"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Кислородные преципитаты и формирование термодоноров в кремнии
Вабищевич Н.В.1, Бринкевич Д.И.1, Просолович В.С.1
1Полоцкий государственный университет, Новополоцк, Белоруссия
Поступила в редакцию: 2 июня 1997 г.
Выставление онлайн: 20 мая 1998 г.

Методами инфракрасной спектроскопии и измерений эффекта Холла установлено, что формирующиеся в процессе предварительной высокотемпературной обработки кислородные преципитаты подавляют генерацию термодоноров в Si, выращенном как методом Чохральского, так и путем наложения на расплав магнитного поля. Предложены возможные механизмы влияния преципитации на формирование термодоноров.
  1. В.П. Маркевич, Л.И. Мурин, А.Г. Литвиненко. ФТП, 21, 24 (1987)
  2. V.P. Markevich, L.I. Murin. Phys. St. Sol. (a), 111, K149 (1989)
  3. К. Рейви. Дефекты и примеси в полупроводниковом кремнии (М., Мир, 1984)
  4. Д.И. Бринкевич, В.П. Маркевич, Л.И. Мурин. В.В. Петров. ФТП, 26, 682 (1992)
  5. В.П. Маркевич, Л.И. Мурин. ФТП, 25, 262 (1991)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.