"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Эффект самоструктурирования пластин монокристаллического кремния в условиях индукционного нагрева в вакууме
Мынбаева М.Г.1, Лебедев С.П.1, Лаврентьев А.А.1, Мынбаев К.Д.1,2, Головатенко А.А.1,3,2, Лебедев А.А.1, Николаев В.И.1,3,2
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Санкт-Петербургский национальный исследовательский университет информационных технологий, механики и оптики, Санкт-Петербург, Россия
3ООО Совершенные кристаллы, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 17 июля 2013 г.
Выставление онлайн: 17 февраля 2014 г.

Сообщается о наблюдении эффекта самоорганизованного структурирования поверхности пластин монокристаллического кремния в условиях высокочастотных отжигов, проводимых в углеродосодержащей атмосфере. Выявленный эффект может быть использован для создания новых безмасочных способов формирования структурированных материалов различного функционального назначения.
  • Zhe Chuan Feng, ed. III-Nitride Devices and Nanoengineering (Imperia College Press, London, 2008)
  • M. Ali, O. Svensk, L. Riuttanen, M. Kruse, S. Suihkonen, A.E. Romanov, P.T. Torma, M. Sopanen, H. Lipsanen, M.A. Odnoblyudov, V.E. Bougrov. Semicond. Sci. Technol., 27, 082 002 (2012)
  • H.Y. Lin, Y.J. Chen, C.L. Chang, X.F. Li, C.H. Kuo, S.C. Hsu, C.Y. Liu. J. Mater. Res., 27, 971 (2012)
  • K.D. Lee, R. Sjodin, T. Eriksson. LEDs Magazine, 37, 51 (2010)
  • Т.Г. Волова, Е.И. Шишацкая, П.В. Миронов. Материалы для медицины, клеточной и тканевой инженерии (электрон. учеб. пособие) (ИПК СФУ, Красноярск, 2009)
  • S.E. Saddow, ed. Silicon carbide biotechnology: biocompatible semiconductor for advanced biomedical devices and applications (Amsterdam, Elsevier, 2012)
  • M. Mynbaeva, A. Sitnikova, A. Tregubova, K. Mynbaev. J. Cryst. Growth, 303, 472 (2007)
  • M.G. Mynbaeva, A.A. Sitnikova, D.A. Kirilenko, I.S. Kotousova. J. Phys. D: Appl. Phys., 45, 335 303 (2012)
  • Д.Г. Громов, С.А. Гаврилов, Е.Н. Редичев, Р.М. Аммосов. ФТТ, 49, 172 (2007)
  • В.М. Иевлев. Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования, 10, 48 (2009)
  • В.М. Глазов, С.Н. Чижевская, Н.Н. Глаголева. Жидкие полупроводники (М., Наука, 1967)
  • М.Г. Мынбаева, П.Л. Абрамов, А.А. Лебедев, А.С. Трегубова, Д.П. Литвин, А.В. Васильев, Т.Ю. Чемекова, Ю.Н. Макаров. ФТП, 45, 847 (2011)
  • Я.Е. Гегузин. Капля (М., Наука, 1977)
  • S.D. McCullen, S. Ramaswamy, L.I. Clarke, R.E. Gorga. WIREs Nanomed. Nanobiotechnol., 1, 369 (2009)
  • Y. Wang, Z. Li, J. Wang, J. Li, Y. Lin. Trends Biotechnol., 29, 205 (2011)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.