"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Релаксация созданного освещением метастабильного состояния a-Si : H p-типа, легированного бором
Казанский А.Г.1, Ларина Э.В.1
1Московский государственный университет им. М.В.Ломоносова, Москва, Россия
Поступила в редакцию: 20 февраля 1997 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 1997 г.

Исследована релаксация темновой проводимости пленок a-Si : H, легированных бором, после их освещения в интервале температур 360-470 K. Показано, что выбор условий освещения пленок (времени освещения и температуры) позволяет на основании изучения релаксации проводимости независимо исследовать релаксацию концентрации созданных светом метастабильных дефектов типа оборванных связей и релаксацию концентрации метастабильных состояний, связанных с примесными атомами. Как в первом, так и во втором случае релаксация происходит по закону растянутой экспоненты. Определены основные параметры, характеризующие релаксацию, и их температурные зависимости. Полученные результаты интерпретируются в рамках модели распределения энергий отжига, созданных светом метастабильных состояний.
  • D.L. Staebler, C.R. Wronski. Appl. Phys. Lett., 31, 292 (1977)
  • W.B. Jackson, J. Kakalios. Phys. Rev. B, 37, 1020 (1988)
  • W.B. Jackson, D.M. Moyer. Phys. Rev. B, 36, 6217 (1987)
  • J. Jang, S.C. Park, S.C. Kim, C. Lee. Appl. Phys. Lett., 51, 1804 (1987)
  • А.Г. Казанский, Д.Г. Яркин. ФТП, 27, 1693 (1993)
  • A.G. Kazanskii, I.A. Kurova, I.P. Zvyagin, D.G. Yarkin. J. Non-Cryst. Sol., 198--200, 470 (1996)
  • X.-M. Deng, H. Fritzsche. Phys. Rev. B, 36, 9378 (1987)
  • А.Г. Казанский. Вест. МГУ. Сер. 3, Физика, астрономия, 33, 70 (1992)
  • А.Г. Казанский. ФТП, 31, 347 (1997)
  • R. Meaudre, M. Meaudre, P. Roca i Gabarrocas. Appl. Phys. Lett., 62, 594 (1993)
  • C.E. Nebel, R.A. Street, W.B. Jackson, N.M. Jonson. Phil. Mag. B, 69, 291 (1994)
  • D. Redfield. Mater. Res. Soc. Symp. Proc., 258, 341 (1992)
  • M. Stutzmann, W.B. Jackson, C.C. Tsai. Phys. Rev. B, 32, 23 (1985)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.