Физика и техника полупроводников

Авторам

Правила оформления публикаций

Вышедшие номера

2024
- 1
2023
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9
2022
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2021
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2020
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2019
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2018
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13
2017
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2016
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2015
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2014
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2013
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2012
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2011
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2010
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2009
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2008
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2007
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2006
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2005
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2004
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2003
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2002
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2001
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2000
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1999
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1998
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1997
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1996
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1995
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1994
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1993
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1992
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1991
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1990
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1989
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1988
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12

Аномальное распределение германия, имплантированного в диэлектрический слой структуры КНИ, после отжига радиационных дефектов

Панкратов Е.Л.¹, Гуськова О.П.², Дроздов М.Н.³, Абросимова Н.Д.², Воротынцев В.М.⁴

¹Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского, Нижний Новгород, Россия Lobachevsky State University, Nizhny Novgorod, Russia

Lobachevsky State University, Nizhny Novgorod, Russia

²Научно-исследовательский институт измерительных систем им. Ю.Е. Седакова, Нижний Новгород, Россия Sedakov Scientific Research Institute of Measurement Systems, Nizhny Novgorod, Russia

Sedakov Scientific Research Institute of Measurement Systems, Nizhny Novgorod, Russia

³Институт физики микроструктур Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия Institute for Physics of Microstructures, Russian Academy of Sciences, Nizhny Novgorod, Russia

Institute for Physics of Microstructures, Russian Academy of Sciences, Nizhny Novgorod, Russia

⁴Нижегородский государственный технический университет им. Р.Е. Алексеева, Нижний Новгород, Россия Alekseev State Technical University, Nizhny Novgorod, Russia

Alekseev State Technical University, Nizhny Novgorod, Russia

Поступила в редакцию: 17 июля 2013 г.

Выставление онлайн: 19 апреля 2014 г.

PDF версия

Абстракт
Литература
Статистика просмотров

Исследован профиль распределения германия в структуре Si/SiO₂/Si после имплантации ⁷⁴Ge в диэлектрический слой SiO₂, сращивания с приборным слоем Si и высокотемпературного отжига. Обнаружены аномально высокий перенос и накопление атомов ⁷⁴Ge у границы SiO₂/Si, удаленной от границы сращивания. Наблюдаемое распределение ⁷⁴Ge не укладывается в рамки существующей модели диффузии Ge в Si и SiO₂ при постимплантационном отжиге. Предложена модифицированная модель диффузии атомов Ge вблизи границ Si/SiO₂, качественно объясняющая наблюдаемые особенности.

И.Е. Тысченко, М. Фельсков, А.Г. Черков, В.П. Попов. ФТП, 41, 301 (2007)
A. Markwitz, L. Rebohle, H. Hofmeister. Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B, 147, 361 (1999)
О.П. Гуськова, В.М. Воротынцев, Е.Л. Шоболов, Н.Д. Абросимова. ФТП, 46 (4), (2012)
И.Е. Тысченко, М. Фельсков, А.Г. Черков. ФТП, 43, 58 (2009)
M. Ogino, Y. Oana, M. Watanabe. Phys. Status. Solidi A, 72, 535 (1982)
А.И. Райченко. Математическая теория диффузии в приложениях (Киев, Наук. думка, 1981)
Г. Карслоу, Д. Егер. Теплопроводность твердых тел (М., Наука, 1964)
E.L. Pankratov. Phys. Rev. B, 72,075 201 (2005)
E.L. Pankratov. J. Comp. Theor. Nanosci. 9, 41 (2012)
E.L. Pankratov, E.A. Bulaeva. Int. J. Nanosci. 11, 1250 028 (2012)
E.L. Pankratov, E.A. Bulaeva. Rev. Theoretical Sci., 1, 58 (2013)
А.Н. Тихонов, А.А. Самарский. Уравнения математической физики (М., Наука, 1972)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель