"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Особенности спектров комбинационного рассеяния света структур кварц/Si и стекло/Si, обусловленные лазерным отжигом
Конакова Р.В.1, Коломыс А.Ф.1, Охрименко О.Б.1, Стрельчук В.В.1, Светличный А.М.2, Григорьев М.Н.2, Коноплев Б.Г.2
1Институт физики полупроводников им. В.Е. Лашкарева Национальной академии наук Украины, Киев, Украина
2Таганрогский технологический институт Южного федерального университета (ТТИ ЮФУ), Таганрог, Россия
Поступила в редакцию: 12 августа 2013 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 2014 г.

Методом комбинационного рассеяния света исследовано влияние лазерного излучения на характеристики пленок аморфного кремния на стеклянной и кварцевой подложках. Выявлено, что увеличение мощности лазерной обработки приводит к фазовому переходу от аморфного кремния к нано-Si. Изменение соотношения доли нанокристаллического и аморфного кремния в пленке описывается в рамках модели критического воздействия.
  • Ф.Х. Мирзоев, В.Я. Панченко, Л.А. Шелепин. УФН, 166, 3 (1996)
  • Zhijun Yuan, Qihong Lou, Jun Zhou, Jingxing Dong, Yunrong Wei, Zhijiang Wang, Hongming Zhao, Guohua Wu. Opt. Laser Techn., 41, 380 (2009)
  • В.А. Карачинов. ФТП, 31, 53 (1997)
  • Г.К. Сафаралиев, Ю.Н. Эмиров, М.К. Курбатов, Б.А. Биланов. ФТП, 34, 929 (2000)
  • T. Arguirov, T. Mchedlidze, V.D. Akhmetov, S. Kouteva-Arguirova, M. Kittler, R. Rolver, B. Berghoff, M. Forst, D.L. Batzner, B. Spangenberg. Appl. Surf. Sci., 254, 1083 (2007)
  • Luis A. Marques, Lourdes Pelaz, Maria Aboy, Juan Barbolla. Nucl. Instr. Meth. in Phys. Res. B, 216, 57 (2004)
  • T. Mchedlidze, T. Arguirov, S. Kouteva-Arguirova, G. Jia, M. Kittler, R. Rolver, B. Berghoff, M. Forst, D.L. Batzner, B. Spangenberg. Thin Sol. Films, 516, 6800 (2008)
  • А.В. Двуреченский, Г.А. Качурин, Е.В. Нидаев, Л.С. Смирнов. Импульсный отжиг полупроводниковых материалов ( М., Наука, 1982)
  • В.Н. Лисоченко, Р.В. Конакова, Б.Г. Коноплев, В.В. Кушнир, О.Б. Охрименко, А.М. Светличный. ФТП, 44, 326 (2010)
  • Е.Ю. Волков, В.Н. Лисоченко, Р.В. Конакова, О.Б. Охрименко, А.М. Светличный. Изв. вузов. Физика, 54, 143 (2011)
  • R.V. Konakova, V.P. Kladko, O.S. Lytvyn, O.B. Okhrimenko, B.G. Konoplev, A.M. Svetlichnyi, V.N. Lissotschenko. SPQEO, 12, 284 (2009)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.