияния преципитации на формирование термодоноров.
- В.П. Маркевич, Л.И. Мурин, А.Г. Литвиненко. ФТП, 21, 24 (1987)
- V.P. Markevich, L.I. Murin. Phys. St. Sol. (a), 111, K149 (1989)
- К. Рейви. Дефекты и примеси в полупроводниковом кремнии (М., Мир, 1984)
- Д.И. Бринкевич, В.П. Маркевич, Л.И. Мурин. В.В. Петров. ФТП, 26, 682 (1992)
- В.П. Маркевич, Л.И. Мурин. ФТП, 25, 262 (1991)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук