Физика и техника полупроводников
Авторам
Вышедшие номера
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Дефекты в "собственном" и псевдолегированном аморфном гидрированном кремнии
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия 
Поступила в редакцию: 12 апреля 1996 г.
Выставление онлайн: 17 февраля 1997 г.
Приводятся данные о темновой и фотопроводимости пленок a-Si : H, полученных различными методами в режиме "мягкого" осаждения. Показано, что независимо от температуры подложки, материал, полученный в этом режиме, является "собственным". Отклонения от режима мягкого осаждения приводят к получению псевдолегированного a-Si : H с повышенной плотностью дефектов (оборванных Si-Si-связей) и с негомогенной структурой. Дефекты в собственном и в псевдолегированном a-Si:H находятся, соответственно, в состояниях D0 и D+.
- N.M. Johnson, P.V. Santsos, C.E. Nebel, W.B. Jackson, R.A. Street, K.S. Stevens, J. Walker. J.Non-Cryst. Sol., 137/138, 235 (1991)
- N. Hata, S. Wagner. J. Appl. Phys., 72, 2357 (1992)
- О.А. Голикова. ФТП, 25, 1517 (1991)
- О.А. Голикова, М.М. Казанин, М.М. Мездрогина, К.Л. Сорокина, У.С. Бабаходжаев. ФТП, 23, 1737 (1989)
- A. Matsuda, K. Tanaka. J. Appl. Phys., 60, 2351 (1986)
- V.L. Dalal, M. Leonard, G. Baldwin. J. Non-Cryst. Sol., 164--166, 71 (1993)
- M. Vanecek, B.P. Nelson, A.H. Mahan, R.S. Crandall. J. Non-Cryst. Sol., 137/138, 91 (1991)
- R. Zeidlitz, F. Kessler, M. Heintze. J. Non-Cryst. Sol, 164--166, 83 (1993)
- U. Kroll, J. Meier, M. Goetz, A. Howling, J.-L. Dorier, J. Dutla, A. Shan, Ch. Holenstein. J. Non-Cryst. Sol., 164--166, 60 (1991)
- О.А. Голикова, А.Н. Кузнецов, В.Х. Кудоярова, М.М. Казанин. ФТП, 30, 1879 (1996)
- R.M.A. Dawson, C.M. Fortmann, M. Gunes, Y.M. Li, S.S Nag, R.M. Collins, C.R. Wronski. J.Appl. Phys. Lett., 63, 955 (1993)
- W. Fuhs (private communication)
- T. Kamei, G. Ganguly, N. Hata, A. Matsuda. Proc. ICAS-15 (Cambridge, UK, 1993) p. 15
- P.G. LeComber, W.E. Spear. J. Non-Cryst. Sol., 35--36, 327 (1980)
- N. Hata, A. Matsuda. Abstracts ICAS-15 (Cambridge, UK, 1993) p. 125
- C.M. Fortmann, R.M. Dawson, H.Y. Liu, C.R. Wronski. J. Appl. Phys., 76, 2841 (1994)
- О.А. Голикова, В.Х. Кудоярова. ФТП, 29, 1128 (1995).
- M. Nakata, S. Wagner, T.M.Peterson. J. Non-Cryst. Sol., 164--166, 179 (1993)
- M. Favre, A. Shan, J. Hubin, E. Bustarret, M.A. Hachicha, S. Basrour. J. Non-Cryst. Sol., 137/138, 335 (1991)
- H.M. Branz, V. Silver. Phys. Rev. B, 42, 7420 (1990).
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
