Температурное изменение оптических свойств жидкой фазы при наносекундном лазерном плавлении кремния и германия
Ивлев Г.Д.1, Гацкевич Е.И.1
1Институт электроники Академии наук Белоруссии, Минск, Белоруссия
Поступила в редакцию: 12 октября 1995 г.
Выставление онлайн: 20 октября 1996 г.
Рассчитаны комплексные показатели преломления расплавов кремния и германия в температурных интервалах термодинамической устойчивости жидкого состояния. Расчет проведен в двух вариантах - на основе моделирования структурных факторов расплавов и по их удельной электропроводности. Исследована динамика отражения зондирующего излучения с длинами волн 0.53 или 1.06 мкм от жидкой фазы, образующейся при наносекундном нагреве полупроводников излучением рубинового лазера, и методом оптической пирометрии определена ее пиковая температура в зависимости от плотности энергии облучения. Результаты расчета на основе моделирования структурного фактора лучше согласуются с экспериментом для германия, чем для кремния. Экспериментальные данные свидетельствуют о возможности значительного, на несколько сот градусов, перегрева жидкой фазы при наносекундном лазерном плавлении алмазоподобных полупроводников.
- А.Р. Регель, В.М. Глазов. \it Физические свойства электронных расплавов (М., 1980)
- К.М. Шварев, Б.А. Баум, П.В. Гельд. ФТТ, 16, 3246 (1974)
- J.N. Hodgson. Phil. Mag., 6, 509 (1961)
- M.O. Lampert, J.M. Koebel, P. Siffert. J. Appl. Phys., 52, 4975 (1981)
- D.H. Auston, C.M. Surko, T.N.C. Venkatesan, R.F. Slusher, J.A. Golovchenko. Appl. Phys. Lett., 33, 437 (1978)
- В.А. Пилипович, Г.Д. Ивлев, В.Л. Малевич, В.В. Жидков. Письма ЖТФ, 9, 594 (1983)
- M. Kemmler, G. Wartmann, D. von der Linde. Appl. Phys. Lett., 45, 159 (1984)
- G.E. Jellison, D.H. Lowndes. Appl. Phys. Lett., 51, 352 (1987)
- Г.М. Гусаков, А.А. Комарницкий. Письма ЖТФ, 13, 166 (1987)
- Г.Д. Ивлев, В.Л. Малевич. Квант. электрон., 15, 2584 (1988)
- М.Ю. Аверьянова, С.Ю. Карпов. ФТТ, 32, 548 (1990)
- J. Solis, C.N. Afonso. J. Appl. Phys., 69, 2105 (1991)
- G.D. Ivlev, V.L. Malevich, V.V. Zhidkov. Phys. St. Sol. (a), 106, k123 (1988)
- В.А. Пилипович, В.Л. Малевич, Г.Д. Ивлев, В.В. Жидков. ИФЖ, 48, 306 (1985)
- С.Ю. Карпов, Ю.В. Ковальчук, Ю.В. Погорельский. В кн.: \it Итоги науки и техники. Физические основы лазерной и пучковой технологии (М., 1988), т. 1, с. 181
- С.И. Анисимов, Я.А. Имас, Г.С. Романов, Ю.В. Ходыко. \it Действие излучения большой мощности на маталлы (М., 1970)
- \it Физика металлов. 1. Электроны, под ред. Дж. Займана (М., 1972)
- W.-H. Shin, D. Stroud. Phys. Rev. B, 31, 3715 (1984)
- Е.И. Гацкевич, В.Л. Малевич. ФТП, 22, 697 (1988)
- \it Достижения электронной теории металлов, под ред. П. Цише, Г. Леммана (М., 1984), т. 1
- J.P. Gabathuler, S. Steeb. Z. Naturforsch., 34A, 1314 (1979)
- А.Ф. Скрышевский. \it Структурный анализ жидкостей и аморфных тел (М., 1980)
- Д.К. Белащенко. \it Структура жидких и аморфных металлов (М., 1985)
- А.П. Пришивалко. \it Отражение света от поглощающих сред (Минск, 1963)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук