Развита теория метода емкостной модуляционной спектроскопии глубоких уровней (МСГУ) в поверхностно-барьерных структурах с неоднородным распределением примесей и предложена его экспериментальная реализация. Достоинством метода является возможность наряду с параметрами глубоких уровней (энергетические положения, сечения захвата для основных носителей заряда, распределенная концентрацией по координате в приповерхностном слое) определять и профиль концентрации мелкой (легирующей) примеси.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.